Équipements pour l'industrie des semi-conducteurs
Les équipements pour l'industrie des semi-conducteurs — et en particulier les fours et systèmes RTP — restent notre activité principale. Notre partenaire le plus important dans ce domaine est JTEKT Thermo Systems, Japon. JTEKT fabrique aujourd'hui principalement des fours verticaux pour tous les procédés courants, mais propose également des fours horizontaux et des fours armoires de toutes sortes. Parmi les spécialités figurent des systèmes pour des procédés basse température à partir de 120°C, tels que le durcissement du polyimide ou le recuit du cuivre, ainsi que des installations haute température jusqu'à 1800°C pour le traitement des wafers SiC. Des versions pour la recherche et le développement, offrant les mêmes performances que les équipements de production mais compactes et flexibles, sont également disponibles.
L'automatisation des procédés, y compris les robots de chargement AGV, les systèmes OHT (transport aérien) et les stockeurs de cassettes, peut être fournie via nos partenaires Castec et Daesung.