Ofenzubehör.
Crystec

Crystec Technology Trading GmbH
Europa-Händler: Anlagen für die Halbleiterindustrie

Crystec
Inhalt ccd E-Mail English   deutsch   francais
Adresse   Service    Lage   Semicon   Jobs    Kooperation   Solar   LCD   Zubehör

Ofenzubehör

Crystec Technology Trading GmbH bietet verschiedenes Zubehör für neue und für bereits installierte Öfen an.

Prozessgasbehandlung

Externer Brenner

Für die Herstellung von feuchtem Gas zur Oxidation von Siliciumscheiben wird hochreines Wasser benötigt. Dieses sehr reine Wasser kann in-situ durch Verbrennung von reinem Wasserstoff mit reinem Sauerstoff erzeugt werden. Der hochreine Wasserdampf wird direkt in die Ofenkammer eingeführt. Wasserstoff- und Sauerstoffgasfluss werden per MFCs (mass flow controller) gesteuert. Solche externen Brenner werden gewöhnlich mit Vertikalöfen und Horizontalöfen für Halbleiteranwendungen eingesetzt.

Gasbefeuchter

Die beschriebene Anlage wurde zur Gasbefeuchtung von Inertgasen ausgelegt. Der Taupunkt kann exakt festgelegt werden. Das feuchte Prozessgas kann für verschiedene Anwendungen in Öfen eingesetzt werden. Die Befeuchtung erfolgt durch das Einmischen des Gases in reines Wasser mittels eines Rührers. Die Verweilzeit des Gases in der Flüssigkeit ist bei diesem Verfahren relativ hoch. Entsprechend gute Ergebnisse können erzielt werden. Das befeuchtete Gas wird dann über eine beheizte Gasleitung in den Ofen überführt. Der Feuchtigkeitsgehalt kann über eine Taupunktmessung geprüft werden. Die Steuerung des Prozessgasflusses erfolgt über die Ofensteuerung per MFC oder Flowmeter.
Befeuchter           Gasbefeuchter Stickstoffbefeuchter

Kondensator

Zur Niederschlagung von Wasserdampf kann entweder ein Nasswäscher verwendet werden oder bei größeren Wasserdampfmengen ein spezieller Dampfkondensator:
Dampfkondensator

Crystec Technology Trading GmbH, Germany, www.crystec.com, +49 8671 882173, FAX 882177
Linie

Wasserstoff-Generator, Formiergas-Generator, Ammoniakspalter, Ammoniakdissoziator

Es ist bekannt, dass Wasserstoff für das anlauffreie Härten von Metallen aller Art unverzichtbar ist. Vom Sicherheitsstandpunkt aus und aus ökonomischer Sicht ist Wasserstoff allerdings keine sehr vorteilhafte Atmosphäre. Dissoziierter Ammoniak oder "Formiergas" ist das einzige Gas, das die Nachteile von reinem Wasserstoff ausgleichen kann und nahezu die gleichen Eigenschaften wie dieser aufweist. In manchen Fällen kann Formiergas reinen Wasserstoff zwar nicht ersetzen; das kommt aber selten vor. Fast immer erfüllt dissoziierter Ammoniak die gestellten Anforderungen.
Der Koyo Thermo Systems NH3-Spalter "AM" wird für die Formiergasherstellung genutzt. Wasserstoff und Stickstoff werden kostengünstig im Volumenverhältnis 3 : 1 bzw. im Masseverhältnis 14 : 3 erzeugt. Anlagenkapazitäten von 5m3/h bis 60m3/h sind verfügbar.

2 NH3 Pfeil N2 + 3 H2

Als Folge der vollständigen Dissoziation in Wasserstoff und Stickstoff verbleibt nur noch ein kleiner Restanteil nicht-dissoziierten Wasserstoffes und der Taupunkt des produzierten Gasgemisches ist sehr niedrig.
Das so hergestellte Formiergas wird häufig in Durchlauföfen oder Rohröfen für Temperprozesse in reduzierender Atmosphäre, beim Hartlöten, Sintern, für die Oxidentfernung und zur Nitridierung genutzt. Sie finden mehr Informationen über die entsprechenden Öfen in unserer Koyo Thermo Systems Produktübersicht.

