AGV - Robot de carga para fábricas de semiconductores
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En la industria de semiconductores, la carga en la mayoría de las instalaciones de procesamiento ya se realiza de forma automática.
Los robots retiran las obleas de silicio de las cassettes en las instalaciones y las trasladan a la cámara de procesamiento.
A menudo, estas cassettes se encuentran en cajas protectoras que protegen las cassettes de partículas y suciedad (llamadas cajas SMIF para obleas de 200 mm y FOUPs para obleas de 300 mm).
En parte, estas cajas también se han transportado automáticamente en el pasado desde el almacén intermedio hasta una instalación o de una instalación a la siguiente.
En este caso, se utilizaron sistemas de transporte sobre rieles. Sin embargo, estos son costosos y poco flexibles.
La última innovación son los robots de carga autónomos, también conocidos como AGV (vehículos guiados automáticos) o FTS (vehículos de transporte sin conductor).
Estos son comparativamente económicos de adquirir y fáciles de instalar: se puede comenzar con un solo AGV y luego agregar gradualmente más sistemas.
Estos AGVs son muy versátiles y pueden transportar cassettes, cajas de transporte o incluso máscaras para procesos de litografía.
La ruta de transporte en la fábrica es programable libremente. Los AGVs encuentran su camino con la ayuda de mapas y determinación automática de la posición.
Los AGVs detectan obstáculos y personas, los evitan o simplemente se detienen en caso de duda. De esta manera, el personal y los AGVs pueden moverse simultáneamente en la misma sala limpia.
Los AGVs también reconocen las estaciones de carga de las instalaciones de procesamiento, ajustan su posición según las marcas colocadas en las instalaciones de procesamiento y
colocan las cassettes o cajas o máscaras de manera muy precisa en la estación de carga de la instalación de producción.
Los AGVs funcionan con electricidad. Cargan la batería de forma autónoma en una estación de carga durante los descansos laborales.
Este tipo de sistemas ahora también se utilizan cada vez más en otras industrias. Sin embargo, en las fábricas de semiconductores hay circunstancias especiales:
se debe trabajar en salas limpias en condiciones muy limpias.
La empresa Castec International en Taiwán tiene mucha experiencia en la producción de instalaciones de procesamiento para la industria de semiconductores y ha desarrollado un AGV especial que cumple con los requisitos particulares de la industria de semiconductores. Solo se han utilizado componentes probados. Como chasis y plataforma móvil del AGV se utiliza el Omron Adept Lynx, un sistema que ya se utiliza en gran número y con mucho éxito en muchas industrias. El brazo robot de 6 ejes proviene de Universal Robots (UR5 o UR10), que tiene una gran experiencia en la fabricación de tales brazos. Estos brazos están diseñados de manera cooperativa, lo que significa que pueden trabajar fácilmente en la misma área que el personal operativo humano. El resultado es el i-Operator, que está disponible en 2 tamaños diferentes, el i-Operator 5 y el i-Operator 10.
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