La Société Fraunhofer a été fondée en 1949 en tant qu'association à but non lucratif et se spécialise dans la recherche appliquée. Aujourd'hui, Fraunhofer emploie près de 32 000 personnes dans toute l'Allemagne et exploite 75 instituts et unités de recherche indépendantes.
La Société Fraunhofer favorise et mène une recherche appliquée en réseau international pour le bénéfice direct de l'industrie et pour l'intérêt de la société. L'Alliance Fraunhofer Microélectronique coordonne les activités des instituts Fraunhofer œuvrant dans les domaines de la microélectronique et de la microintégration. Sa mission est de détecter tôt les nouvelles tendances dans les applications microélectroniques et de les prendre en compte dans le développement stratégique des instituts de l'alliance.
L'Institut Fraunhofer pour les systèmes intégrés et la technologie des composants (IISB) développe de nouveaux équipements et procédés de fabrication de semi‑conducteurs et fournit des outils de simulation pour décrire les étapes de fabrication microélectronique. À cette fin, il exploite deux salles blanches à Erlangen.
Pour les procédés de nitrure de silicium et de polysilicium dopé, on utilise des fours verticaux du type VF1000 de la société JTEKT Thermo Systems. Les images suivantes montrent les deux fours LPCVD de face (salle blanche) et de dos (zone technique). La troisième image montre la station de pompes à vide installée au sous‑sol.
En tant que représentant européen de JTEKT, Crystec peut proposer des fours verticaux VF1000 correspondants ainsi que des solutions de procédé adaptées et un support pour la mise en œuvre.
