VF5100

VF5100 : Four vertical hautement automatisé pour grands lots.

Le VF5100 est un four vertical hautement automatisé conçu pour des volumes de production moyens à importants et a été développé spécifiquement pour le traitement efficace de grands lots de plaquettes. En tant que premier système de four vertical avec manutention robotisée introduit par JTEKT (anciennement Koyo Thermo Systems), le VF5100 a établi des standards de fiabilité et de productivité depuis 1990. Continuement amélioré au fil des décennies, il est aujourd'hui reconnu dans le monde entier comme l'un des modèles de production les plus populaires.

Avec la capacité de traiter des plaquettes de 4 à 8 pouces en tailles de lots flexibles de 50 à 150 plaquettes, le VF5100 répond parfaitement aux exigences des lignes de production modernes. Jusqu'à 8 cassettes peuvent être mises à disposition dans un système robuste à plateau tournant conçu pour la fiabilité maximale et un entretien minimal. Le chargement peut également être entièrement automatisé via un système AGV en option. Un robot de transfert précis insère cinq plaquettes simultanément dans le bateau en quartz, assurant un transport rapide, propre et délicat des plaquettes.

Équipé des éléments chauffants brevetés LGO et de chauffages MoSi₂, le VF5100 prend en charge une large gamme de procédés thermiques : des procédés LPCVD (Si₃N₄, polysilicium) à l'oxydation et la diffusion en passant par des procédés ultra‑haute température tels que l'oxynitruration de grille SiC ou les recuits d'activation. Une chambre de chargement (load‑lock) purgée à l'azote empêche l'oxydation native avant le traitement, tandis qu'une version SMIF est disponible pour des exigences de propreté particulièrement élevées. Le VF5100 offre ainsi une flexibilité, une efficacité et une qualité de procédé optimales pour des productions exigeantes dans les domaines de la puissance et des semi‑conducteurs.

Avantages

  • Stockage de cassettes fiable
    Le robuste système de cassettes à plateau tournant fonctionne avec une fiabilité particulièrement élevée et nécessite un entretien minimal. Jusqu'à 8 cassettes peuvent être fournies pour de grands volumes de production.
  • Système de transfert éprouvé
    Un robot haute précision transporte les plaquettes efficacement et en douceur. Jusqu'à cinq plaquettes sont transférées simultanément dans le bateau en quartz — idéal pour des flux de production rapides et stables.
  • Load‑lock N₂ pour la plus grande pureté
    Le VF5100 a été le premier système JTEKT avec une zone de chargement hermétique purgée à l'azote. Cela empêche l'oxydation native des plaquettes et garantit des conditions optimales avant le procédé thermique.
  • Support de procédés flexible
    Avec des chauffages sélectionnables (LGO, MoSi₂ ou carbone) le VF5100 prend en charge le recuit basse température, le LPCVD (Si₃N₄, polysilicium), l'oxydation, la diffusion et des procédés exigeants en ultra‑haute température.
  • Grande capacité de lot
    Les tailles de lots peuvent être choisies de manière flexible entre 50 et 150 plaquettes, ce qui rend le VF5100 idéal pour des pilotes moyens jusqu'à des lignes de production complètes.
  • Haute automatisation & compatibilité AGV
    Les cassettes peuvent être chargées manuellement ou automatiquement via des systèmes AGV. Cela permet une intégration transparente dans les lignes de production automatisées.
  • Installation efficace
    Plusieurs systèmes VF5100 peuvent être installés côte à côte sans espaces intermédiaires, idéal pour des zones de production à haut débit et espace limité.
Spécification
Caractéristiques techniques Données produit
Dimensions extérieures W900 × D1850 × H2930 mm (100 plaquettes)
W1000 × D1950 × H3300 mm (150 plaquettes)
Tailles de plaquette 4 à 8 pouces
Taille de lot / quantité chargée 50-150 plaquettes
Stockage de cassettes 8 cassettes
Cassettes de procédé 6
Doigts / transfert des plaquettes 5 plaquettes + manutention single wafer
avec/sans vide
Chargement Automatique avec manutention robotisée
Technologie de chauffage Éléments chauffants LGO, chauffages MoSi₂
Temp. de fonctionnement maxi 1150 °C (LGO)
1400 °C (chauffages MoSi₂)
Contrôle de température 4 zones
Longueur de la zone plane 960 mm
Certification CE
Communication HOST optionnelle
Compatibilité SECS optionnelle
Compatibilité AGV optionnelle
Compatibilité SMIF/FOUP optionnelle
Options Refroidissement forcé, N₂ Load‑Lock, gestion plaquettes fines, tailles de plaquettes convertibles
Four vertical VF5100
Aperçu du procédé
Type / Libellé Pyro.Ox
Film épais		 Pyro.Ox
Film fin		 P‑D‑Poly Poly‑Si HTO Si3N4 TEOS
Gaz de réaction O2/H2 O2/H2 SiH4/PH3/H2 SiH4 SiH2Cl2/N2O SiH2Cl2/NH3 Si(C2H5O)4/O2
Température de croissance (°C) 1000 - 1250 800 - 1000 550 - 600 600 - 620 870 - 890 770 - 800 750
Vitesse de croissance (Å/min) - - 12 - 20 60 - 100 40 - 50 20 - 50 100
Nombre de plaquettes (sheet) 150 150 25 100 100 100 50/100
Plaquette interne 2 2 3 2 3 3 4 3
Variation d'uniformité (%) Plaquettes dans l'entre‑espacement 2 2 2 2 3 2 3 2
Charge dans l'entre‑espacement 2 2 2 1 2 2 2 2

Un aperçu de nos fours verticaux est disponible ici.

