Belichtungsanlagen für die LED- und OLED-Fertigung
	Neutronix-Quintel wird in Europa* vertreten durch: Crystec Technology Trading GmbH
	English   deutsch   français Firma   Lithographie   Mask-Aligner   LED   MEMS

Belichtungsanlagen für die LED- und OLED-Fertigung

Pressemitteilung, 14. Juli 2007

Die Technologie der Kontaktbelichtungsanlagen wurde in den vergangenen 25 Jahren erfolgreich eingesetzt - in erster Linie bei der Fertigung von integrierten Schaltkreisen in der Halbleiterindustrie. Über die Zeit jedoch haben weitsichtige Ingenieure aus anderen Branchen die Vorteile dieser Technologie erkannt und sie sich ebenfalls zu eigen gemacht, um kleine Strukturen auf Substrate zu übertragen, die dann oft nicht aus Silizium bestanden. Die Folge war die Ausbreitung dieser Belichtungstechnologie in völlig neue Märkte und die Nutzung für die Herstellung einer Vielzahl neuer Produkte wie beispielsweise die Fertigung von LEDs (light emmiting diodes).
Kontakt- und Nahbelichtungsanlagen (Proximity Aligner) haben mitgeholfen, neue Entwicklungen zu ermöglichen und Firmen entstehen zu lassen. Für viele neue Anwendungen wie die Herstellung von LEDs, MEMS und Mikrofluidik-Bauteilen wird diese Technologie mittlerweile genutzt, führte Brett Arnold, Präsident der in Morgan Hill, Kalifornien ansässigen Firma Neutronix aus. Seine Firma ist spezialisiert auf die Entwicklung und Produktion von Kontaktbelichtungssystemen, Proximity-Belichtungsanlagen und Projektionsbelichtungsanlagen. Ein Schwerpunkt ist der Neuaufbau und die Überholung von Canon PLA 501/600 und MPA 600 Belichtungsanlagen. Diese Canon Mask Aligner wurden 25 Jahre lang für die Halbleiterproduktion eingesetzt. Das ist ein sehr langer Zeitraum im Vergleich zu anderen High-Tech-Geräten.
Gerade diese Canon-Belichtungsanlagen sind sehr zuverlässige und robuste Mask Aligner, die nun nicht länger auf den Einsatz mit Silizium-Wafern beschränkt sind, fügte Hr. Arnold hinzu.
Für Kunden, die neuere Anlagen mit automatischer Beladung oder für große Waferdurchmesser benötigen, produziert Quintel verschiedene Versionen von Kontakt- und Nahbelichtungssystemen nach dem neuesten Stand der Technik zu relativ günstigen Preisen.
Quintel Mask Aligner können Wafergrößen bis zu 200mm Durchmesser bearbeiten und diese einseitig oder doppelseitig belichten. Die Anlagen sind flexibel aufgebaut und können an Kundenanforderungen angepasst werden soweit es nötig ist. Das betrifft sowohl die Maskenart und -größe wie auch Substratmaterial und -dicke.
Universal Display Corporation (UDC) aus Ewing, New Jersey nutzt Quintel's fotolithographische Belichtungstechnologie zur Herstellung von OLEDs (organic light emitting devices), die Einsatz finden als Flachbildschirm, zur Beleuchtung und für weitere opto-elektronischen Anwendungen.
Ein OLED ist ein monolithisches Festkörperbauteil, das aus einer Reihe von organischen Filmen besteht, die zwischen zwei flächigen Elektroden eingebettet sind. Von der Zusammensetzung der einzelen Folien und der Schichtstruktur hängen die Eigenschaften des OLED ab: Emittierte Farbe, Lebensdauer und Stromverbrauch. Die Strukturierung der Folien wird mithilfe des Mask Aligners erreicht.
Als wir die Belichtungsanlage gekauft haben, erschien uns die Quintel-Anlage im Vergleich als die geeigneteste mit der besten Kombination aus Leistungsfähigkeit und Kosten und wir sind sehr zufrieden mit der technischen Unterstützung, sagte Janice K. Mahon, Vize-Präsident Technologie von UDC.
Der Umstand, dass Quintel Masken Aligner eine offenere Architektur haben als andere Anlagen ist hilfreich bei der Anpassung des Mask Aligner an nicht-Halbleiteranwendungen wie LEDs.
Ein wesentlicher Anteil unseres Geschäfts mit Kontaktbelichtungsanlagen stammt aus Aufträgen, die eine spezielle Anpassung an Kundenanforderungen benötigen, sagte Jeff Lane, Vizepräsident von Quintel für Vertrieb und Marketing. Unsere Anlagen werden für viele Kunden abgeändert - wenn machmal auch nur wenig - um sie an besondere Substrate, Masken oder Druckschichten anzupassen. Das ist oft bei der Herstellung von LEDs sowie MEMS und Mikrofuidik-Anwendungen der Fall.

Crystec Technology Trading GmbH diskutiert mit Ihnen gerne weitere Details.
Inhalts- verzeichnis	Sind Sie an weiteren Informationen interessiert? Kontaktieren Sie uns bitte!	zum Seitenkopf