Belichtungsanlagen, Mask Aligner für MEMS-Technologie
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Belichtungsanlagen für MEMS-Technologie

Pressemitteilung, 1. Juli 2007

Die Nutzung von Mask Alignern für eine Reihe wichtiger, neuer Anwendungen konnte aufzeigen, dass diese Belichtungsanlagen nicht nur für die Herstellung von Schaltkreisen auf Siliziumscheiben zu gebrauchen sind. Heute werden diese Geräte auch für andere zukunftsweisende Technologien eingesetzt, wie MEMS (miniature electro-mechanical systems) und Mikrofluidik, also die Steuerung von sehr kleinen Flüssigkeitsströmen.
Neue Industriezweige versuchen Technologien aus anderen Branchen zu nutzen um viele, neuartige Produkte herzustellen, sagte Brett Arnold, President der in San Jose, Kalifornien ansässigen Firma Neutronix, Inc. Die Firma ist spezialisiert auf fotolithographische Anwendungen und die Herstellung von Kontaktbelichtungsanlagen und Projektionsbelichtungsanlagen.
Arnold's Firma Neutronix beschäftigt sich mit dem Nachbau und der Überholung von Canon PLA 501/600 und MPA 600 Belichtungsanlagen. Diese Canon-Serie wurde in der Halbleiterindustrie 25 Jahre lang eingesetzt; eine sehr lange Zeit in unserer schnelllebigen Zeit.
Diese beiden Typen von Mask Alignern sind sehr robuste Arbeitsmaschinen der Branche, aber im Einsatz nun nicht mehr begrenzt auf die Belichtung von Silizium-Wafern, merkte Hr. Arnold an. Einige neue Anwendungen wie MEMS sind ein gutes Beispiel für die Weiterentwicklung von Anlagen - ursprünglich für einen anderen Zweck entwickelt, werden sie jetzt eingesetzt um neue Produkte und neue Märkte zu erschließen.
Kontaktbelichtungsanlagen haben besondere Vorteile für mikromechanischen Anwendungen, bei denen dicken Fotolackschichten zum Einsatz kommen, um hohe Aspektverhältnisse und dreidimensionale Strukturen realisieren zu können, die für den Aufbau von MEMS unerläßlich sind.
BEI Systron Donner, eine Abteilung von BEI Technologies Inc. produziert bewährte MEMS Sensoren und Systeme mit der geschützten Quartz Angular Rate Sensor Technologie, die in OEM Anwendungen für Kurzzeitnavigation, Steuerungssysteme, Flugtester, Roboter und Fahrzeugsteuerung genutzt werden kann. Der STD8 Quartz Tuning Fork Sensor wird bei BEI in großen Stücckzahlen als Fahrzeugsensor produziert. 26 Millionen Sensoren wurden bislang mit einem täglichen Ausstoß von 35.000/Tag hergestellt.
Wir nutzen den Canon PLA 501 Proximity Aligner (Nahbelichtungsanlage) für die Herstellung der Strukturen unseres Festkörpersensors GyroChip(R) da unsere kleinsten Linienbreiten 25µm betragen und diese Belichtungsanlage dafür völlig ausreichend ist, sagte Martin Dewey, der Leiter der Arbeitsvorbereitung der Forschungs- und Entwicklungsabteilung von Systron Donner. Obwohl auch Projektionsbelichtungsanlagen für unsere Arbeit geeignet gewesen wären, war uns die Investitionssumme für so eine Anlage zu hoch. Wir denken, dass der Canon Proximity Aligner für unsere Zwecke am geeignetsten ist.
Wir haben uns auch Anlagen von anderen Herstellern wie Karl Süss und Electronic Visions Group EVG angesehen, waren aber letztendlich der Ansicht, dass die neuaufgebauten Anlagen von Neutronix auf Basis der Canon Mask Aligner das beste Kosten-Nutzen-Verhältnis boten, setzte Hr. Dewey fort.
Für Kunden, die modernere Anlagen benötigen, die auch größere Wafer bearbeiten können und automatische Beladung bieten, kann Quintel neuentwickelte Kontakt- und Nahbelichtungsanlagen liefern, die ebenfalls sehr niedrige Gesamtkosten für den Betreiber (CoO) aufweisen.
Ein Mask Aligner von Quintel kann Wafergrößen bis 200mm verarbeiten und sowohl einseitig als auch beidseitige Belichtungen durchführen. Die neuen Anlagen sind flexibel aufgebaut und können neuen Anwendungen angepasst werden, sowohl bezgl. der Maskenart und -größe als auch dem Material und der Dicke der Substrate.
Heutzutage gewinnen MEMS- und Mikrofuidik-Hersteller deutlich an Konkurrenzfähigkeit, wenn sie die Kostenvorteile und die technischen Vorzüge der Mask Aligner Technologie nutzen, schließt Hr. Arnold.

Heutzutage sind die meistverkauften Belichtungsanlagen für die MEMS-Technologie unsere Neutronix-Quintel-Anlagen der Serien NXQ 4000 und NXQ8000. Typische MEMS Anwendungen sind Schalter, Mikrodisplays, Autofokussysteme, Oszillatoren, IR-Bildwandler, Mikrophone, Kreisel, Beschleunigungsmesser, Drucksensoren, Filter und Tintenstrahlköpfe.

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