Lavador de gas de escape: Combinación de quemador y lavador
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Lavador de gas de escape con combinación de quemador y lavador.

Este tipo de desintoxicación de gas de escape se compone de diferentes pasos. En el primer paso se eliminan con un lavador los gases disolubles y corrosivos para proteger el quemador que se encuentra después. La Serie SWB de Scrubbern tiene esta opción,la Serie SWB no la tiene. La instalación de este lavador es provechosa cuando el gas de escape tiene hidrógenos halógenos de alta corrosión como HCL o HBr o cuando el gas de escape tiene halógenos metálicos como WF6 El segundo paso es la parte más importante del Scubber: La cámara calentada con elécticidad en la que se descomponen los componentes que no se disuelven en agua. El gas de escape se calienta y los elementos tóxicos se oxígenan con oxígeno. La distribución de la temperatura es muy importante en este paso.La distribución tiene que llegar a un valor mínimo para lavar el gas de escape. Durante la descomposición se forma mucho polvo. A veces se forman también gases de alta corrosión. Este polvo tiene que ser eliminado en los siguientes pasos. Después de haber pasado por un ciclón llega el agua a un segundo lavador. El agua se renueva en un tanque de circulación que puede ser enfriada opcionalmente. Después de este paso se elimina el resto de la humedad con un secador.

Lavador

SemiAn vende diferentes tipos de Scrubber de calor y humedad. Estos están detallados en la siguiente tabla. Todas las partes importantes son hechas en acero fino. El reactor mismo es hecho de inconel y la bomba es recubierta con teflón. El reactor tiene un calentador que se puede adaptar a los deseos de los clientes El reactor puede ser lavado automáticamente y se controla por un PLC y un reglaje de temperatura. El manejo y la visualización se hacen por medio de un monitor TFT. Opcionalmente se puede comprar un elemento de control central en el que se deja ver el estado de todas los lavadoras conectadas en el control central. Hay instaladas diferentes funciones de seguridad, interlock, y sistemas de control. La superficie de la planta a sido minimizada para disminuir los precios.

Alistamiento de tipos diferentes de dexintoxicantes de calor y humedad para gases de escape

SemiAn vende desintoxicantes de gas de escape con combinación de quemador y lavador que han sido desarrollados para el lavado de gases de escape de plantas que se usan en la industria de semiconductores y en la producción de cristal. Por eso los lavadores están hechos para cantidades de gases de: aprox. 100 - 1.200 slm / 6 - 72 m³/h . También vendemos lavadores para otras aplicaciones y éstos son confiables y favorables.
Lavador SBW200 Desintoxificador SWB200 Desintoxificador SBW201

SBW200

SWB200

SBW201


SBW 100 / SBW 200 (SemiAn burn - wet)

Limpiador de gases de escape para la descomposición térmica y la oxidación de componentes venenosos con un depurador para la separación de eeémentos solubles del gas y de la circulación del agua. Este tipo de limpiadora es útil para limpiar los gases que se forman en la producción de plantas de PE-CVD, LP-CVD, y AP-CVD así como los gases de escape de motores MO-CVD reactores (optoelectrónica).

SWB 200 (SemiAn wet - burn - wet)

Limpiador de gases de escape para la descomposición térmica y la oxidación de componentes venenosos. La desintoxificación resulta en tres pasos: Lavado de elementos solubles en el gas de escape, descomposición pirofórica de elementos tóxicos y queemables con lavado con un lavador y un sistema de circulación de agua. Este tipo de limpiador es útil para limpiar de gases que se forman en la producción de plantas de PE-CVD, LP-CVD, y AP-CVD así como gases de escape de motores MO-CVD reactores (optoelectrónica).

SBW 201 / SBW 202

Limpiador grande de gases de escape para la descomposición térmica y la oxidación de componentes venenosos en dos pasos: descomposición pirofórica de elementos tóxicos y quemables con lavado con un lavador y un sistema de circulación de agua. Este tipo de limpiador es útil para la limpiar de gases que se forman en la producción de plantas de PE-CVD, LP-CVD, y AP-CVD así como gases de escape de motores MO-CVD reactores (optoelektronica).

