Fours Verticaux LPCVD en FhG
Koyo Thermo Systems

Fraunhofer IISB utilise des fours verticaux de
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Fours Verticaux à l'Insitut IISB Fraunhofer, Erlangen, Allemagne

La société Fraunhofer encourage et porte en avant la recherche avancée en utilisant le réseau international pour assurer des retombées économiques immédiates et pour servir les intérêts de la communauté. L'alliance VµE coordonne les activités des différents instituts de Fraunhofer travaillant dans le domaine de la microélectronique et de la micro intégration. Son rôle est de reconnaître et d'anticiper les nouvelles tendances dans les applications propres à la microélectronique et de les incorporer dans les nouveaux programmes et nouvelles stratégies des instituts membres.

L'institut Fraunhofer des systèmes intégrés et technologies avancées IISB, développe de nouveaux équipements et procédés dans l?industrie du semi-conducteur, comme il produit également des outils de simulation pour la caractérisation des procédés développés pour la microélectronique moderne. Dans cette optique, le centre IISB exploite deux salles blanches à Erlangen.

Pour les procédés de dépôt de «nitrure de Silicium» et de «Silicium poly cristallin» Fraunhofer utilise des fours verticaux, modèles VF 1000, conçus et réalisés par Koyo Thermo Systems. Un aperçu de ces fours, sous différents angles, vous est donné sur les photos ci-jointes.

four vertical VF1000   fours verticaux nitrure et poly silicon   vacuum pump

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