Dans l'industrie des semi‑conducteurs, le chargement interne des outils de production se fait principalement de manière automatique.
Les plaquettes de silicium sont déplacées des cassettes vers la chambre de procédé par un robot manipulateur.
Les cassettes sont souvent conservées dans des boîtes porteuses qui protègent les cassettes des particules et de la saleté — les boîtes SMIF pour les plaquettes de 200 mm et les boîtes FOUP pour les plaquettes de 300 mm. Le transport de ces boîtes depuis le stockeur vers les outils de procédé et entre les équipements a été organisé dans certains cas par des systèmes de transport sur rails. Ces systèmes sont coûteux et peu flexibles.
La dernière évolution est constituée par les véhicules autoguidés, les AGV.
Ils sont relativement peu onéreux et faciles à installer — on peut commencer avec un seul système puis ajouter d'autres AGV au fil du temps.
Ces AGV sont très flexibles d'utilisation. Ils peuvent transporter des cassettes, des boîtes de transport ou encore des réticules pour les procédés lithographiques.
Le trajet de transport dans l'usine peut être programmé selon les besoins. Les AGV se permettent de se repérer à l'aide de cartes et d'un système de localisation automatique.
Les AGV reconnaissent les obstacles et les personnes, les contournent ou s'arrêtent en cas d'incertitude. De cette façon, opérateurs et robots peuvent travailler sur le même plan dans la même salle blanche. Les AGV reconnaissent également les outils de procédé, ajustent leur position en se basant sur des repères fixés à la station de chargement de l'équipement et déposent les cassettes, boîtes ou réticules exactement et avec une grande précision sur la station d'entrée/sortie de l'outil de procédé. Les AGV fonctionnent à l'électricité. Ils rechargent automatiquement leur batterie sur une station de charge lorsqu'ils sont inactifs. De tels systèmes de transport sont déjà utilisés dans de nombreuses industries. Dans une usine de semi‑conducteurs, il existe toutefois des conditions particulières — les AGV doivent évoluer dans des conditions très propres en salle blanche.
