Accessoires pour Fours.
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Crystec Technology Trading GmbH
Équipement pour l'Industrie des Semiconducteurs

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Accessoires pour Fours

Crystec Technology Trading GmbH propose tout une gamme d'accessoires pour fours neufs ou d'occasion. 

Traitement des gaz de procédé.

Torche Externe.

Pour faire croître un Oxyde de Silicium en milieu humide, il est nécessaire d'utiliser une eau extrêmement pure. Cette pureté peut être obtenue par un procédé in-situ consistant à faire brûler de l'Hydrogène pur dans de l'oxygène pur. La vapeur d'eau (de très haute pureté) ainsi obtenue, est transférée dans le réacteur du four. Les débits des gaz sont contrôlés par des débimètres de masse électroniques de très grande précision. La Torche Externe est normalement utilisée sur des Fours Verticaux et Fours Horizontaux pour des applications dans le domaine du semiconducteur.

Humidificateur du gaz de procédé.

Ce dispositif permet de charger en eau un gaz inerte et à en ajuster avec précision la teneur. Le gaz est mélangé dans de l'eau désionisée à l'aide d'un agitateur rotatif. La stabilité dans le temps de l'homogéneïté du mélange garantit de bons résultats dans les procédés d'oxydation. Le gaz, chargé en eau, est acheminé vers le réacteur à travers une ligne chauffée. La teneur en humidité est mesurée avec un hygromètre. Le débit du gaz est contrôlé par un débit-mètre de précision de type (Débit-mètre de masse électronique).
Humidificateur du gaz            Humidificateur Graphic

Condenseur

Pour l'élimination de vapeur d'eau il est possible d'utilisier une équipment de lavage à l'eau. Si le quantité de vapeur est large, vour pouvez installer un condenseur special:
condensateur

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Générateur de hydrogène et gaz composé, Craqueur d'Ammoniac.

Le gaz composé est utilisé dans les fours à passage et dans les fours à tubes pour des procédés de recuit sous atmosphère réductrice. Vous trouverez de plus amples détails sur ces fours en vous référant au paragraphe product overview dans la rubrique Koyo Thermo Systems.
L'hydrogène est indispensable pour le trempage d'un grand nombre de métaux. D'un point de vue économique et de sécurité environnementale, l'utilisation de l'hydrogène pur présente un grand nombre d'inconvénients. L'ammoniac dissocié, "forming gas" en anglais, est un substitut très performant de l'hydrogène pour le traitement thermique des métaux ou autres matériaux. Dans la plupart des cas, cette solution présente le même taux d'efficacité qu'un procédé utilisant de l'hydrogène pur.   

Ce dispositif  NH3-Cracker "AM" est utilisé pour la fabrication d'un gaz composé N2/H2. Hydrogène et Azote sont produits dans des proportions de volume de 3 : 1 et de masse de 14 : 3.

2 NH3 Pfeil N2 + 3 H2

L'ammoniac sera dissocié en moles d'Hydrogène et d'Azote avec un taux résiduel d'ammoniac extrêmement faible (quelques ppm) et un point de rosée (teneur en eau) très bas.  
Le gaz composé est utilisé dans les fours à passage et dans les fours à tubes pour des procédés de recuit sous atmosphère réductrice. Vous trouverez de plus amples détails sur ces fours en vous référant au paragraphe product overview dans la rubrique Koyo Thermo Systems.

Craqueur d'Ammoniac

AM Générateur de Gaz.

Caractéristiques :

  • Light thermal mass heater:
  • En comparaison avec le traditionnel four à briques, ce système permet des gains importants en vitesse de chauffe, en consommation d'énergie et en encombrement.
  • Stabilité du Gaz : La stabilité du Gaz fabriqué est assurée  par une configuration intégrant un réacteur de type cylindrique à l'intérieur d'un élément chauffant électrique.
  • Caractéristiques de sécurité : Une protection contre la surchauffe et la surpression, une alarme de thermocouple defectueux et autres systèmes de contrôle assurent une sécurité optimale du système.
  • Encombrement réduit, facilité d'utilisation : Commande de Marche / Arrêt sur la face avant de l'équipement. L'utilisation d'un matériaux isolant moins épais car plus performant, permet une réduction sensible de l'encombrement au sol.

Générateur de gas endothermique et exothermique pour des fours industriels.

Pour les fours industriels aussi des générateurs de gaz sont disponibles pour le production de gaz endothermique, consister en hydrogène, monoxyde de carbone, azote et gaz exothermique, consister de hydrogène, vapeur d'eau, monoxyde et dioxyde de carbone, azote.

