Anlagen für die Halbleiterindustrie
Anlagen für die Halbleiterindustrie und dabei vor allem Öfen und RTP‑Anlagen stellen nach wie vor unser Kerngeschäft dar. Unser wichtigster Partner in diesem Bereich ist die Fa. JTEKT Thermo Systems, Japan. JTEKT fertigt heutzutage vor allem Vertikalöfen für alle gängigen Prozesse, aber nach wie vor auch Horizontalöfen und auch Schranköfen aller Art. Spezialitäten sind Anlagen für Niedrigtemperaturprozesse ab 120 °C, wie Polyimid Cure oder Kupfertempern, sowie Hochtemperaturanlagen bis 1800 °C für die Prozessierung von SiC‑Wafern. Versionen für Forschung und Entwicklung, die die gleiche Leistungsfähigkeit wie die Produktionsanlagen aufweisen, aber kompakt und flexibel aufgebaut sind, stehen ebenfalls zur Verfügung.
Prozessautomatisierung, incl. Beladeroboter AGVs (automated guided vehicles), OHT (overhead transportation) Systeme und Cassette Stocker können wir über unsere Partner Castec und Daesung anbieten.