| Four fours pour l'industrie LCD et PDP | ||
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Koyo Thermo Systems Co., Ltd. est représentée en Europe par
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New type system with easier maintenance of batch system as well as easier automation of continuous system.
The automatic version consists of a loading station, a precision robot system which moves the glass plates from the cassette to the oven and a set of ovens.
In the CBS version, one or two ovens are just installed befind the cassette I/O stations. In CCBS version, it is possible to install a larger number of clean ovens and increase throughput. The layout is very flexible in accordance with factory layout, substrate size and production volume. On the left picture you can see a CBS system with three I/O stations and two ovens.
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Clean ovens can be used for laboratory work or in an automatic version for batch processing, using
inert gases. You can find a detailed description of our box ovens at a separate page.
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Clean oven with automatic loading cassette to cassette |
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Il existe deux sortes de fours
"verticaux" à passage. Les modèles VX et VWB. Dans les
deux cas les panneaux traversent, de bas en haut, la première
chambre de procédé, puis de haut en bas la
deuxième chambre pour être refroidies sur une station
prévue à cet effet avant d'être
déchargés dans un panier (cas d'une machine "stand
alone") ou continuer sur une ligne de production (cas d'un module
intégré dans une ligne). Le modèle VX permet
l'acheminement des plaques, maintenues en coin par des griffes, en leur
donnant un mouvement de rotation. Des panneaux de grande taille (550mm
x 650mm) peuvent être ainsi traités. Pour des
dimensions plus importantes des risques de déformation sont
à craindre. Le modèle VWB supprime ce risque. En effet,
le panneau de verre est maintenu par une fourche qui en empèche
la déformation.
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Ce four est principalement
utilisé pour le prè-durcissement et le recuit du
poly-imide. C'est un équipement solide et très fiable de
par sa construction. Les plaques de verre portent sur des pions en
quartz eux-mêmes logés dans les supports en Inox.
L'utilisation des Infra-Rouge permet un chauffage rapide de la couche
de poly-imide. La plaque de verre n'a pas le temps de souffrir
de la température. Le temps de traitement est d'une dizaine
de minutes, ce qui assure une cadence de production
élevée du four. On obtient un recuit très uniforme
du poly-imide sans pour cela créer une croûte très
dure à la surface du matériau. La gamme de
température utile de ce four est de 50 à 380°C pour
une uniformité à +/- 5°C.
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Ces types de fours traitent des
paniers entiers (batches). Les paniers (remplis de plaques) sont
chargés par un robot dans la chambre du four qu'ils traversent
sans interruption. Ils sont ensuite déchargés par un
robot et vidés de leurs plaques. Il existe deux types de fours
utilisant ce principe avec des mécanismes de transport
différents. Dans un cas les paniers avancent pas-à-pas
alors que dans l'autre ils se déplacent sur une chaîne de
transport généralement en céramique. Ces fours
offrent une grande flexibilité dans l'ajustement des temps de
procédé.
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Ce nouveau produit permet de traiter
simultanément 16 plaques de verre sans l'utilisation de panier.
Le transfert des panneaux de verre est assuré par un ensemble de
fourches qui permettent le mouvement simultané de 16
pièces. Ce four offre une flexibilité comparable à
celle des fours a transport horizontal. Ses performances en
matière de propreté et pour son aptitude à limiter
l'affaissement des dalles de verre sont comparables a celles des fours
de type VWB. Ce four permet d'économiser de la place dans la
mesure où des paniers ne sont pas nécessaires pour le
transport de retour. Il peut être intégré comme
module dans une ligne de fabrication, sachant toutefois que le temps de
transfert est de 20 min environ. Ce four offre également
une certaine flexibilité quant aux dimensions de substrats
à traiter.
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Deux types d'équipement
à plateaux chauffants sont disponibles chez Koyo. Dans un cas
les dalles sont transportées vers le plateau par des courroies
en Téflon, dans l'autre cas par un système de navette.
Dans les deux cas les plaques sont traitées individuellement. La
température maximum autorisée est dans la plage de 150
à 200°C.
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Pour des applications
particulières dans la fabrication des écrans plats,
nécessitant des températures élevées ou des
gaz spécifiques, Koyo propose un four vertical de grand
diamètre (modèle VF 4000). Des procédés
comparables à ceux de l'industrie du semiconducteur sont
réalisables dans cet équipement (oxydation,
nitruration, dépôt de poly-silicium...). Ce four peut
traiter jusqu'à 50 pièces de grande dimension : 920mm X
730mm (G4).
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Les fours à rouleaux ont
été conçus pour le recuit de dalles de verre de
grande dimension et de poids important. Le transport, à
l'intérieur de ces fours est assuré par des rouleux
en acier Inox logés dans des tubes céramiques (alumine
pure) pour éviter les problèmes de contamination
métallique du verre. Cette configuration s'avère
être la plus efficace pour obtenir un très bon rendement
et une cadence de production optimale. Les dalles de verre peuvent
être superposées, par deux, à l'aide
d'entretoises spécialement adaptées pour être
traitées simultanément. Les rouleaux sont
entraînés par un système très précis
de transmission par chaîne qui permet d'éviter les
glissements des plaques de verre pendant leur déplacement. Le
foyer lui-même consiste en une enveloppe isolante (moufle) et
d'un dispositif de chauffage à Infra-Rouge utilisant les
éléments "Far IR MoldathermTM heaters". Un
dispositif de contrôle de température très
performant permet de maintenir une uniformité à 1°C
près sur des surfaces de verre très importantes.
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