Éléments chauffants LGO pour fours tubulaires

JTEKT Thermo Systems (anciennement Koyo Thermo Systems) fabrique des éléments chauffants Light Gauge Overbend (LGO), mais peut également fournir des résistances Heavy Gauge Coil (HGC).

Éléments chauffants Light Gauge Overbend (LGO)
Performance du chauffage LGO pour semi‑conducteurs
Éléments chauffants Heavy Gauge Coil (HGC)
Chauffage conventionnel HGC pour semi‑conducteurs
Comparaison des éléments chauffants LGO et HGC

Le tableau ci‑dessous présente un aperçu des paramètres techniques clés des deux types de chauffages LGO et HGC.

Type Plage
de température
Capacité
thermique
Poids Stabilité Disposition du
fil chauffant
Vitesses
de chauffe
Vitesses
de refroidissement
Précision de
la température
Prévention
d'overshoot
LGO 120°C-1150°C faible léger élevée Mèandre rapide rapide très élevée très bonne
HGC 400°C-1300°C élevée lourd bonne Bobine normale normale élevée normale

Ci‑dessous, les deux types de chauffages sont comparés en termes de performance dans différentes applications de procédé.

Type Cuisson de polyimide Recuit hydrogène Recuit SOG Dopage Oxydation Oxydation haute température LP Oxyde LP Nitrure LP Polysilicium
LGO excellent excellent excellent bon bon - bon bon bon
HGC bon bon bon bon bon bon bon bon bon
Contrôle précis de la température pour les procédés basse température