JTEKT Thermo Systems fabrica diferentes versiones de hornos verticales con carga completamente automática o manipulación manual para aplicaciones en la fabricación de semiconductores. Se dispone de versiones pequeñas para líneas piloto e institutos de investigación.
Un área especializada de JTEKT Thermo Systems son las aplicaciones de baja temperatura como el curado de poliimida, SOG o temple de hidrógeno.

JTEKT Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems) fabrica una variedad de hornos horizontales con y sin automatización, aunque su importancia en la fabricación moderna de semiconductores está disminuyendo cada vez más. Hoy en día, los hornos verticales son el estado del arte e incluso los laboratorios de investigación están utilizando cada vez más hornos verticales. Solo en el campo de la fabricación de células solares los hornos horizontales todavía son comunes. Se pueden encontrar versiones pequeñas de hornos verticales para laboratorios.
Un área especializada de JTEKT Thermo Systems son las aplicaciones de baja temperatura como el curado de poliimida, SOG o el temple de hidrógeno.

Los sistemas de RTP (Procesamiento Térmico Rápido) de JTEKT Thermo Systems (RLA-xxxx) ofrecen un diseño único de lámparas con campos cruzados debajo y encima de la muestra. Mediante el uso de un ayudante de distribución de temperatura y gracias a una uniformidad de temperatura sobresaliente e incomparable, se logran altas reproducibilidades de procesamiento y se minimiza la aparición de líneas de deslizamiento.

Un departamento separado en JTEKT Thermo Systems produce hornos para laboratorios y para aplicaciones especiales. Muchos de estos hornos son diseñados específicamente para un cliente. En esta área de la empresa también se fabrican hornos de caja.

JTEKT Thermo Systems es el principal fabricante de equipos de tratamiento térmico y sistemas de control de temperatura para la fabricación de pantallas planas. Los procesos principales incluyen el templado de placas de vidrio, el precalentamiento y el templado de juntas, el templado de colorantes y el endurecimiento de poliimidas.

JTEKT Thermo Systems fabrica hornos de paso para una variedad de aplicaciones y procesos como la templatura de películas gruesas, el curado de electrodos o cabezales de impresión térmica. Otras aplicaciones incluyen tratamientos térmicos de juntas, procesos de templado y secado, hornos de soldadura, hornos para el flujo de capas y hornos de curado de resina.

JTEKT Thermo Systems fabrica una variedad de hornos industriales para varios procesos, incluyendo entre otros: endurecimiento, revenido, carbonitruración, nitruración, templado, temple, sinterización y soldadura fuerte. La carga de los hornos puede realizarse de forma automática o manual desde el lateral, desde el frente o desde abajo. Se dispone de diferentes gases de proceso, así como de vacío.

JTEKT Thermo Systems fabrica varios tipos de hornos para aplicaciones en la industria cerámica, como por ejemplo, para secado, descarbonización, cocción continua y sinterización. JTEKT Thermo Systems tiene mucha experiencia en este campo y es líder en Japón en descarbonización y cocción continua. Podemos proporcionarte una larga lista de clientes a pedido.

JTEKT Thermo Systems fabrica instalaciones para la epitaxia de fase líquida, que pueden basarse ya sea en hornos horizontales especiales o en hornos verticales. La cámara de crecimiento se calienta mediante elementos calefactores de LGO. La cámara puede ser evacuada y se puede ajustar una atmósfera de gas inerte o de hidrógeno. Las pasarelas selladas específicamente permiten el movimiento de las muestras o de las fundiciones semiconductoras en la cámara.

El separador de amoníaco de JTEKT Thermo Systems se utiliza para la producción de gas de conformación. El hidrógeno y el nitrógeno se producen de manera económica en una relación de volumen de 3:1 o en una relación de masa de 14:3. Las capacidades de las instalaciones van desde 5m³/h hasta 60m³/h. El gas de conformación producido de esta manera se utiliza comúnmente en hornos de paso o hornos de tubo para procesos de templado en atmósfera reductora, en soldadura fuerte, sinterización, eliminación de óxidos y nitruración.

JTEKT Thermo Systems fabrica un elemento calefactor en forma de tubo para su uso en hornos de semiconductores. Los elementos calefactores patentados de LGO tienen una masa térmica que es más del 50% menor que la de otros elementos calefactores comparables. Los elementos calefactores de LGO ofrecen una excelente uniformidad de temperatura, rampas de calentamiento y enfriamiento rápidas, y un mejor control de temperatura que los elementos calefactores estándar. La estabilidad y la larga vida útil son características clave.

JTEKT Thermo Systems ha producido varios tipos de elementos calefactores Moldatherm. El tipo plano se utiliza principalmente en hornos de paso continuo. También se puede utilizar de forma personalizada para construir hornos especiales y sistemas de calefacción según las especificaciones del cliente. El tipo de calentador semicilíndrico puede ser utilizado por el cliente para revestir tubos. Los elementos calefactores Moldatherm™ pueden utilizarse en rangos de temperatura de 140°C a 1250°C.