Anwendungszentrum Ångström Labor der Universität Uppsala.
Universität Uppsala, Schweden

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Anwendungszentrum Ångström Labor der Universität Uppsala

Das Ångström Labor der Universität Uppsala, Schweden hat eine enge Zusammenarbeit mit den Firmen Koyo Thermo Systems  Co., Ltd. und Crystec Technology Trading GmbH im Bereich Halbleiterofentechnologie vereinbart.

 Angstrom Labor

Das Ångström Labor ist das Materialforschungszentrum der Universität Uppsala. Das Institut beschäftigt sich mit Forschung im Bereich neue Materialien und der Ausbildung von Studenten. Integrierte Bauelemente, Solarzellen, elektrische Batterien und ermüdungsfreie mechanische Komponenten sind wesentlichen Arbeitsgebiete des Institutes. Das Institut unterhält viele Kooperationen, beschäftigt rund 350 Angestellte, bildet 1000 Studenten aus und hat einen Jahresetat von 200 MSEK.

Die Leitung des Instituts erfolgt durch ein Gremium unter der Führung von Prof. Jan-Otto Carlsson. 

Das Herzstück des Institutes ist der Anfang 1998 fertiggestellte Reinraum. Die Gesamtfläche beträgt 2000 m2 und ist auf 30 Labors aufgeteilt. Der größte Teil des Reinraums ist Klasse 10.000. 150 m2 weisen eine Reinraumklasse 100 mit einer Gasführung von der Decke zum Boden auf, in der wiederum kleinere Bereiche als Klasse 10 bzw. Klasse 1 Reinraum ausgeführt sind. Die Temperaturstabilität beträgt ± 1°C. Die Feuchtigkeit wird auf 43 ± 3 % stabil gehalten.

In diesem Reinraum wurden 10 Vertikalöfen des Typs µTF installiert für folgende Anwendungen:

#5

Hochtemperatur-

Tempern

400°C – 1250°C

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.     .     .

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LTO, BPSG

& TEOS

400°C – 900°C

#10

#4

Phospordotierung

mit  Festquelle

400°C – 1100°C

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.     .     .

Silicium-Nitrid

Abscheidung

400°C – 900°C

#9

#3

Bordotierung

mit Festquelle

400°C – 1100°C

.     .     .

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Poly-Silicium

Abscheidung

400°C – 900°C

#8

#2

Oxidation

Ext. Verbrennung, t-LC

400°C – 1100°C

.     .     .

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.     .     .

Post Metall Tempern

Formiergas

200°C – 800°C

#7

#1

Oxidation

Ext. Verbrennung, t-LC

400°C – 1100°C

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Gate Oxidation

Ext. Verbrennung, t-LC

400°C – 1100°C

#6

  Vertikalofen     Uppsala Reinraum

Alle Öfen sind mit Koyo Thermo Systems LGO-Heizern ausgestattet, die aufgrund ihrer sehr niedrigen thermischen Masse besonders gute Temperaturgleichmäßigkeit im Ofen gewährleisten.

Die Steuerung der Öfen erfolgt über SPS Module, die zentral von einem Windows NT PC gesteuert werden.

Koyo Thermo Systems

Crystec Technology Trading GmbH diskutiert mit Ihnen gerne weitere Details.
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