Datos tecnicos

Los siguientes productos químicos se dejan eliminar con estos lavadores. En la tabla se muestran la concentración de entrada máxima y concentración de salida mínima de los elementos tóxicos, así como los valores TLV (valores maximos) y la reacción que se produce en el reactor. Se eliminan hidrógenos halógenos de alta corrosión como HCL o HBr. El gas clórico que se forma es convertido en HCl y ácido bajo en cloro.
Gas Concentración de entrada máxima
in ppm 		Concentración de salida mínima
in ppm 		TLV
in ppm 		Efciéncia
in % 		Reacción química an el quemador.
AsH3 5,000 0.01 0.05 >99.99 2 AsH3 + 3 O2FlechaAs2O3+ 3 H2O
B2H6 2,500 0.01 0.1 >99.99 B2H6 + 3 O2FlechaB2O3+ 3 H2O
C2F6 50,000 1200 n.a. 97.60 C2F6 + 2 O2+ 3 H2Flecha2 CO2 + 6 HF
Cl2 10,000 1 1 99.99 stable
GeH4 4,000 0.02 0.2 >99.98 GeH4 + 2 O2FlechaGeO2 + 2 H2O
H2 125,000 0.5 5 >99.99 2 H2 + O2Flecha2 H2O
HCl 3,000 1 5 99.97 stable
NF3 50,000 5 10 99.99 4 NF3 + 3 O2Flecha2 N2+ 6 OF2
NH3 10,000 5 25 99.95 4NH3 + 3 O2Flecha2 N2+ 6 H2O
PH3 6,000 0.01 0.3 >99.99 2 PH3+ 4 O2FlechaP2O5+ 3 H2O
SF6 5,000 75 1,000 98.50 SF6 + O2 + 3 H2FlechaSO2 + 6 HF
SiF4 4,000 1 n.a. 99.98 SiF4 + O2FlechaSiO2 + 2 F2
SiH2Cl2 1,000 1 5 99.90 2 SiH2Cl2+ 3 O2Flecha2 SiO2 + 2 H2O + 2 Cl2
SiH4 16,000 0.5 5 >99.99 SiH4 + 2 O2FlechaSiO2 + 2 H2O

Alistamiento con recomendaciones

En este alistamiento están los procesos más útiles de la industria de los semiconductores que necesitan lavadores de gases de escape. Los lavadores son usados por ejemplo en empresas como Applied Materials o Lam Research. Las capas que deben ser lavadas son las capas metálicas como: capas de polisilicio, nítridas, oxigénicas y de wolframío. PECVD se usa para las capas de temperaturas bajas como oxigenos, PSG y BPSG así como para capas de wolframio. LPCVD se procesa hoy en día especialmente en hornos verticales, por ejemplo de la empresa Koyo Thermo Systems. Un fabricante bien conocido de estas plantas es la empresa Aixtron.
A veces hay que tomar medidas especiales para evitar ataques del reactor.
Otras formas de lavado de gases de escape con desintoxicación húmeda de gas de escape y orpción química. Un alistamiento de estas máquinas se encuentra en la pagina de limpiamiento de gases de escape de SemiAn .

Proceso Gas tipico Recomendaciónes para diferentes tipos de lavadores de gas de escape
Corocer seco Metal Cl2, BCl3, SiCl4, CHF3, CF4, SF6 SSD o SWB

poly-silicio HBr, Cl2, NF3, SF6 SSD o SWB

Nitrido HBr, CF4, SF6 SSD o SWB

W, Al Oxid Cl2, SF6, CHF3, CF4, NF3 SSD o SWB
PECVD BPSG TEOS, TMP, TMB, N2O, SIH4, B2H6, PH3, C2F6/NF3 SBW

PSG SiH4, PH3, N2O, TEOS, TMP, C2F6/NF3 SBW

Oxido/Nitrido SiH4, NH3, N2O, C2F6/NF3 SBW

Wolfram WF6, NF3, SiH4 SBW
LPCVD Nitrido DCS, NH3 SBW

poly-silicio SiH4 SBW

TEOS (dotado) TEOS, PH3 SBW
Ionenimplanter B2H6, BF3, PH3, AsH3, Ar SSD o SBW
MOCVD GaAs H2, AsH3, MO sources SBW

InP H2, PH3, AsH3, MO sources SBW

GaN H2, NH3, MO Sources SBW

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