Crystec Technology Trading GmbH

La version automatisée du four propre est composée de stations de transfert de cassettes, de robots de précision pour transférer les plaques de verre des cassettes vers le four et d'une série de fours propres.

Dans la version CBS, un à deux fours peuvent être installés immédiatement derrière les stations de transfert de cassettes. Dans la version CCBS, il est possible d'installer un plus grand nombre de fours propres pour augmenter le débit. La conception de l'installation est très flexible en termes de configuration, de taille des substrats et de capacité de production. L'image à gauche montre une installation CBS avec trois stations de cassette et deux fours propres.

Les fours propres peuvent être utilisés pour des essais en laboratoire ou dans une version automatisée pour une exploitation non continue sous gaz inerte. Une description détaillée de nos fours en boîte est disponible sur notre page dédiée.

Fours continus à déplacement (walking-beam)

Le four continu repose sur un système de transport walking extrêmement précis avec une propreté remarquable, garantissant un transport à l'intérieur du four sans génération de particules et en toute sécurité. Le transport du substrat de verre logé dans une cassette résistante à la chaleur permet une grande efficacité de production. Grâce à cette technologie de transport par lots, des volumes importants de substrats sont acheminés de manière fiable, propre et avec un minimum de manutention.

Le four walking-beam est disponible en versions verticale et horizontale. Les fours verticals (types VX et VWB) déplacent les panneaux individuellement à travers deux tours de process empilées puis vers la zone de refroidissement. Ils peuvent fonctionner inline ou via transfert par cassette. Le type VX transporte les panneaux via un système de préhension de coin et convient aux grands formats (jusqu'à 550 × 650 mm) mais peut présenter une certaine déformation à ces dimensions. Le type VWB empêche cette déformation grâce à un système de transport par fourche mais nécessite davantage d'espace.

Le four walking-beam horizontal utilise un chauffage IR et est employé principalement pour les opérations de pré-bake et main-bake du polyimide. Les plaques de verre reposent sur des broches en quartz, permettant au polyimide de chauffer rapidement tandis que le verre reste modérément chauffé. Cela permet des temps de soak très courts (env. 12,6 min), un débit élevé et un durcissement homogène sans surcuisson de surface. Le four est utilisable jusqu'à 380 °C et fournit une uniformité de température de ±5 °C.

Avec sa technique de convoyage efficace, sa grande propreté dans la chambre et une intégration de processus optimisée, les deux systèmes offrent une propreté maximale, une grande fiabilité opérationnelle et des performances adaptées aux lignes de production modernes à haut volume.

Four continu à chaîne céramique

Ce type de four traite les plaques de verre par cassette. Les cassettes sont chargées par un robot, traversent le four et sont déchargées par un autre robot. Les cassettes vides sont renvoyées à l'extérieur le long du four. Les deux versions disponibles reposent sur le même principe mais diffèrent par le mécanisme de transport : une version utilise un système de poutre relevable, l'autre une chaîne céramique. Ce four offre une grande flexibilité en termes de durée de process.

Four continu de type rouleau

Des rouleaux de transport céramiques spécialement développés et le système d'entraînement breveté permettent un transport extrêmement propre, fiable et doux même pour de grands substrats en verre — sans génération de particules dans le four. La muffle en verre intégrée protège le substrat de process contre la contamination et assure la plus grande propreté sur l'ensemble du process.

Le chauffeur "Moldatherm" hautement isolant réduit nettement la consommation d'énergie tout en garantissant un transfert de chaleur stable et efficace. Les gaz résiduels générés lors du débinding sont totalement décomposés et éliminés par un système catalytique, permettant une production particulièrement respectueuse de l'environnement et à faibles émissions.

En empilant jusqu'à trois sections de chauffe et en intégrant la zone de refroidissement dans le retour, la longueur du four peut être fortement réduite. Cela permet une empreinte beaucoup plus faible sans compromis sur la performance, la propreté ou la qualité du process.

Four vertical VFS 4000 pour grands échantillons

Ce four vertical de grand diamètre utilise un contrôle strict de la température, de l'atmosphère et des particules et s'appuie sur le savoir-faire de la fabrication de semi-conducteurs pour les processus FPD. Des bateaux en quartz sont utilisés pour créer un environnement sans particules et sans métal permettant un traitement thermique sous vide avec une concentration en O2 de 10 ppm ou moins. Ce four convient au trempage de panneaux tactiles et autres matériaux, au post-bake et à l'activation par recuit. Il est également adapté à divers traitements thermiques des couches RDL sur substrat verre, interposers verre, etc., pour l'emballage avancé des semi-conducteurs comme les chiplets et 2.xD/3D.