Trion Technology Firmenüberblick
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Trion Technology

Seit ihrer Gründung 1989 hat sich die Firma Trion Technology, Inc., die ihren Hauptsitz in Clearwater, Florida hat, zu einem der größten US Hersteller von Plasmaätz- und PECVD Abscheideanlagen entwickelt. Trion Technology ist auch in Asien stark vertreten, mit einer installierten Basis in Japan, Taiwan, den Phillipinen, China, Malaysien und Singapur. In Europa wird Trion exklusiv von Crystec Technology GmbH aus Altötting, Deutschland vertreten.

Trion Hauptsitz in Clearwater

Die Fertigung der Plasmaätz- und PECVD-Anlagen erfolgt in der Fabrik in Clearwater, Florida. Dort befindet sich in einem separaten Gebäude auch das Metallbearbeitungszentrum in dem alle zur Metallbearbeitung und Fertigung nötigen Werkzeugmaschinen verfügbar sind, incl. einer Anodisieranlage für Aluminiumteile. Trion fertigt die wesentlichen Bauteile vor und hat ein entsprechendes Lager von Zulieferteilen zur Verfügung, so dass die Lieferzeiten relativ kurz gehalten werden können.

Metallbearbeitungszentrum in Clearwater	Tempe Laserentwicklung und Testcenter

Verschiedene Typen von Plasmaanlagen sind verfügbar, sowohl Ätzer wie auch PECVD-Anlagen. Es werden in der Regel Einzelwafer prozessiert. Die Beladung und Entladung kann direkt oder über eine Loadloack oder über einen Zentralhandler mit Vakuumkassettenlift erfolgen. Für die Veraschung von Fotolack wurde eine kostengünstige Produktionsanlage entwickelt. Für die Fehleranalyse stehen ebenfalls mehrere Typen von Plasmaätzern zur Verfügung die in der Regel eine direkte Beladung aufweisen.
Im Entwicklungszentrum in Tempe, Arizona und bald auch in der Fertigung in Florida steht ein kompletter Satz von Trion Plamsaanlagen zur Verfügung, der normal in der Laserentwicklung eingesetzt wird, aber auch Kunden für Testruns zur Verfügung steht. Da die Anlagen in einem firmeneigenen Halbleiterentwicklungszentrum installiert sind, stehen auch alle nötigen Mess- und Testgeräte wie z.B. ein für die Fehleranalyse notwendiges Rasterelektronenmikroskop zur Verfügung.

Folgender Tabelle können Sie eine Übersicht über die verfügbaren Anlagen entnehmen.

Company Milestones

2007 Crystec Technology Trading GmbH starts representing Trion in Europe.
2006 350th machine ships. Trion introduces the Apollo, an affordable microwave photoresist stripper, at SEMICON West 2006.
2005 Trion develops and releases a competitively-priced multi-chamber photoresist stripper. Trion releases a DRIE system for MEMS applications.
2004 300th machine ships.
2002 Trion sets up an on-site 12,000 sq. ft. machine shop in Clearwater, enabling faster production and more competitive pricing.
2001 200th machine ships. Trion completes a 4,000 sq. ft. expansion to the Tempe facility. Trion moves all manufacturing operations to a 10,000 sq. ft. building in Clearwater.
2000150th machine ships. Trion delivers the first fully-automated systems for high volume production. Trion sets up a fully equipped lab for demo and process development in Tempe. Trion purchases and moves into new, larger facilities on South 52nd Street in Tempe.
1999 100th machine ships. Trion introduces an ICP stripper designed to address the complex issues associated with feature sizes below 0.5 microns on ICs. It removes organic and inorganic materials eliminating the need for post-strip wet chemical processes.
1998 Trion introduces the Oracle, a flexible, low-cost turnkey cluster tool capable of supporting independent process reaction chambers for etch, deposition and sputtering of chlorinated or fluorinated chemistries.
1997 Trion expands into a new facility on Park Lane in Tempe.
1996 50th machine ships. Trion expands sales and services offices in Europe and Asia.
1995 Trion begins manufacturing and service of the Orion PECVD system and Phantom RIE tool to semiconductor research and development companies, universities and foundries.
1994 25th machine ships.Trion begins a joint development project with SEMATECH on liquid source silicon nitride, elimination of silane for safety concerns.
Trion relocates to Tempe, Arizona.
1993 Trion begins manufacturing and service of the Minilock-Phantom (a loadlocked RIE tool) to semiconductor research and development companies, universities and foundries.
1990 Trion delivers the first tool to AMD.
1989 Addison (Randy) Crockett establishes Trion Technology, Inc. in Austin, Texas.

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