Schranköfen, Box-Öfen für den Inertgasbetrieb, mit Umlauferhitzung und HEPA Filter zur Partikelreduktion

Koyo Thermo Systems wird in Europa vertreten durch
Crystec Technology Trading GmbH

Schrank-Öfen

Eine eigene Abteilung innerhalb Koyo Thermo Systems beschäftigt sich mit der Produktion von Öfen aller Art für Laboratorien. Diese Öfen können den Kundenanforderungen angepaßt werden.

Koyo Thermo Systems ist ein Spezialist für die Herstellung von sauberen Schranköfen bzw. Box-Öfen. Diese Öfen sind als Umluftöfen konzipiert und teilweise mit HEPA Filtern ausgerüstet um die Ofenkammer partikelfrei zu halten.

HEPA Filter (High Efficiency Particulate Arrestance) sind heutzutage die führenden Filtersysteme in der Herstellung von Halbleiterbauelementen und Flachbildschirmen sowie bei sonstigen Anwendungen bei denen eine maximale Reduzierung oder Entfernung von Partikeln notwendig ist. HEPA Filter haben eine tiefes Bett zufällig positionierter Mikroglasfasern, in dem die gesamte Bettiefe (Dicke des Filters) groß im Vergleich zum Faserdurchmesser und zum Porenquerschnitt ist.

Der Weg den das Gas durch den HEPA Filter nehmen muss, ist relativ lang. Bei der Anlagerung von Partikeln an der Faseroberfläche wird der Porenquerschnitt kleiner und der Filter effektiver.

Koyo Thermo Systems nutzt diese Filter in den hier beschriebenen Reinöfen sowie in sauberen Durchlauföfen für die LCD Industrie. Um die Filter vor Überhitzung in den Öfen zu schützen wird ein spezielles Schutzsystem installiert. Der HEPA Filter behält seine Wirksamkeit in einem solchen Ofen für ein bis mehrere Jahre. HEPA Filter benötigen während der Laufzeit keine Reinigung oder Wartung um die Wirksamkeit zu erhalten.

CLH
Für die Nutzung in der Halbleiterindustrie.
  • Hochtemperaturversion eines Reinofens.
  • Verfügbar für Temperaturen von 450°C bis 500°C.
  • Wärmetauscher vor HEPA Filter.
  • Temperaturgleichmäßigkeit von besser als ± 4°C.
  • Spezialversion für die Härtung von nicht-photosensitivem Polyimid verfügbar.

Reinofen, Reinöfen CLH

CLO
Reinofen für Prozessierung in sauberer Atmosphäre.
  • Integrierter HEPA Filter.
  • Temperaturen bis zu 350°C
  • Temperaturgleichmäßigkeiten besser als ± 5°C.

Schrankofen, Schranköfen CLO

INH
Diese Version ist mit mehreren Gaseinlässen ausgerüstet.
  • Temperaturen von bis zu  600°C.
  • Gleichmäßigkeiten von besser als ± 8°C.
  • Sauerstoffgehalt kann unter 20ppm gehalten werden.
  • Programierbare Steuerung. Kombination mit Abgasverbrennung ist möglich.
  • Innenabmessung bis zu 1000 x 1000 x 1000 mm3

Inertgasofen, Inertgasöfen, INH

UTO
Hochtemperaturofen.
  • Temperaturen bis zu 700°C.
  • Verteilung besser als ± 8°C.
  • Aufheizung bis 700°C in 90 Min.
  • Abgaszirkulation erhältlich.

Hochtemperaturofen, Hochtemperaturöfen UTO

S02-12-F
Automatisch beladbarer Reinofen für 300mm Wafer.
  • Reinofen, basierend auf dem Modell CLH-21
  • geeignet für 300mm Siliciumwafer
  • für FOUP Übergabestation
  • Automatischer Wafertransfer
  • 50 Wafers pro Los und pro Ofen

automatisierter Ofen SO2

Zur Ofensteuerung wird in Europa meist ein Programmregler der Fa. Stange eingesetzt, der neben der Temperatursteuerung auch eine Gasflußsteuerung über MFCs (Mass Flow Controller) und die Einbindung von Gassensoren, beispielsweise für die Sauerstoffmessung ermöglicht. Optional ist eine Datenanbindung an einen PC verfügbar, die neben der langfristigen Datenspeicherung und statistischer Prozesskontrolle SPC auch Rezeptbearbeitung und Prozessvisualisierung bietet.

Koyo Thermo Systems und Crystec freuen sich darauf, für sie eine kostengünstige Anlage aufzubauen, die Ihren strengsten Anforderungen entspricht.