Abscheidung von Schichten aus transparenten, leitenden Oxiden TCO wie Indiumzinnoxid ITO oder Aluminiumzinkoxid AZO durch Kathodenzerstäubung.
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Transparente, leitende Oxide, TCO

Transparente, leitende Oxide (TCO, Transparent conductive oxide) vereinen zwei wichtige Eigenschaften miteinander: Leitfähigkeit und Transparenz bzw. Durchsichtigkeit. Daher werden diese Materialien als Frontelektroden für verschiedene Anwendungen eingesetzt:

• Flüssigkristalldisplays(LCD, liquid crystal displays) oder Flachbildschirme (FPD, flat panel displays)
• Dünnschichtsolarzellen, bestehend aus amorphem Silizium, Cadmiumtellurid oder CIGS
• Berührungsempfindliche Bildschirme (touch screen)

Die meisten stöchiometrischen Oxide sind Isolatoren, einige wenige Halbleiter mit einer großer Bandlücke. Durch Dotierung solcher Oxide, d.h. durch den Ersatz von Atomen im Gitter durch andere Atome mit anderer Wertigkeit, also durch Atome mit mehr oder weniger Außenelektronen ist es möglich diese Oxide leitfähig zu machen. Die Oxide von Indium In, Zinn Sn und Zink Zn sind für solche Anwendungen gut geeignet. Für die Herstellung von Frontelektroden von Flüssigkristallbildschirmen LCDs wird meist Indiumzinnoxid (ITO, indium tin oxide) bzw. zinndotiertes Indiumoxid Sn:In₂O₃ eingesetzt. Einige Indiumatome (3. Gruppe des PSE, Periodensystems der Elemente) werden ersetzt durch Zinnatome (4. Gruppe des PSE). Für Solaranwendungen wird oft das günstigere Aluminiumzinkoxid oder aluminiumdotiertes Zinkoxid Al:ZnO verwendet. Hier werden Zinkatome (2. Nebengruppe des PSE) durch Aluminiumatome (3. Gruppe des PSE) ersetzt.

Abscheidung des leitenden, transparenten Oxids durch Kathodenzerstäubung.

Das gebräuchlichste Herstellungsverfahren für Schichten aus durchsichtigen, leitenden Oxiden auf Substraten oder Superstraten ist die Kathodenzerstäubung oder Sputtertechnologie. Mehrere Feststoffquellen (Targets) sind in einem langgestreckten Vakuumsystem angeordnet und werden dem Beschuss durch hochenergetische Ionen ausgesetzt, wodurch Atome aus der Quelle emittiert werden und in die Gasphase übergehen. Sie scheiden sich dann auf dem Substrat, das sich langsam durch das Vakuumsystem bewegt, ab. Das transparente, leitende Oxid TCO kann auf verschiedenen Materialen wie Glas oder Folie abgeschieden werden.

Hier können Sie eine JWA-Anlage zur Abscheidung von Indiumzinnoxid ITO auf einer Folie für die Herstellung von berührungsempfindlichen Bildschirmen (touch screens) durch Kathodenzerstäubung bzw. durch Sputtern sehen.

JWA kann verschiedene Anlagen zur Abscheidung von TCO-Schichten, sowie auch Fremdfertigung von Maschinen (EMS, electronic manufacturing services) und Fabrikautomatisierung anbieten. Ebenso kann Fertigungskapazität für die Herstellung von LCDs, Solarzellen, Solarmodulen oder berührungsempfindlichen Bildschirmen angeboten werden. Bitte kontaktieren Sie uns bei Interesse.

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