| Ofenzubehör. | ||
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Crystec Technology Trading GmbH
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Die beschriebene Anlage wurde zur Gasbefeuchtung von Inertgasen ausgelegt. Der Taupunkt kann exakt festgelegt werden. Das feuchte Prozessgas kann für verschiedene Anwendungen in Öfen eingesetzt werden. Die Befeuchtung erfolgt durch das Einmischen des Gases in reines Wasser mittels eines Rührers. Die Verweilzeit des Gases in der Flüssigkeit ist bei diesem Verfahren relativ hoch. Entsprechend gute Ergebnisse können erzielt werden. Das befeuchtete Gas wird dann über eine beheizte Gasleitung in den Ofen überführt. Der Feuchtigkeitsgehalt kann über eine Taupunktmessung geprüft werden. Die Steuerung des Prozessgasflusses erfolgt über die Ofensteuerung per MFC oder Flowmeter.

Zur Niederschlagung von Wasserdampf kann entweder ein Nasswäscher
verwendet werden oder bei größeren Wasserdampfmengen ein spezieller Dampfkondensator:

Crystec Technology Trading GmbH, Germany, www.crystec.com, +49 8671 882173, FAX 882177

Es ist bekannt, dass Wasserstoff für das anlauffreie Härten von Metallen aller Art unverzichtbar ist.
Vom Sicherheitsstandpunkt aus und aus ökonomischer Sicht ist Wasserstoff allerdings keine sehr
vorteilhafte Atmosphäre. Dissoziierter Ammoniak oder "Formiergas"
ist das einzige Gas, das die Nachteile von reinem Wasserstoff ausgleichen kann
und nahezu die gleichen Eigenschaften wie dieser aufweist. In manchen
Fällen kann Formiergas reinen Wasserstoff zwar nicht ersetzen; das kommt aber
selten vor. Fast immer erfüllt dissoziierter Ammoniak die
gestellten Anforderungen.
Der Koyo Thermo Systems NH3-Spalter
"AM" wird für die Formiergasherstellung genutzt. Wasserstoff
und Stickstoff werden kostengünstig im Volumenverhältnis 3 : 1
bzw. im Masseverhältnis 14 : 3 erzeugt. Anlagenkapazitäten
von 5m3/h bis 60m3/h sind verfügbar.
2 NH3
N2 + 3 H2
Als Folge der vollständigen Dissoziation in Wasserstoff und Stickstoff verbleibt nur noch ein kleiner
Restanteil nicht-dissoziierten Wasserstoffes und der Taupunkt des produzierten Gasgemisches ist sehr niedrig.
Das so hergestellte Formiergas wird häufig in Durchlauföfen oder Rohröfen für Temperprozesse in reduzierender
Atmosphäre, beim Hartlöten, Sintern, für die Oxidentfernung und zur Nitridierung genutzt. Sie finden mehr
Informationen über die entsprechenden Öfen in unserer Koyo Thermo Systems
Produktübersicht.
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AM Gasgenerator.Beschreibung:
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Für Industrieöfen stehen weitere Gasgeneratoren zur Erzeugung von endothermem Gas, bestehend aus Wasserstoff, Kohlenmonoxid und Stickstoff und exothermem Gas, bestehend aus Wasserstoff, Wasserdampf, Kohlenmonoxid, Kohlendioxid und Stickstoff zur Verfügung.
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www.crystec.com, +49 8671 882173, FAX 882177

Koyo Thermo Systems produziert spezielle LGO Rohrheizelemente mit einer sehr niedrigen thermischen Masse für die Nutzung in Halbleiteröfen. Diese Heizelemente können auch für installierte Öfen anderer Hersteller angeboten werden. Details über diese Heizelemente finden Sie auf unserer LGO-Heizelement-Seite.
MoldathermTM Heizelemente
Es kann auch ein
Stange Controller für die Anzeige genutzt werden.
Wir können Ihnen die richtige Konfiguration für Ihre Anwendung anbieten.Für die Messung von Wasserstoff kann ein Sensor, basierend auf der Messung der thermischen Leitfähigkeit des Gases eingesetzt werden.
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EntgifterSemiAn produziert
Abgasreinigungssysteme für die Entgiftung
von Abgas aus Halbleiterproduktionsstätten sowie aus Fabriken
für die Produktion von Flachbildschirmen und Solarbatterien. Das
Gas wird in einer Kombination von Nasswäschern und elektrischem Brenner
gereinigt. Nach der Reinigung des einströmenden Gases durch einen
Wassersprüher wird das Abgas durch thermische Oxidation in einem
elektrisch beheizten Reaktor zersetzt. Das behandelte Gas wird in einem zweiten Wäscher
abgekühlt und nochmals gereinigt, bevor es an die Umgebung
abgegeben wird. Um Druckschwankungen zu vermeiden und den vorgeschalteten CVD-Prozess
nicht zu stören, wird der Differenzdruck des Entgifters mittels
eines Inverters konstant gehalten. Großer Wert wird bei SemiAn
auf die Betriebsicherheit gelegt. Warn- und Alarmeinrichtungen wurden
optimiert. Die Anlage ist voll CE zertifiziert. Einfache Bedienung wird
über einen LCD Touch-Screen gewährleistet. Für den Betrieb werden
lediglich Wasser und Strom benötigt. Die Betriebskosten
können daher niedrig gehalten werden.
Für einfache Nachverbrennprozesse können wir auch Systeme von Koyo Thermo Systems anbieten. Information finden Sie auf unserer INH-Ofenseite. |
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