| Fours à production de photopile. | ||
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Koyo Thermo Systems Co., Ltd. est
représentée en Europe par
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Francais Verticaux Horizontaux RTP Fours blancs FPD Fours à Tapis Industriel Céramique LPE Séparateur LGO Moldatherm |
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| The new IR firing furnace was built for the solar cell production. It has got many advantages compared to other furnaces, such as its energy-saving construction. The Al and Ag paste firings require a fast heat-up and cool-down which is one of the reasons why this system saves energy. To reach those fast heat-ups and cool-downs, a fast belt speed is necessary. Unlike the mesh belt conveyor, the walking beam, which is used in this furnace, does not need much energy. Another advantage of this system is the high reliable automatic handling of the wafers. Additionally, the furnace saves space by it's compact design. To reduce the thermal mass on the conveyor material, a "wire" was used instead of a "meshed belt" and to cut off the heat radiation, a "walking beam" was used instead of the "belt conveor". In operation, the mesh belt conveyor furnace needs 62.1 kW and 5300mm of space while the wire conveyor furnace only needs 16.2 kW and 3700mm of space. As a result, the use of energy was reduced by 74% (300,000k W/year) and the need of space was reduced by 30% while the re-alignment of wafers was reduced by 40%. | ![]() Exit Side
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| Wafer Size | 125mm x 125mm or 155mm x 155mm |
| Temperature | Max. 2880 sl/hour (4 rows, Tact time; 5 seconds) |
| Dimension | 1650(W)x3700(L)x1550(H) mm |

Of course you can also use our usal conveyor furnace 47-Mt.

Le modèle de four Koyo Thermo Systems 206, conçu pour ce type d'application et permettant de traiter des plaques jusqu'à 150 mm de diamètre répond tout à fait aux spécifications du procédé de diffusion. Les éléments chauffants (LGO) montés sur le four possèdent une masse thermique très faible et offrent la possibilité de réduire sensiblement le temps de procédé ainsi que de limiter la consommation d'énergie. Le liquide POCl3 est conditionné dans un Bulleur à Azote. L'azote se charge en POCL3 dans des conditions de température contrôlée et est acheminé jusque dans le tube réacteur. La température de dopage type est comprise entre 800 et 900C.
Pour des
procédés plus exigeants (Profil de Dopage,
Homogéneïté) ou des équipements automatiques,
des
fours verticaux, Fours Verticaux sont
disponibles.
La plus petite version d'un tube vertical Koyo Thermo
Systems peut être intégrée, de par sa taille et son
prix très réduits, dans une ligne de recherche et
développement. Le modèle VF1000, conçu comme un
four
à capacité réduite (mini-batch), permet un
chargement
manuel et reste très flexible quand à la taille et la
forme
des substrats pouvant être traités. Ce four est
également
équipé d'un élément chauffant type LGO. Les
performances de ce four en matière de procédé sont
comparables à celles des fours de production pour les circuits
intégrés.
Pour la production de masse, Koyo Thermo Systems a spécialement développé un four vertical donnant des résultats meilleurs que ceux obtenus dans un four horizontal sans augmenter pour autant le coût de fabrication des cellules solaires. Ce four a la capacité de traiter 600 à 800 cellules par cycle, soit le même nombre que dans un tube horizontal. L'automatisme en général est plus fiable que celui d'un four horizontal.