JTEKT Thermo Systems (ehemals Koyo Thermo Systems) hat für die Härtung von nicht-photosensitivem Polyimid eine besondere Version des Reinofens CLH im Programm. Mehrere Rezepte können in der Steuerung gespeichert werden.
Der CLH Ofen ist ein Umluftofen. Das Gas passiert einen HEPA-Filter, wird durch einen speziellen Lamellenheizer erwärmt und wird dann über ein Lochblech von hinten in die Ofenkammer geführt. Das Gas strömt laminar durch die Kammer und wird durch die Vordertür abgesaugt. Das Gas wird von dem im unteren Teil des Ofens befindlichen Ventilator angesaugt und mit Frischgas von außen gemischt. Die entstandene Gasmischung wird in einem Wärmetauscher abgekühlt und ein Teil des Gases über eine Kühlfalle ausgestoßen. Das im Ofen verbleibende Restgas durchläuft den HEPA-Filter und wird anschließend wiederum aufgeheizt.
Für gute Ergebnisse bei der Polyimid-Härtung sind eine gute Temperaturgleichmäßigkeit in der Ofenkammer, niedrige Sauerstoffwerte und geringe Partikelzahlen sehr wichtig. Durch Nutzung der oben beschriebenen Prozedur können relativ hohe Reinheitsgrade in der Kammer (Klasse 100) erreicht werden. Die Temperaturgleichmäßigkeit liegt bei ± 5°C. Der Sauerstoffgehalt kann auf unter 20 ppm abgesenkt werden und optional mit einem Sauerstoffsensor gemessen werden. Damit sind ausgezeichnete Prozeßergebnisse für die Härtung nicht-photosensitiver Polyimide garantiert.
