АГВ - робот для загрузки полупроводниковых фабрик
Castec

Castec International представлена в Европе:
Crystec Technology Trading GmbH

Crystec
Inhalt ccd E-Mail English   deutsch   francais   русский
Castec Taiwan   Фирма   и-Оператор

АГВ - робот для загрузки полупроводниковых фабрик

В полупроводниковой промышленности внутренняя загрузка в большинстве процессов происходит в основном автоматически. Кремниевые пластины перемещаются роботами из кассет в рабочую камеру. В большинстве случаев кассеты располагаются в защитных боксах, которые защищают их от частиц и загрязнения (т.н.SMIF-Boxen для 200мм пластин и FOUPs для 300mm пластин).Частично эти боксы транспортировались и ранее от накопителя к оборудованию или от одной установки к другой по рельсовым направляющим. Это дорого и не очень маневренно.
Наиболее современными разработками являются самоуправляемые роботы загрузки, т.н. AGV (automatic guided vehicle). Они довольно дешевы и легко устанавливаемы - вы можете просто начать с одной системы и затем добавлять со временем следующие AGVs. Эти AGVs очень гибки в использовании. Они могут транспортировать кассеты, боксы, а также фотооригиналы для литографии. Транспортные пути на производстве могут при необходимости программироваться. AGV находят свой путь при помощи карт и автоматических позиционноопределителей. AGV распознают препятствия и людей, обходят их или просто останавливаются в сомнении. Таким образом, операторы и роботы могут работать одновременно в одном и том же чистом пространстве. AGV также распознают загрузочные пункты оборудования процесса, определяют их местоположение, основанное на маркерах, подсоединенных к пункту загрузки оборудования и помещают кассеты, или боксы, или шаблоны с высокой точностью на I/O загрузочный пункт установки. AGV передвигаются электрически. Они перезагружают свои батареи автоматически на заправочной станции, когда находяться в нерабочем состоянии. Уже сейчас такие транспортные системы используются на многих производствах. На полупроводниковом производстве существуют некоторые особые условия - AGV должны двигаться в очень чистом пространстве и условиях.

Castec i-Оператор

Кампания Castec International, Тайвань имеет богатый опыт по производству полупроводникового оборудования. Сейчас они разработали более совершенные AGV, соответствующие совершенно особым условиям полупроводниковой промышленности. Для произвоства были использованы только апробированные составляющие. Как прибор и мобильная платформа AGV, используется Omron Adept Lynx система. Многие из этих мобильных платформ уже очень успешно действуют. 6-осевую руку этих роботов получают от Universal (UR5 и UR10). Universal имеет большой опыт по производству таких специальных рук. Они разработаны кооперативным способом, что означает, что они могут безконфликтно работать на одном пространстве с персоналом. Результатом этих усилий является i-Оператор, доступный в 2х размерах, i-Оператор 5 и i-Оператор 10.

AGVi-Operator

Мы будем рады работать вместе с Вами над автоматизацией Вашего полупроводникового производства!

Crystec Technology Trading GmbH будет рада обсудить с вами дальнейшие детали.
InhaltСодержание
Страницы
E-Mail Вас интересует дальнейшая информация?
Пожалуйста, свяжитесь с нами!
nach obenНачало
страницы