Limpieza cuadro horno, hornos con filtros HEPA de gas inerte.
Koyo Thermo Systems

Koyo Thermo Systems Co., Ltd. es representado en Europa por:
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Hornos de camaras

Una división de Sistemas de Koyo Thermo produce todos los tipos de hornos para aplicaciones de laboratorio. Estos hornos se pueden personalizar para satisfacer las necesidades de los clientes.

Koyo Thermo Systems es un especialista en el diseño de limpiamiento de hornos. Estos hornos están diseñados como hornos convencionales, parcialmente equipadas con filtros HEPA con el fin de mantener el horno de cámara libre de partículas.

Los filtros HEPA (partículas de alta eficiencia Arrestance) son ahora los principales sistemas de filtración de electrónica y monitor de pantalla plana sala de montaje, o cualquier aplicación donde la máxima reducción o eliminación de las partículas sub micrones es obligatorio. Filtros HEPA tienen un profundo lecho de azar coloca micro fibras de vidrio, en la que la profundidad total de la cama (el espesor del filtro) es muy grande en comparación con el promedio del diámetro de fibra de poro y eficaz camino de la libertad de la sección transversal.

Los pasajes a través del filtro HEPA, que el gas debe fluir no son rectos, pero son muy tortuoso. Como en el impacto de partículas y fibras de adherirse a ellos, los pasajes son más pequeños y el aumento de la eficiencia del filtro.Koyo Thermo utiliza estos sistemas de filtros en los hornos limpio cuadro descrito aquí, así como en hornos especiales de transporte para la industria de LCD. Para proteger los filtros contra el sobrecalentamiento en el horno un especial sistema de protección de los filtros se aplica. El filtro HEPA mantiene su eficacia en el horno en condiciones normales de uno a varios años. HEPA no requiere ninguna limpieza o mantenimiento para mantener esta eficiencia.

horno limpio CLH CLH

Para el uso en la industria de semiconductores.

  • Versión de alta temperatura de la limpieza del horno.
  • Disponible para las temperaturas hasta 450 ° C hasta 500 ° C.
  • Intercambiador de calor para el filtro HEPA.
  • Temp. uniformidad de ± 4 ° C.
  • Versión especial para la cocción de no poliimida fotosensible.
horno de camera CLO CLO
  • Limpie el horno para su transformación en la atmósfera limpia
  • Manejo Integrado de filtro HEPA.
  • Temperaturas de hasta 350 ° C
  • Temp. uniformidad de hasta ± 5 ° C.
Horno de Inert, INH INH

Esta unidad está equipada con diversos circuitos de entrada de gas.

  • Temperatura hasta 600 ° C.
  • Homogeneidad de ± 8 º C.
  • El oxígeno puede ser debajo de 20 ppm.
  • Programable controller.Combination con disparos de gases de escape posible.
  • Dentro de la dimensión de hasta 1000 x 1000 x 1000 mm3

Usted puede encontrar más detalles sobre los diferentes tipos que se availbale en nuestra página especial INH.

horno de halta temperatura UTO UTO

Horno de alta temperatura.

  • Temperaturas de hasta 700 ° C.
  • Homogeneidad de ± 8 º C.
  • Calentamiento de hasta 700 ° C en 90 min.
  • Aire de escape del circuito disponible.
horno automático S02 S02-12-F

Carga automática para limpiar el horno de obleas de 300 mm.

  • Limpiamiento el horno sobre la base de CLH-21 serie
  • Disposición de discos de silicío de 300 mm
  • FOUP I / O disponible
  • la transferencia automática de discos
  • 50 disco / Lote x 2-hornos.

Para el control de hornos que se utilizan en Europa, principalmente del programa de control de la compañía de extraños, que permiten también el control de la temperatura al lado del flujo de gas a través de control de MFC (controlador de flujo de masa) y permite la integración de los sensores de gas, por ejemplo, para la medición de oxígeno Como opción, los datos de acoplamiento con un PC se pueden ofrecer, lo que permite a largo plazo de almacenamiento de datos, así como control estadístico de procesos SPC, la gerencia de la receta y el proceso de visualización.ermöglicht.

Koyo Thermo Systems y Crystec se enorgullecen de poderle construir una planta de bajo costo que satisface sus estrictas necesidades.

Crystec Technology Trading GmbH le amplía a Ud. con gusto informaciones adicionales.
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