Four fours pour l'industrie LCD et PDP
Koyo Thermo Systems

Koyo Thermo Systems Co., Ltd. est représentée en Europe par
Crystec Technology Trading GmbH

Crystec
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Verticaux   Horizontaux   RTP   Fours blancs   FPD   Fours à Tapis   Industriel   Céramique   Verre   LPE   Séparateur   LGO   Moldatherm

Fours pour la fabrication des écrans plats.

Koyo Thermo Systems (KTS) est leader dans les solutions de traitement thermique pour la fabrication des écrans plats. KTS fournit des machines pour la fabrication des écrans à cristaux liquides (STN, TFT, matrices actives) ainsi que pour les autres technologies comme les ELD (Electro Luminescent Display), FED (Field effect Display), PDP (Plasma Display Panel). Parmi les pocédés pour lesquels les équipements de KTS sont très performants les plus remarquables sont : le traitement de surface du verre, le pré-durcissement du cordon de scellement, le durcissement du cordon de scellement, le recuit phosphore, le recuit poly-imide. Cette page donne un aperçu des équipements disponibles pour les applications indiquées précédemment. Cette liste n'étant pas exhaustive, nous vous invitons à nous contacter contact us  pour de plus amples informations.

Automatic clean ovens

Clean Batch System (CBS)or Continuous Clean Batch System (CCBS)

CBS      CCBS

New type system with easier maintenance of batch system as well as easier automation of continuous system.

Features

  1. Various layouts with flexibility in accordance with production volume and the substrate size.
  2. With the batch system, it is not necessary to stop all processing even if under the maintenance.
  3. Super low O2 density with all over sealing structure improves the yield. [Residual O2 density: 20 ppm or less (after 90 minutes of N2 purging)]
  4. Provides unmanned production line such as central control system by the command from a host computer corresponding to CIM/AGV and changing recipe.
  5. Reduced initial costs with corresponding to "Single-Substrate Transfer Type". Reduced the transferring cost in comparison with the cassette type of heavyweight conveyance.
  6. Shortened the cycle time with a cooling system.

The automatic version consists of a loading station, a precision robot system which moves the glass plates from the cassette to the oven and a set of ovens.

CBS layout   CCBS Layout

In the CBS version, one or two ovens are just installed befind the cassette I/O stations. In CCBS version, it is possible to install a larger number of clean ovens and increase throughput. The layout is very flexible in accordance with factory layout, substrate size and production volume. On the left picture you can see a CBS system with three I/O stations and two ovens.

INH kiln

Clean ovens can be used for laboratory work or in an automatic version for batch processing, using inert gases. You can find a detailed description of our box ovens at a separate page.
clean oven with automatic loading
Clean oven with automatic loading cassette to cassette

Equipements de traitement thermique pour la production d'écrans plats.

Version verticale de fours à passage.

four LCD VX
Il existe deux sortes de fours "verticaux" à passage. Les modèles VX et VWB. Dans les deux cas les panneaux traversent, de bas en haut, la première chambre de procédé, puis de haut en bas la deuxième chambre pour être refroidies sur une station prévue à cet effet avant d'être déchargés dans un panier (cas d'une machine "stand alone") ou continuer sur une ligne de production (cas d'un module intégré dans une ligne). Le modèle VX permet l'acheminement des plaques, maintenues en coin par des griffes, en leur donnant un mouvement de rotation. Des panneaux de grande taille (550mm x 650mm) peuvent être ainsi traités. Pour des dimensions plus importantes des risques de déformation sont à craindre. Le modèle VWB supprime ce risque. En effet, le panneau de verre est maintenu par une fourche qui en empèche la déformation.

Fours horizontaux :  Transport de type pas-à-pas, avec chauffage Infra-Rouge.


Ce four est principalement utilisé pour le prè-durcissement et le recuit du poly-imide. C'est un équipement solide et très fiable de par sa construction. Les plaques de verre portent sur des pions en quartz eux-mêmes logés dans les supports en Inox. L'utilisation des Infra-Rouge permet un chauffage rapide de la couche de poly-imide. La plaque de verre n'a pas le temps de souffrir de la température. Le temps de traitement est d'une dizaine de minutes, ce qui assure une cadence de production élevée du four. On obtient un recuit très uniforme du poly-imide sans pour cela créer une croûte très dure à la surface du matériau. La gamme de température utile de ce four est de 50 à 380°C pour une uniformité à +/- 5°C.

