Four blanc CLH pour traitement de polyimide
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Jtekt Thermo Systems (précédemment Koyo Thermo Systems) a développé une version de four propre (CLH) spécialement adaptée au recuit du Poly-imide non photosensible. Plusieurs programmes ou recettes peuvent être stockées dans le contrôleur.
Le modèle CLH est un four à convection. L'air est d'abord épuré à travers un filtre HEPA (High Efficiency Purifying Air) avant d'être chauffé par un élément chauffant à fourreaux (inox 316 poli) pour ensuite être introduit dans la chambre de réaction à travers un écran perforé à ouvertures réglables. L'ai passe dans la chambre sous forme d'un écoulement laminaire et s'échappe à travers la double paroi perforée de la porte extérieure. Un pulseur d'air situé dans la partie la plus basse du four aspire l'air en provenance de la porte. Cet air est ensuite recyclé de la façon suivante : mélange avec de l'air provenant de l'extérieur, refroidissement à travers un échangeur de chaleur, évacuation d'une partie de l'air à travers un piège froid (refroidissement par eau). Le gaz ainsi refroidi et recyclé peut recommencer une boucle de convection complète. L'intérêt d'un tel montage et de permettre l'utilisation d'un filtre HEPA dans un four dont la température peut atteindre 450°C.
Pour obtenir des recuits de qualité sur du poly-imide, les critères les plus importants sont l'uniformité en température et la très faible concentration en oxygène. Un four CLH permet de travailler dans d' excellentes conditions de propreté (< class 100), avec une très bonne régulation en température (< 5%) et le maintien d'un taux d'oxygène très bas dans la chambre (< 20 ppm). Le concentration d'oxygène peut etre mesuré optionnel avec un senseur ZrO2.
Les temps de montée (> 7°C /min) et descente (> 4°C / Min) en température permettent de réduire sensiblement les temps de cycle. Les fours CLH permettent de traiter jusqu'à 150 plaques de 200 mm par cycle (100 conseillées).
Ce four dispose, comme élément standard, d'un régulateur de programme haute capacité avec 7 modèles et 140 segments. Les modèles d'opération sont démontrés sur une unité d'affichage. Un régulateur de programme de Stange Elektronik est disponible facultativement pour ce four.
La machine est très accessible pourtoute action de maintenance préventive et curative. Nous insistons, cependant, sur le fait que cet équipememt a été conçu pour le recuit des poly-imides non photosensibles, qui ne générent que très peu de produits résiduels. Son utilisation pour des procédés impliquant des poly-imides photosensibles risque de créer de sérieux problèmes de pollution entrainant des temps d'arrêt du four très longs. Pour recuire de tels matériaux, nous vous invitons à découvrir nos fours verticaux (vertical furnaces), sans maintenance, spécialement conçus pour le traitement des matériaux très contaminants tels que les poly-imides photosensible.
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Vou trouverez plus d'informations sur les procédés de recuit poly-imide ( polyimide bake process) et sur d' autres fours ( ovens) fabriquées par Jtekt Thermo Systems (JTEKT) en utilisant ces liens.
JTEKT Thermo Systems et Crystec sont prêts à étudier pour vous, le système qui répondra à vos exigences en présentant le meilleur rapport qualité / prix.
