Horizontalofen, Horizontalöfen, Diffusionsofen, Diffusionsöfen für die Halbleiterindustrie
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Koyo Thermo Systems Horizontalöfen

Koyo Thermo Systems produziert zahlreiche Versionen von Horizontalöfen mit vollautomatischem und manueller Bedienung. Kleine Versionen für Pilotlinien und Forschungsinstitute stehen zur Verfügung.

Die Anlagen werden oft unterschiedlich bezeichnet: Horizontalofen, Horizontalöfen, Diffusionsofen, Diffusionsöfen, Rohrofen, Rohröfen, Dotierofen, Dotieröfen, Oxidationsofen, Oxidationsöfen, Halbleiterofen, Halbleiteröfen. Sie sind für viele Prozesse in der Halbleiterhestellung wie Diffusion, Oxidation sowie LPCVD Prozesse ( Nitrid, poly-Silicium, TEOS ) und zur Dotierung von Solarzellen mit Phosphoroxychlorid POCl₃ verfügbar.
Ein Spezialgebiet von Koyo Thermo Systems sind Niedrigtemperaturanwendungen wie beispielsweise Polyimidhärtung, Kupfer-Tempern, low-k, SOG oder Wasserstofftempern.

Ofen:

• Wafer 3" - 8"
• Flat Zone Längen von 250mm - 1000mm
• 3 oder 4 Rohre
• DDC / Rechnerkopplung

Konstruktion:

• Prozesse in den verschiedenen Rohren werden völlig getrennt.
• Bootliftmechanismus auf Wunsch.
• Spezialboden mit integriertem Nivellierrahmen.
• Vertikal aufgebautes Gaspanel. Rückseitige Prozessrohrentnahme ist möglich.

Beladestation:

• Horizontaler, laminarer Gasfluss
• Beleuchtung
• Cantilever oder Soft-Lander Beladung

Prozessrohrabsaugung / Kühlung:

• Vollintegrierte Absaugung
• (2) Luft/Wasser Wärmetauscher pro Rohr
• Absaugüberwachung
• Spezielle Absaugung während der Beladung und Entladung des Ofens.
• Energiesparende Dichtungen

Wartung / Zugang:

• Unabhängige Prozessrohre in herausziehbaren Schubladen.
• Drucksteuerung im unteren Bereich des Gaskabinettes zur Zugangserleichterung.
• Alle Thermoelemente werden von vorne eingeführt und über die gesamte Länge abgestützt.
• Zugang von vorne.
• Eingebaute Heizelementjustiervorrichtung.

Heizelemente zur Wahl:

• LGO Heizer für Supereigenschaften bis zu 1100°C
  
• HGC Heizer für Hochtemperaturanwendungen bis 1250°C

Quarzausstattung:

• Reaktionskammer, bestehend aus Quarzrohr, Quarzboot, evt. Quarzliner, Injektor, Thermoelementrohr, usw.
  
• Bei Hochtemperaturversionen teilweise auch SiC-Rohr bzw. SiC-Boot

Automatisierung:

• Lift.
• Beladeroboter.

Neue Alternativen für F&E Institute und Pilotlinien:

Suchen Sie nach einem Horizontalofen, nur weil dieser billiger ist? Haben Sie kleine Durchsätze und würden Sie gerne kleine Mengen Wafer prozessieren? Möchten Sie eine Superperformance? Dann hat Koyo Thermo Systems einen Ofen gerade für Sie entwickelt! Bitte werfen Sie einen Blick auf Koyo Thermo Systems's neuen VF1000 Ofen!

Diese Neuentwicklung ist ein kleiner Vertikalofen der speziell für Pilotlinien und Forschungslabors entwickelt wurde und die gleiche Leistungsfähigkeit wie die entsprechenden Produktionsöfen aufweist. Der Ofen ist auf kleine Chargen von 25 Wafern ausgelegt. Er ist für Wafergrößen von 3" - 12" verfügbar. Die manuelle Beladung des Bootes ermöglicht einen niedrigen Preis und erlaubt hohe Flexibilität. Die kleinen Abmessungen des Ofens helfen dem Kunden ebenso Kosten zu sparen. Automatischer Bootlift und programmierbare Steuerung werden genutzt um sehr gute Prozessergebnisse zu erzielen. VF1000 Öfen sind für alle Prozesse auslegbar und weisen die gleichen Prozessleistungen wie die großen Modelle VF5100 und VF5300 auf. Wie die größeren Versionen, sind auch die VF1000 Öfen mit den von Koyo Thermo Systems patentierten LGO Heizelementen ausgestattet. Der verfügbare Temperaturbereich reicht von 140°C bis zu 1250°C.

Bitte folgen Sie diesem Link um Vor- und Nachteile von Vertikal- und Horizontalöfen im Vergleich zu finden!

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