Nanomate Schleifräder

Nanomate V-Heart

In den V-herzförmigen Nanomate Schleifrädern sind die Schleifdiamanten sehr fest gebunden und die spezielle, hochporöse, metallische Bindung ist so geformt, dass möglichst geringe Kräfte auf die Schleifkörner wirken. Dadurch werden außergewöhnliche Schleifergebnisse ermöglicht. Mit Nanomate Schleifrädern, die auf 300mm Siliciumwafern Ebenheiten von weniger als 1µm erreichen können, wird es möglich auch schwaches oder brüchiges Material sowie andere Halbleitermaterialien zu schleifen.

Nanomate F-Star

Eine sehr feine Diamantkörnung sowie eine sehr feine Keramik haben es ermöglicht die ALMT-Schleifräder weiterzuentwickeln und an die Kundenwünsche anzupassen. Die Zentralisierung der ALMT-Forschungsaktivitäten und der Schleifradentwicklung hat zu extrem präzisen Schleifergebnissen geführt. Die Schleifräder arbeiten hochgenau und effektiv. Kleinste Risse und andere Beschädigungen der Wafer werden vermieden. Durch die hohe Oberflächenqualität kann in der Regel der nachfolgende Polierschritt verkürzt werden.

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