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nattoyage quartz

Quartz part cleaning


Polyflow  produces cleaning equipment for all quartz parts of a furnace like process tube, liner, boat, pedestal, cantilever, T/C-tubes, small parts. Cleaning is done by acid spray technology. A combination of actuating and fixed nozzles insures proper cleaning and easy loading of the equipment. Various types of equipment for quartz parts from vertical furnaces and horizontal furnaces for wafers up to 300mm in diameter are available. Drying of the parts is also performed in the equipment. A state of the art touch screen controller makes operation of the tool easy. All main parts of the equipment are made from polypropylen and PVC parts. Fire safe material CPVC and PVDF can be used. You will find further details about these tools on our detailed web-page for quartz part cleaning.
nettoyage FOUP

Cassette cleaning

Also for wafer cassette cleaning, SMIF, FOUP and FOSB cassette cleaning, Polyflow can offer a solution. The newest piece of equipment has been designed for cleaning 300mm FOUP and FOSB cassettes. Doors are removed fully automatic and  cleaned separately. Cassettes are cleaned by inside and outside water spraying. Drying is achieved by using high flow gas nozzles. By avoiding rotation damage of the cassettes is prevented and metallic contamination cannot happen, because no steel parts are used.Throughput of this FOUP cleaner is pretty high: 27 cassettes per hour.  You can find more details about this tool on our FOUP cleaning page.

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Amélioration de la qualité.

Eléments Chauffants LGO (Low Gauge Overbent) LGO

KTS fabrique des éléments chauffants de type LGO à très faible masse thermique pour les fours à tubes utilisés dans le domaine du Semiconducteur. Ces modèles d'éléments chauffants peuvent être rétrofités sur des tubes d'occasion quel qu'en soit le fabricant. Vous trouverez plus de détails dans nos pages réservées aux éléments chauffants type LGO.
élément chauffantEléments Chauffants : MoldathermTM
Ces éléments qui sont modulaires sont indiqués pour les fours à passage standard mais aussi pour tous les fours faisant l'objet d'un développement particulier pour une application particulière. Ces éléments ont la particularité de posséder une très faible masse thermique. Vous trouverez plus de détails sur ces produits dans nos pages réservées aux éléments chauffants de type MoldathermTM .

Nettoyage de courroie par Ultrasons

Pour Garder le tapis de transport d'un Four à Passage propre, ce dernier peut être équipé d'un système de nettoyage à UltraSons. The meshbelt is drawn through an ultrasonic bath, following a dryer.

Analyseur d'Oxygène avec capteur au dioxyde de Zirconium.

Sauerstoffsensor

Crystec possède une grande expertise dans les techniques de mesure des faibles concentrations d'Oxygène (ppm) à l'intérieur des étuves ou de fours plus conséquents. Différents types d'analyseurs, ainsi que la description de leurs performances respectives sont disponibles chez nous. La plupart des analyseurs d'oxygène faible concentration utilisent des capteurs à base d'oxyde de Zirconium. Plusieurs modèles, pour des utilisations et configurations spécifiques, peuvent être proposés.

Le capteur peut être installé à l'intérieur d'un réacteur pour des mesures in situ et permanentes. Il peut être également isolé du réacteur par une vanne et monté sur une ligne ou température et débit de gaz seront Wasserstoffsensor contrôlés. L'électronique de contrôle peut être logée à l'intérieur ou à l'écart de l'équipement selon les contraintes de place ou d'environnement particulières. Il est aussi possible d'utiliser une commande Stange pour visualiser le concentration oxygène.

Analyseur de hydrogène.

Pour le mesurement de hydrogène il est possible d'utilisier un senseur conduction thermique.

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Nettoyage de gaz résiduel

Pièges a froid.

Les pièges à froid de Koyo sont utilisées comme condenseurs des résidus volatiles générés dans les procédés de traitement thermique. L'application la plus courante est la condensation des suies produites lors des étapes de recuit des poly-imides.

Épurateur de gaz

    

Épurateur de gaz

SemiAn propose des "Unités de nettoyage" pour les rejets gazeux toxiques ou à effet de serre générés par les procédés de traitement thermique mettant en jeu des réactions chimiques. Les domaines d'applications sont le Semiconducteur, l'Electronique, la fabrication des Ecrans Plats ou des Cellules Solaires. Les composés gazeux sont épurés par la combinaison de laveurs à eau et d'un brûleur électrique. Ces composés toxiques, après avoir quitté le réacteur, passent d'abord à travers un laveur ou tous les composés solubles dans l'eau sont précipités et évacués dans un bac de récupération placé à la base du système. Ces composés sont ensuites cassés et/ou oxydés dans un réacteur à haute température alimenté par une source électrique. La masse gazeuse quittant le réacteur passe à nouveau dans un laveur, où tous les produits crées solubles sont éliminés, avant d'être expulsée dans l'atmosphère. Pour éviter toute fluctuation de pression dans la chambre de procédé, le débit de gaz est contrôlé et maintenu constant à l'entrée du système de nettoyage. Un effort tout particulier a été apporté en matière de sécurité par une gestion stricte d'alarme et de coupe circuits. Le système répond pleinement aux normes CE. Son utilisation est facilitée par la présence d'un écran LCD tactile (Touch screen). Les deux seules sources d'energie et de servitude utilisées par l'appareil sont l'électricité et l'eau.

Pour le procès simple de postcombustion il est aussi possible to d'offrir un système de Koyo Thermo Systems. Vour trouvez plus détails sur notro page de fours INH.

Crystec Technology Trading GmbH est à votre disposition pour vous aider dans la réalisation de vos projets.
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