Visión general del proceso de curado de poliimida
JTEKT Thermo Systems está representado en Europa por
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Hay muchos procesos disponibles para los hornos de semiconductores de JTEKT Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems). JTEKT Thermo Systems tiene un laboratorio de aplicaciones en Tenri, Nara, Japón, y un centro de aplicaciones en Uppsala, Europa, que opera en colaboración con la Universidad de Uppsala. Las nuevas tecnologías de hornos y procesos se desarrollan en estrecha colaboración con nuestros clientes. JTEKT Thermo Systems también puede ayudar a los clientes a resolver problemas de proceso. En esta página, discutiremos el proceso de curado de poliimida, que es una de las especialidades de JTEKT Thermo Systems. JTEKT Thermo Systems es especialista en el curado de poliimida.
Los poliimidas son polímeros de alta temperatura con excelentes propiedades mecánicas, térmicas y eléctricas. Las aplicaciones en microelectrónica incluyen capas de amortiguación, capas de pasivación, capas de unión y capas dieléctricas intermedias. Los poliimidas generalmente se aplican líquidos y luego se curan en un horno. En este paso, la poliimida adquiere las propiedades deseadas. Para la mayoría de las aplicaciones, la poliimida se puede estructurar litográficamente.
La mayoría de los clientes utilizan poliimida como agente de unión para el material de encapsulación y como capa de amortiguación para reducir los desechos en el empaquetado de los CI y evitar fallos posteriores debido a la temperatura. Los revestimientos de poliimida también pueden ayudar a evitar problemas si el empaquetado de los CI se realiza en una fábrica diferente a la de su producción.
La capa de poliimida reduce el estrés en el silicio causado por la encapsulación y evita grietas en los bordes. La poliimida debe curarse bajo condiciones de temperatura muy uniformes para evitar la formación de grietas en la poliimida y las inconsistencias de color. Un color uniforme es importante para los sistemas de reconocimiento de patrones utilizados en tecnología de empaque. Bajos niveles de oxígeno son necesarios para obtener un material claro y una buena adherencia.
Existen principalmente tres tipos de poliimida:
El material no fotosensible es relativamente barato y fácil de manejar. Los productos de descomposición que aparecen durante el tratamiento térmico son líquidos y no forman residuos sólidos temporalmente. Para este tipo de poliimida, se puede utilizar nuestro horno limpio tipo CLH. Existe una versión especial para el curado de poliimida.
El material fotosensible tiene fuertes ventajas, como mayor resolución, menor susceptibilidad a fallas en procesos de litografía y mayor vida útil. Al usar poliimidas fotosensibles, el número de pasos de proceso necesarios se puede reducir de 9 a 4. Esta es una gran ventaja que justifica los mayores costos de adquisición de un horno vertical de JTEKT Thermo Systems para el curado de poliimidas fotosensibles en comparación con un horno de curado convencional a corto plazo. Al utilizar tecnología de grabado directo, incluso se pueden eliminar otros tres pasos del proceso.
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Para producir capas de poliimida de buena calidad, es indispensable mantener un contenido de oxígeno de menos de 20 ppm durante el proceso. En nuestro horno JTEKT, se pueden alcanzar valores de oxígeno de menos de 8 ppm. Sin embargo, estos bajos valores de oxígeno no requieren tecnología de evacuación. JTEKT Thermo Systems ha desarrollado un horno atmosférico (mucho más económico) que cumple con las necesidades del curado de poliimida y ofrece resultados excelentes. La medición de oxígeno se realiza mediante un sensor de oxígeno de zirconia. En el siguiente gráfico, puede ver la disminución del nivel de oxígeno en el horno a lo largo del tiempo (de derecha a izquierda, con una escala de concentración que cambia varias veces).
Por favor, consulte los elementos calefactores LGO si necesita más información sobre el curado de poliimida o nuestros hornos correspondientes. Las pruebas con nuestros hornos se pueden realizar en nuestro laboratorio de aplicaciones en Tenri.
