Kleine Vertikalöfen für Forschung, Entwicklung und Produktion mit geringen Durchsätzen.
Koyo Thermo Systems

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Vertikalöfen   VF-1000/VF-3000   VF-5100/VF-5300   VF-5700/VF-5900

VF-1000

ein Ofen für R&D und kleine Durchläufe von gemischten Komponenten

Der VF-1000 ist speziell für den Gebrauch in Experimenten und für die Produktion von kleinen Durchläufen verschiedener Teile entwickelt worden. Dieser beliebte Ofen ist kostengünstig und kann für viele Anwendungen, darunter auch die Produktion von 300mm Wafern, verwendet werden.

Zusammenfassung

Der VF-3000 wurde als ein Vertikalofen mit verschiedenen Funktionen, die für die polymide Härtung und andere Halbleiterprozesse notwendig sind, entwickelt. Das kompakte Gehäuse mit einem sehr guten Preis-Leistungs-Verhältnis wird eine stabiles Produktionsumfeld realisieren. Dieser Vertikalofen wurde für Kunden entwickelt, die einen kostengünstigen Ofen benötigen, der aber auch ihre höheren Ansprüche, wie zum Beispiel eine automatische Beladung der Öfen mit Wafern, erfüllt. Eine manuelle Beladung birgt das Risiko einer Kontamination der Wafer. Der VF-3000 ist somit ein Zwischenprodukt zwischen dem kleinen manuell beladbaren Vf-1000 und den größeren vollautomatischen Öfen für die Massenproduktion.

Eigenschaften

1. Kosten
Sehr preisgünstig.

2. Leistung
Außer dem Wafertransfer sin alle anderen VF-Funktionen identisch mit den Funktionen unserer größeren Modelle.
Der VF-1000 verwendet unsere eigene LGO Heizeinheit.

3. Systemsteuerung
Der VF-1000 ist mit zwei verschiedenen systemsteuerungen. der DP-1000 und der MODEL 9700 Steuerung. Die DP-1000 Steuerung kontrolliert die Temperatur und die Ventile. Die MODEL 9700 Steuerung hat verschiedene andere Funktionen, darunter die MFC Kontrolle, das Display arbeitet im Hintergrund und das Netwerk, das es ermöglicht bis zu 16 Einheiten zu verbinden.

4. Kompakt
Eine kompakte Grundfläche macht es möglich den VF-1000 sogar in kleinen Laboren zu installieren.

5. Mehrzweck
Verschiedene Optionen können zu dem grundliegenden VF-1000 System hinzugefügt werden um seine Leistung für LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) Prozessse und andere Anwendungen zu verbessern.





VF-1000

Spezifikationen

Typbezeichnungen

VF-1000 : Atmospherische Prozesse
VF-1000LP : LPCVD Prozesse


Verfügbare Modelle

Modell VF-1000 V55X069 VF-1000 V35X058 VF-1000 V30X052
Wafergröße 300mm 8" <6"
Ofendimensionen(mm) W1800xD1400xH2300 W1500xD1000xH2100 W1500xD1000xH2100
Batchgröße(Wafer) 13 25 25
Heizer LGO LGO LGO
Generelle Operationstemperatur(C°) 300 - 1150 300 - 1150 300 - 1150
Flachzonenlänge(mm) 150 250 160
Kontrollzone(zonen) 3 3 3

Prozesse (Beispiel)

VF-1000 Atmospherische Prozesse: VF-1000LP LPCVD Prozesse (Das Pumpenkabinet kann hinter dem Ofen installiert werden)

Crystec Technology Trading GmbH, Germany, www.crystec.com, +49 8671 882173, FAX 882177
Linie

VF-3000

Kompaktes Modell mit verschiedenen Funktionen


Die Entwicklung des Informations- und Kommunikationsnetzwerkes verlangt ein größeres Volumen der höheren Geschwindigkeit bei der Datenübertragung. According to its trend, it has never creased to make the ackage/substrate more compact with higher-density, it has been indispensable to development in the information society to have super fine/multi wiring technology with the thin-film technology, the "VF-3000" has been developed as a vertical furnace with condensed various functions which are required for the polyimide curing. The compact body with high cost performance will realize a stable production environment.

Features

High cost performance
(Approx. 50% of mass production system)

Saving footprint
(Approx 70% of mass production system)

Full automatic transfer of water (15 min./batch)

Ultra clean (Atmosphere in the furnace: Class 1)

High performance LGO Heater has been mounted.

VF-3000

Specification

Model VF-3000
Max. Operation Temp 1150 °C
Uniform Heating Length 500mm
Temp. Accuracy +/-1 °C at 300 - 600°C
Max. Ramp up Rate +/-30 °C/min
Max. Ramp down Rate -10 °C/min (Forced cooling system)
Temp. Control PID control with inner thermocouple
Casing Dimension W1200 x D1400 x H2550 mm
Batch Size 8"x50pcs., 6"x75pcs
Cassette Stock 4pcs.
Wafer Transfer Single arm/ scholar type robot / single wafer transfer
System Controller Model 880

System Configuration


LGO Heater Saving Energy LGO Heater Stability at low temperature

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Alle Koyo Thermo Systems Öfen sind CE markiert.

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Koyo Thermo Systems und Crystec freuen sich darauf, für sie eine kostengünstige Anlage aufzubauen, die Ihren strengsten Anforderungen entspricht.

Crystec Technology Trading GmbH diskutiert mit Ihnen gerne weitere Details.
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