Ammoniakspalter

AM Gasgenerator.

Beschreibung:

  • Heizelemente mit geringer thermischer Masse: Im Vergleich mit konventionellen Ziegelöfen, heizen die verwendeten  Heizelemente den Reaktor schneller und mit weniger Energieverbrauch auf. Die Standfläche ist kleiner.
  • Stabile Gaserzeugung: Der elektrisch beheizte Rohrreaktor sorgt für eine gleichmäßige Gaserzeugung.
  • Sicherheitsmerkmale:  Übertemperatursicherung, Überdruckregelung und Absicherung der Thermoelemente sorgen für einen sicheren Betrieb.
  • Kleine Stellfläche und einfache Bedienung: Die Bedienung der Anlage erfolgt von der Vorderseite. Durch die flachen Heizelemente kann eine kleine Stellfläche sichergestellt werden.

Endothermer und exothermer Gasgenerator für Industrieöfen

Für Industrieöfen stehen weitere Gasgeneratoren zur Erzeugung von endothermem Gas, bestehend aus Wasserstoff, Kohlenmonoxid und Stickstoff und exothermem Gas, bestehend aus Wasserstoff, Wasserdampf, Kohlenmonoxid, Kohlendioxid und Stickstoff zur Verfügung.

Crystec Technology Trading GmbH, Germany, www.crystec.com, +49 8671 882173, FAX 882177
Linie

Reinigung Quarzteile und Kassetten

Quarzteile-Reinigung

Quarzteilereinigung

Polyflow produziert Reinigungsanlagen, die alle Quarzteile eines Ofens, Boote, Prozessrohre, Liner, Podest, Beladearme, T/C-Rohre, Kleinteile reinigen können. Die Reinigung erfolgt in einem Säure-Sprayverfahren. Eine Kombination aus fest installierten und beweglichen Düsen sorgt für eine effektive Reinigung und leichte Beladung der Anlage. Verschiedene Anlagen für Quarzteile aus Vertikalöfen und Horizontalöfen für bis zu 300mm Wafer stehen zur Verfügung. Die Trocknung der Teile erfolgt in der Anlage. Die Bedienung erfolgt einfach über einen Touch-Screen Steuerung. Die Anlagen bestehen im Wesentlichen aus Polypropylen und PVC. Brandsichere Kunststoffe CPVC und PVDF können verwendet werden. Einzelheiten zu den verfügbaren Anlagen finden Sie auf unserer Web-Seite für Quarzteilreinigung.
FOUP Reinigung

Kassettenreinigung

Auch für die Reinigung von Wafer-Kasetten, SMIF, FOUP, FOBS stehen Reinigungsanlagen zur Verfügung. Die neueste Anlage zur Reinigung von 300mm FOUP / FOSB Kasetten demontiert vollautomatisch den Deckel  und reinigt ihn separat. Im Sprühverfahren werden die FOUP bzw. FOSB Kasetten von innen und außen gereinigt. Die Trockung erfolgt durch Abblasen und nicht durch Rotation. So besteht nicht die Gefahr der Beschädigung und die Verwendung von Stahlteilen kann vermieden werden. Kontaminationsgefahr besteht daher bei dieser Reinigungsmethode nicht. Der Durchsatz dieser Anlage ist mit 27 FOUP/h sehr hoch. Details finden Sie auf unserer Seite zum Thema Kasettenreinigung.

Crystec Technology Trading GmbH, Germany, www.crystec.com, +49 8671 882173, FAX 882177
Linie

Qualitätssteigerung

LGO Heizelemente< img src="lgok.gif" alt="LGO" align="right" height="120" width="120">

Koyo Thermo Systems produziert spezielle LGO Rohrheizelemente mit einer sehr niedrigen thermischen Masse für die Nutzung in Halbleiteröfen. Diese Heizelemente können auch für installierte Öfen anderer Hersteller angeboten werden. Details über diese Heizelemente finden Sie auf unserer LGO-Heizelement-Seite.

HeizelementMoldathermTM Heizelemente

Für die Beheizung von Durchlauföfen und ebenso für die Heizung von Spezialöfen, die vom Kunden selbst entworfen werden, produziert Koyo Thermo Systems spezielle MoldathermTM Heizelemente mit einer besonders niedrigen thermischen Masse. Sie finden weitere Informationen auf unserer MoldathermTM Heizelementseite.