Fours horizontaux : Transport de type pas-à-pas où par chaîne céramique.

Fours FPD WB
Ces types de fours traitent des paniers entiers (batches). Les paniers (remplis de plaques) sont chargés par un robot dans la chambre du four qu'ils traversent sans interruption. Ils sont ensuite déchargés par un robot et vidés de leurs plaques. Il existe deux types de fours utilisant ce principe avec des mécanismes de transport différents. Dans un cas les paniers avancent pas-à-pas alors que dans l'autre ils se déplacent sur une chaîne de transport généralement en céramique. Ces fours offrent une grande flexibilité dans l'ajustement des temps de procédé.

Fours pour transports délicats.

FT
Ce nouveau produit permet de traiter simultanément 16 plaques de verre sans l'utilisation de panier. Le transfert des panneaux de verre est assuré par un ensemble de fourches qui permettent le mouvement simultané de 16 pièces. Ce four offre une flexibilité comparable à celle des fours a transport horizontal. Ses performances en matière de propreté et pour son aptitude à limiter l'affaissement des dalles de verre sont comparables a celles des fours de type VWB. Ce four permet d'économiser de la place dans la mesure où des paniers ne sont pas nécessaires pour le transport de retour. Il peut être intégré comme module dans une ligne de fabrication, sachant toutefois que le temps de transfert est de 20 min environ. Ce four offre également une certaine flexibilité quant aux dimensions de substrats à traiter.

Equipement à plateau chauffant (hot plate).

plat chaud
Deux types d'équipement à plateaux chauffants sont disponibles chez Koyo. Dans un cas les dalles sont transportées vers le plateau par des courroies en Téflon, dans l'autre cas par un système de navette. Dans les deux cas les plaques sont traitées individuellement. La température maximum autorisée est dans la plage de 150 à 200°C.

Four vertical à grand diamètre.

four vertical VFS4000
Pour des applications particulières dans la fabrication des écrans plats, nécessitant des températures élevées ou des gaz spécifiques, Koyo propose un four vertical de grand diamètre (modèle VF 4000). Des procédés comparables à ceux de l'industrie du semiconducteur sont réalisables dans cet équipement (oxydation, nitruration, dépôt de poly-silicium...). Ce four peut traiter jusqu'à 50 pièces de grande dimension : 920mm X 730mm (G4).

Equipement de traitement thermique pour la fabrication des écrans à Plasma (PDP).

Fours continus à Rouleaux.

four à rouleaux
Les fours à rouleaux ont été conçus pour le recuit de dalles de verre de grande dimension et de poids important. Le transport, à l'intérieur de ces fours est assuré par des rouleux en acier Inox logés dans des tubes céramiques (alumine pure) pour éviter les problèmes de contamination métallique du verre. Cette configuration s'avère être la plus efficace pour obtenir un très bon rendement et une cadence de production optimale. Les dalles de verre peuvent être superposées,  par deux, à l'aide d'entretoises spécialement adaptées pour être traitées simultanément. Les rouleaux sont entraînés par un système très précis de transmission par chaîne qui permet d'éviter les glissements des plaques de verre pendant leur déplacement. Le foyer lui-même consiste en une enveloppe isolante (moufle) et d'un dispositif de chauffage à Infra-Rouge utilisant les éléments "Far IR MoldathermTM heaters". Un dispositif de contrôle de température très performant permet de maintenir une uniformité à 1°C près sur des surfaces de verre très importantes.

Tous les systèmes de Koyo Thermo Systems sont certifié CE.

Koyo Thermo Systems et Crystec sont prêts à étudier pour vous, le système qui répondra à vos exigences en présentant le meilleur rapport qualité / prix.

Crystec Technology Trading GmbH est à votre disposition pour vous aider dans la réalisation de vos projets.
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