Vertikalöfen LPCVD bei FhG
Koyo Thermo Systems

Das Fraunhofer IISB verwendet Vertikalöfen von
Koyo Thermo Systems

Crystec
Inhalt ccd E-Mail English   deutsch   francais
Koyo TS   Vertikalöfen   KLL Produkte   KLL Prozesse   Anwendungszentrum

Vertikalöfen im Fraunhofer Institut IISB in Erlangen

Die Fraunhofer-Gesellschaft fördert und betreibt international vernetzt anwendungsorientierte Forschung zum unmittelbaren Nutzen für die Wirtschaft und zum Vorteil für die Gesellschaft. Der Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik VµE koordiniert die Aktivitäten der auf den Gebieten Mikroelektronik und Mikrointegration tätigen Fraunhofer-Institute. Seine Aufgabe besteht dabei im frühzeitigen Erkennen neuer Trends bei mikroelektronischen Anwendungen und deren Berücksichtigung bei der strategischen Weiterentwicklung der Verbundinstitute.

Das Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB entwickelt neue Halbleiter-Fertigungsgeräte und -verfahren und stellt Simulationswerkzeuge zur Beschreibung mikroelektronischer Fertigungsschritte bereit. Dafür betreibt es zwei Reinräume in Erlangen.

Für die Prozesse Siliciumnitrid und dotiertes Polysilicium werden Vertikalöfen vom Typ VF1000 der Fa. Koyo Thermo Systems genutzt. Die folgenden Bilder zeigen die beiden LPCVD Öfen von vorne (Reinraum) wie von hinten (Grauraum). Das dritte Bild zeigt den im Keller untergebrachten Vakuumpumpstand.

Vertikalofen VF1000   Vertikalöfen Nitird und poly-Silicium   Vakuumpumpe, Kellerinstallation

Crystec Technology Trading GmbH diskutiert mit Ihnen gerne weitere Details.
Inhaltsverzeichnis unserer Internet-SeitenInhalts-
verzeichnis
Kontakt zu CrystecSind Sie an weiteren Informationen interessiert?
Kontaktieren Sie uns bitte!
Zurück zum Seitenanfangzum
Seitenkopf