Ultraschall-Bandreiniger

Zur Reinhaltung des Metallnetzbandes in Durchlauföfen können Ultraschallreiniger eingesetzt werden. Das Transportband durchläuft dabei zunächst ein Ultraschallbad und dann einen Trockner.

Sauerstoffmessgeräte auf der Basis von Zirkondioxidsensoren

Sauerstoffsensor
Crystec hat viel Erfahrung mit dem Einsatz von Sauerstoffmessgeräten zur Bestimmung geringer Konzentrationen dieses Gases in Öfen. Wir können Ihnen verschiedene Typen dieser Analysesysteme anbieten. Wir können Ihnen eine Übersicht über die verfügbaren Geräte geben und die Unterschiede erläutern. Die meisten Geräte für die Messung niedriger Sauerstoffkonzentrationen im ppm-Bereich nutzen beheizte Zirkoniumdioxid-Sensoren. Es werden unterschiedliche Versionen angeboten. So ist es möglich, einen ZrO2 Sensor direkt im Ofen für in-situ Messungen zu installieren. Es ist auch möglich, eine Gasprobe zu entnehmen und eine externe Messung durchzuführen.  Die Probengasleitung kann bedarfsweise beheizt werden. Die externe Messkammer enthält in diesem Fall dann Gasflusssteuerung, Gaspumpe und Zirkonoxid-Sensor. Die Messelektronik kann entweder im gleichen Gehäuse installiert werden oder aber in einem völlig getrennten Gehäuse, das an einem anderen Platz aufgestellt werden kann. Wasserstoffsensor Es kann auch ein Stange Controller für die Anzeige genutzt werden. Wir können Ihnen die richtige Konfiguration für Ihre Anwendung anbieten.

Wasserstoffmessgerät.

Für die Messung von Wasserstoff kann ein Sensor, basierend auf der Messung der thermischen Leitfähigkeit des Gases eingesetzt werden.

Crystec Technology Trading GmbH, Germany, www.crystec.com, +49 8671 882173, FAX 882177
Linie

Abgasbehandlung

Kühlfallen

Kühlfallen von Koyo Thermo Systems werden genutzt um flüssige Nebenprodukte aus Prozessgasen abzuscheiden. Ein typischer Prozess für eine solche Anwendung ist der Polyimidhärtungsprozeß, bei dem oligomere Kohlenwasserstoffverbindungen in der Kühlfalle kondensiert werden.

Abgasreiniger

     

Entgifter

SemiAn produziert Abgasreinigungssysteme für die Entgiftung von Abgas aus Halbleiterproduktionsstätten sowie aus Fabriken für die Produktion von Flachbildschirmen und Solarbatterien. Das Gas wird in einer Kombination von Nasswäschern und elektrischem Brenner gereinigt. Nach der Reinigung des einströmenden Gases durch einen Wassersprüher wird das Abgas durch thermische Oxidation in einem elektrisch beheizten Reaktor zersetzt. Das behandelte Gas wird in einem zweiten Wäscher abgekühlt und nochmals gereinigt, bevor es an die Umgebung abgegeben wird. Um Druckschwankungen zu vermeiden und den vorgeschalteten CVD-Prozess nicht zu stören, wird der Differenzdruck des Entgifters mittels eines Inverters konstant gehalten. Großer Wert wird bei SemiAn auf die Betriebsicherheit gelegt. Warn- und Alarmeinrichtungen wurden optimiert. Die Anlage ist voll CE zertifiziert. Einfache Bedienung wird über einen LCD Touch-Screen gewährleistet. Für den Betrieb werden lediglich Wasser und Strom benötigt. Die Betriebskosten können daher niedrig gehalten werden.

 Für einfache Nachverbrennprozesse können wir auch Systeme von Koyo Thermo Systems anbieten. Information finden Sie auf unserer INH-Ofenseite.

Crystec Technology Trading GmbH diskutiert mit Ihnen gerne weitere Details.
Inhalt Inhalts-
verzeichnis
 E-MailSind Sie an weiteren Informationen interessiert?
Kontaktieren Sie uns bitte! 		Seitenanfangzum
Seitenkopf