AGV - Beladeroboter für Halbleiterfabriken
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AGV - Beladeroboter für Halbleiterfabriken

In der Halbleiterindustrie findet die Beladung in den meisten Prozessanlagen bereits automatisch statt. Silizumscheiben werden von Robotern in den Anlagen aus Kassetten entnommen und in die Prozesskammer verbracht. Die Kassetten befinden sich oft wiederum in Schutzboxen, die die Kassetten vor Partikeln und Schmutz schützen (sogenannte SMIF-Boxen für 200mm Scheiben und FOUPs für 300mm Wafer). Teilweise wurden diese Boxen auch schon in der Vergangenheit automatisch vom Zwischenlager zu einer Anlage oder auch von einer Anlage zur nächsten transportiert. Hierbei fanden schienengebundene Transportsysteme Verwendung. Diese sind allerdings teuer und wenig flexibel.
Die neueste Entwicklung sind selbstfahrende Beladeroboter, die als AGV (automatic guided vehicle) bezeichnet werden. Diese sind vergleichsweise günstig in der Anschaffung und leicht zu installieren - man kann mit einem einzelnen AGV beginnen und dann Schritt für Schritt weitere Systeme hinzufügen. Diese AGVs sind sehr flexibel einsetzbar. Sie können Kassetten oder Transportboxen oder auch Masken für Lithographieprozesse transportieren. Der Transportweg in der Fabrik ist frei programmierbar. Die AGVs finden Ihren Weg mit Hilfe von Karten und automatischer Positionsbestimmung. AGVs erkennen Hindernisse und Personen, weichen diesen aus oder halten im Zweifelsfall einfach an. So können Bedienpersonal und AGVs sich gleichzeitig im gleichen Reinraum bewegen. Die AGVs erkennen auch die Beladestationen der Prozessanlagen, justieren Ihre Position anhand von auf den Prozessanlagen angebrachten Markierungen und setzen die Kassetten oder Boxen oder Masken sehr präzise auf die Beladestation der Produktionsanlage. AGVs fahren elektrisch. Sie laden die Batterie selbstständig in einer Ladestation während Arbeitspausen auf. Solche Systeme sind jetzt auch in anderen Industriezweigen zunehmend in Betrieb. In Halbleiterfabriken herrschen allerdings besondere Verhältnisse - es muss im Reinraum unter sehr sauberen Bedingungen gearbeitet werden.

Castec i-Operator

Die Fa. Castec International in Taiwan hat bereits viel Erfahrung mit der Produktion von Prozessanlagen für die Halbleiterindustrie und hat nun ein spezielles AGV entwickelt, dass den besonderen Ansprüchen in der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es wurden nur bewährte Komponenten verbaut. Als Fahrgestell und mobile Plattform des AGVs wird das Omron Adept Lynx System eingesetzt, das bereits in großer Zahl und sehr erfolgreich in vielen Industriezweigen im Einsatz ist. Der 6-achsige, Roboterarm stammt von der Fa. Universal (UR5 bzw. UR10), die große Erfahrung bei der Herstellung solcher Arme besitzt. Diese Arme sind kooperativ ausgelegt, das heisst sie können problemlos im gleichen Bereich wie menschliches Bedienpersonal arbeiten. Das Ergebnis ist der i-Operator, den es in 2 verschiedenen Größen gibt, dem i-Operator 5 und dem i-Operator 10.

AGVi-Operator

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