Pequeños hornos verticales para investigación, desarrollo y producción con bajos rendimientos

JTEKT Thermo Systems es representado en Europa por
Crystec Technology Trading GmbH

VF-1000

un horno para I+D y pequeñas producciones de componentes mixtos

El VF-1000 ha sido desarrollado especialmente para su uso en experimentos y para la producción de pequeñas producciones de varias piezas. Este popular horno es rentable y puede ser utilizado para muchas aplicaciones, incluida la producción de obleas de 300mm.

Resumen

El VF-3000 ha sido diseñado como un horno vertical con diversas funciones necesarias para el curado de polimidas y otros procesos semiconductores. El diseño compacto con una excelente relación calidad-precio proporcionará un entorno de producción estable. Este horno vertical ha sido desarrollado para clientes que necesitan un horno rentable pero que también cumple con sus requisitos más exigentes, como la carga automática de las obleas en los hornos. Una carga manual conlleva el riesgo de contaminación de las obleas. Por lo tanto, el VF-3000 es un producto intermedio entre el pequeño VF-1000 cargado manualmente y los hornos automáticos más grandes para la producción en masa.

Características

1. Costo
Muy económico.

2. Rendimiento
Aparte de la transferencia de obleas, todas las demás funciones del VF-1000 son idénticas a las de nuestros modelos más grandes.
El VF-1000 utiliza nuestra propia unidad calentadora LGO.

3. Control del sistema
El VF-1000 está equipado con dos sistemas de control diferentes: el DP-1000 y el controlador MODELO 9700. El control DP-1000 controla la temperatura y las válvulas. El controlador MODELO 9700 tiene varias otras funciones, incluido el control MFC, la pantalla de trabajo en segundo plano y la red que permite conectar hasta 16 unidades.

4. Compacto
Una huella compacta permite instalar el VF-1000 incluso en laboratorios pequeños.

5. Multiusos
Se pueden agregar varias opciones al sistema básico VF-1000 para mejorar su rendimiento en procesos LPCVD (Deposición Química de Vapor a Baja Presión) y otras aplicaciones.


VF-1000

Especificaciones

Nombres de los Tipos

VF-1000 : Procesos Atmosféricos
VF-1000LP : Procesos LPCVD


Modelos Disponibles
Modelo VF-1000 V55X069 VF-1000 V35X058 VF-1000 V30X052
Tamaño de la Oblea 300mm 8" <6"
Dimensiones del Horno(mm) W1800xD1400xH2300 W1500xD1000xH2100 W1500xD1000xH2100
Tamaño del Lote(Obleas) 13 25 25
Calentador LGO LGO LGO
Temperatura de Operación General(°C) 300 - 1150 300 - 1150 300 - 1150
Longitud de la Zona Plana(mm) 150 250 160
Zona de Control(zonas) 3 3 3

Procesos (Ejemplo)

VF-1000 Procesos Atmosféricos: VF-1000LP Procesos LPCVD (El gabinete de bombeo puede ser instalado detrás del horno)

Crystec Technology Trading GmbH, Alemania, www.crystec.com, +49 8671 882173, FAX 882177
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VF-3000

Modelo compacto con diversas funciones


El desarrollo de la red de información y comunicación demanda un mayor volumen y una velocidad más alta en la transmisión de datos. Según su tendencia, nunca ha dejado de hacer que el paquete/substrato sea más compacto con una mayor densidad; ha sido indispensable para el desarrollo en la sociedad de la información tener una tecnología de cableado súper fino/multi con la tecnología de película delgada. El "VF-3000" ha sido desarrollado como un horno vertical con diversas funciones condensadas que son necesarias para el curado de poliamida. El cuerpo compacto con alta relación costo-rendimiento realizará un entorno de producción estable.

Características

Buena relación costo-beneficio
(Aproximadamente 50% de la planta de producción en masa)

Diseño de carcasa que ahorra espacio
(Aproximadamente 70% de la planta de producción en masa)

Transporte de obleas totalmente automatizado (15 min./lote)

Ultra limpio (Atmósfera en el horno: Clase 1)

Alto rendimiento Se ha montado un calentador LGO.


VF-3000

Especificaciones
Modelo VF-3000
Temperatura máxima de trabajo 1150 °C
Longitud de calentamiento uniforme 500mm
Precisión de temperatura +/-1 °C a 300 - 600°C
Tiempo máximo de calentamiento +/-30 °C/min
Tiempo máximo de enfriamiento -10 °C/min (Sistema de enfriamiento forzado)
Control de temperatura Control PID con termopar integrado
Dimensiones de la carcasa W1200 x D1400 x H2550 mm
Tamaño del lote 8"x50 piezas., 6"x75 piezas
Apilamiento de casetes 4 piezas.
Transferencia de obleas Robot de brazo único/tipo escolar/transferencia de obleas única
Controlador del sistema Modelo 880

Configuración del sistema


Ahorro de energía del calentador LGO Estabilidad del calentador LGO a baja temperatura

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Todos los hornos JTEKT Thermo Systems (anteriormente Koyo Thermo Systems) están marcados con CE.

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