VF5300

VF5300 : Four vertical évolué avec stocker intégré pour production de masse.

Le VF5300 est une évolution logique de la série VF et a été conçu pour des fabrications continues à grand volume. Ce système de production en série continue dispose d'un stocker intégré pouvant accueillir jusqu'à 20 cassettes, permettant un fonctionnement largement sans personnel : jusqu'à deux lots peuvent être traités automatiquement et sans intervention opérateur (trois lots en option). Grâce à sa conception modulaire et à son large éventail d'options, le VF5300 est déployé dans de nombreuses lignes de production.

Le stockage des cassettes se compose de plusieurs carrousels empilés et se distingue par sa simplicité de construction et sa fiabilité. Le four traite des plaquettes 8 pouces (200 mm) en grands lots (jusqu'à 150 plaquettes par lot) et est spécialement conçu pour un débit élevé en production de masse ; le rendement est augmenté par rapport aux modèles précédents. Pour la manutention des plaquettes, deux robots indépendants chargent les bateaux et des doigts de manutention sans vide sont utilisés ; en complément, un robot de transfert single ou 5‑plaquettes permet un transfert rapide. Le chargement des bateaux en quartz est entièrement programmable, l'exploitation est simple et le système peut être connecté directement aux ordinateurs hôte.

La régulation thermique utilise les éléments chauffants LGO éprouvés, offrant d'excellentes caractéristiques de température, en particulier dans les plages basses à moyennes. Des chauffages MoSi₂ sont disponibles en option pour supporter des procédés ultra‑haute température (par ex. oxynitruration de grille SiC). Le VF5300 couvre un large spectre de procédés thermiques : recuits basse température, LPCVD (Si3N4, polysilicium), oxydation, diffusion, recuits d'activation et autres traitements thermiques. Toutes les options pertinentes pour l'exploitation du four sont proposées ; une version SMIF est également disponible.

Avantages clés

  • Grand stocker intégré
    Un espace pour jusqu'à 20 cassettes permet de longues séries de production ininterrompues.
  • Haute automatisation
    Le traitement entièrement automatique de plusieurs lots en séquence (2 standard, 3 en option) réduit l'effort opérateur.
  • Manutention rapide et polyvalente
    Deux robots indépendants de chargement de bateaux, des doigts sans vide et des robots de manipulation single/5‑plaquettes assurent un débit de transfert élevé et une flexibilité de chargement.
  • Large support de procédés & excellent contrôle thermique
    Chauffages LGO éprouvés (MoSi₂ en option) et support pour LPCVD, oxydation, diffusion, recuits d'activation et plus encore.
Spécification
Caractéristiques techniques Données produit
Dimensions extérieures W900 × D2300 × H3300 mm
Tailles de plaquette 6 à 8 pouces
Taille de lot 150 plaquettes
Nombre de cassettes en stocker 20 (standard)
Doigts 5 plaquettes ou single wafer (doigts sans vide)
Chargement / manutention Stocker intégré, deux robots indépendants de chargement de bateaux, chargement programmable des bateaux quartz
Technologie de chauffage Éléments LGO (Light Gauge Over‑bend) ; chauffages MoSi₂ optionnels, chauffages carbone
Temp. de fonctionnement maxi 1150 °C (LGO)
1400 °C (MoSi₂)
1900 °C (chauffage carbone)
Contrôle de température 4 zones
Longueur de la zone plane 960 mm
Stockage de cassettes Plusieurs carrousels empilés verticalement ; conception simple et fiable
Nombre de cassettes 20
Port I/O 2
Débit / automatisation Traitement continu ; haut débit, plusieurs fours peuvent être installés côte à côte
Certification CE
Communication HOST optionnelle
Compatibilité SECS optionnelle
Compatibilité AGV optionnelle
Compatibilité SMIF/FOUP optionnelle
Options Refroidissement forcé, N₂ Load‑Lock, gestion plaquettes fines, fonctionnement SMIF
Four vertical VF5300
Aperçu du procédé
Type / Libellé Pyro.Ox
Film épais		 Pyro.Ox
Film fin		 P‑D‑Poly Poly‑Si HTO Si3N4 TEOS
Gaz de réaction O2/H2 O2/H2 SiH4/PH3/H2 SiH4 SiH2Cl2/N2O SiH2Cl2/NH3 Si(C2H5O)4/O2
Température de croissance (°C) 1000 - 1250 800 - 1000 550 - 600 600 - 620 870 - 890 770 - 800 750
Vitesse de croissance (Å/min) - - 12 - 20 60 - 100 40 - 50 20 - 50 100
Nombre de plaquettes (sheet) 150 150 25 100 100 100 50/100
Plaquette interne 2 2 3 2 3 3 4 3
Variation d'uniformité (%) Plaquettes dans l'entre‑espacement 2 2 2 2 3 2 3 2
Charge dans l'entre‑espacement 2 2 2 1 2 2 2 2

Un aperçu de nos fours verticaux est disponible ici.

En savoir plus sur les avantages et inconvénients des fours verticaux et horizontaux dans une comparaison directe.

JTEKT Thermo Systems et Crystec seront ravis de concevoir pour vous un système économique répondant à vos exigences les plus strictes.