Mask aligner pour manufacturer MEMS
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Mask aligner pour manufacturer MEMS

Press Release July 1, 2007

Un grand nombre d'applications innovatives pour l'utilisation des mask aligners-les alignements des masques par contact ont démontré la polyvalence des équipements de la production des plaquettes de silicium. Dédiée une fois seulement pour la fabrication des circuits intégrés, les mask aligners-les alignements de masques par contact sont désormais utilisés pour fabriquer des produits de pointe, inclus ceux intégrant la technologie des MEMS and celle des microfluides. (miniature electro-mechanical systems)
Des industries non traditionnelles sont entrain maintenant de s'approprier des mask aligners-les alignements de masques pour fabriquer des milliers de nouveaux produits, note Brett Arnold, Président de Neutroinx Inc, basé en Californie, experts en photolithographie et fournisseur sur mesure des mask aligners-alignements de masques à contact/proximité et à projection par transparence.
L'entreprise d'Arnold, Neutronix, se base sur la fabrication et l'ingénierie sur mesure des séries de mask aligners-des alignements de masques Canon PLA 501/600 et MPA 600. La série de Canon a été utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs pour 25 ans, un exploit remarquable en comparaison avec d'autres technologies industrielles qui sont désormais considérées obsolètes.
Ces mask aligners-alignements de masques très particuliers sont de très robustes outils de production et ne sont plus seulement limités à la fabrication des plaquettes de silicium, note Arnord. De nouvelles applications d'aujourd'hui représentent un bon example de la métamorphose de la technologie en s'appropriant de quelque chose originellemnt destiné pour une chose et l'appliquer ensuite pour une autre fabriquer un nouveau produit ou meme en faire un produit phare pour un nouveau marché.
Les mask aligners-alignements de masques par contact offrent des avantages spécifiques pour d'épaisses photorésines, des applications en usinage où un taux d'impression élevé de structures à 3 D est requis pour la fabrication de ces produits.
BEI Systron Donner, une division de BEI Technologie, Inc., fabricate des capteurs affinés qui font emploi de sa license de propriété pour la technologie de capteurs basée sur le ratio angulaire du quartz pour l'intégrer dans les applications des OEMs qui comprennent des sytèmes de navigation à court terme, de guide et controle, test de vol, robotique, et insrumentation des véhicules. L'élement de détection à diapason en quartz STD8 de l'entreprise est fabriqué par BEI dans sa ligne de production en masse des capteurs automotives qui a déjà écoulé plus de 26 millions de capteurs à un taux par excès de 35000 par jour.
Nous utilisons les mask aligners-alignements de masques Canon PLA 501 à proximité pour les motif de capteurs à semi-conducteurs GyroChip(R) parce que nos plus petites dimensions ne sont que d'environ 25 microns, de ce fait nous n'avons vraiement pas besoin des sytèmes pour compléter la fabrication, affirme Martin Dewey, le manager d'avant production dans le département de R&D chez Systron Donner. Et meme si les alignements à projection pouvaient bien nous suffir, l'investissement en capital a été un peu plus salé. Nous croyons cependant que les équipements Canon sont les meilleurs en rapport cout et efficacité pour nos besoins.
Nous avions considéré d'autres fournisseurs comme Karl Suss et Electronic Visions Group EVG cependant nous nous sommes vite rendus compte que les équipements refabriquées par Neutronix avaient un meilleur rapport qualité prix, continue Dewey.
Pour les fabricants qui exigent des équipements qui sont en cours, automatisés et capables de loger des plaquettes de silicium grandes dimensions, les entreprises comme Quintel Corp offrent les tout derniers mask aligners - les alignements de masques à des couts raisonables de possession.
Un mask aligner - un alignement de masques de chez Quintel est capable de loger des plaquettes de silicium d'une dimension de 200 mm de diamètre et offre une simple et double exposition. L'équipement est assez flexible pour etre modifié selon les besoins dictés par de nouvelles applications lesquelles peuvent varier en formes et dimensions et en épaisseur de substrats par rapport aux masques traditionnels.
De nos jours, les fabricants des MEMS et microfluides se positionnent pour gagner d'avantage de parts de marchés en utilisant la technologie des mask aligners - alignements de masques pour créer aussi bien des profits que des progès techniques, conclu Arnold.

Aujourd'hui, Neutronix-Quintel vend principalement les séries NXQ 4000 et NXQ8000 mask aligners-les alignements de masques pour les applications MEMs. Les applications typiques MEMS sont les interrupteurs, microdisplays, sytèmes autofocus, oscillateurs, IR imagers, accéléromètres, capteurs de pression, des composants de filtres et d'imprimants à jet d'encre.

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