Koyo Thermo Systems Co., Ltd. wird in Europa
vertreten durch:
Crystec Technology Trading GmbH
Vertikal Horizontal RTP Box-Öfen FPD Durchlauf Industrie Keramik LPE Cracker LGO Moldatherm
| Durchlaufofen, Durchlauföfen für die Solarzellenproduktion. | ||
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Koyo Thermo Systems Co., Ltd. wird in Europa
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francais Vertikal Horizontal RTP Box-Öfen FPD Durchlauf Industrie Keramik LPE Cracker LGO Moldatherm |
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| Der neue IR-Ofen wurde für die Solarzellenproduktion hergestellt. Gegenüber anderen Öfen, besitzt er viele Vorteile, wie z.B. der energiesparende Aufbau. Die Al und Ag paste firings benötigen eine schnelle Erhitzung und Abkühlung, was einer der Gründe ist, warum diese Anlage Energie spart. Um diese schnellen Erhitzungen und Abkühlungen zu erreichen, ist eine hohe Bandgeschwindigkeit nötig. Im Gegensatz zum mesh belt conveyor, benötigt der walking beam, der bei dieser Anlage verwendet wird, wenig Energie. Ein anderer Vorteil dieser Anlage ist die sichere automatische Handhabung der Wafer. Zusätzlich ist die Anlage wegen ihrem kompakten Design sehr platzsparend. Um die thermale Masse des Transportbandmaterials zu reduzieren, wurde statt einem "meshed belt" ein "wire" verwendet und um die Wärmestrahlung einzudämmen, wurde statt einem "belt conveyor" ein "walking beam" verwendet. In Betrieb benötigt der mesh belt conveyor-Ofen 62,1 kW und 5300mm Platz, während der wire conveyor-Ofen nur 16,2 kW und 3700mm Platz benötigt. Demzufolge wurde der Enerieverbrauch um 74% gesenkt (300.000 kW/Jahr), der Platzverbrauch um 30% und die Umordnung der Wafer wurde um 40% reduziert. |  Ausgang
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| Wafer Größe | 125mm x 125mm oder 155mm x 155mm |
| Temperatur | Max. 2880 sl/h (4 Reihen, Taktzeit; 5 sec) |
| Ausdehnungen | 1650(B)x3700(L)x1550(H) mm |
Natürlich können sie auch unseren Durchlaufofen des Typs 47-MT verwenden.
Das Modell 206 von Koyo Thermo Systems ist für 150mm Wafer ausgelegt und erfüllt alle Anforderungen an diesen Prozeß. Die in diesem Modell eingesetzten LGO-Heizelemente sorgen durch ihre niedrige thermische Masse für kurze Prozeßzeiten und energiesparenden und somit kostengünstigen Betrieb der Dotieröfen. Alle gängigen Solarzellengrößen können in diesem Diffusionsofen prozessiert werden. POCl3 wird als flüssiges Dotiermittel in einem Bubbler bereitgestellt. Stickstoff streicht bei definierter Temperatur durch die Flüssigkeit und wird mit Dotiermittel angereichert. Typische Dotiertemperaturen liegen bei 800 - 900C.
Für
höhere Ansprüche an die Homogenität des Dotierprofils
bzw.
für vollautomatische Produktionsstraßen stehen
Vertikalöfen zur Verfügung.
Insbesondere
für Anwendungen in der Solarzellenforschung und in der Entwicklung
kann
der kleinste Vertikalofen von Koyo Thermo Systems
erfolgreich eingesetzt werden. Der Ofen Typ VF1000 ist als
Minibatch-Ofen
ausgelegt, besitzt eine manuelle Beladung und ist daher bezgl. der
möglichen Probengrößen sehr flexibel. Der Vertikalofen
ist
mit einem kostensparenden LGO Heizelement
ausgestattet und die
Prozeßperformance entspricht der von Vertikalöfen für
die
Produktion moderner ICs. Der Preis konnte in der gleichen
Größenordung wie der für ein Horizontalrohr in einem
Horizontalofen 206 gehalten werden.
Für die Massenproduktion hat Koyo Thermo Systems einen speziellen Vertikalofen entwickelt, der bessere Prozeßergebnisse liefert als ein Horizontalofen, die Herstellungskosten der Solarzellen aber kaum verteuert. Der Zwillingsofen lädt 3-4 Boote in ein Vertikalrohr und hat somit eine Kapazität von 600 - 800 Solarzellen. Das entspricht der Kapazität eines 4-stöckigen Horizontalofens. Die Automatisierbarkeit ist deutlich einfacher als im Falle eines Horizontalofens.
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