1. Almacenamiento de cassettes 2. Sistema de transferencia 3. N2 load lock 4. Instalación |
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Hornos verticales para obleas de 150 mm y 200 mm
JTEKT Thermo Systems está representado en Europa por
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El horno vertical VF-5100 utiliza un brazo robot para transportar obleas con un diámetro de 4 a 8 pulgadas.
Este tipo de VF5100 fue introducido en 1990 como el primer horno vertical de JTEKT (anteriormente Koyo Thermo Systems) con transferencia de obleas mediante robot y ha sido continuamente mejorado a lo largo de los años. Este modelo popular es utilizado actualmente por muchas empresas en todo el mundo. La automatización es muy confiable y requiere poco mantenimiento. Se pueden cargar hasta 8 cassettes en un carrusel, incluso de manera automática mediante un AGV (robot de carga). Se pueden procesar hasta 150 obleas en una sola operación. 5 obleas pueden cargarse simultáneamente en el bote de cuarzo desde el cassette a través del robot de transferencia super limpio. La transferencia es eficiente y confiable. Los elementos calefactores LGO específicos de JTEKT son muy populares entre los clientes. Una cámara de carga (loadlock) purgada con nitrógeno está disponible como opción para evitar la oxidación natural de las obleas. También está disponible una versión SMIF de este horno.
| Características | |||
|---|---|---|---|
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| Especificaciones | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Modelo | VF-5100 |
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| Tamaño de obleas | 4" - "8 | ||||
| Dimensiones exteriores (mm) | W1000 x D1950 x H3250 | ||||
| Carga de aterrizaje | 150 | ||||
| Tratamiento continuo | - | ||||
| Calentadores | 2 | ||||
| Peso (kg) | 1500 | ||||
| Voltaje | 200V / 220V / 400V / 415V | ||||
| Power Rating | 32KW | ||||
| Gases de proceso | Ar, N2 | ||||
| Ultraclean | Si | ||||
| Atmosfera de gas en la carga | N2 | ||||
| Contaminación de partículas | ≤ 2ppm | ||||
| Rendimiento de enfriamiento | 20°C/min | ||||
| Especificación | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Modelo | VF-5300 | ||||||||
| Tamaño de Oblea | 4" - "8 | ||||||||
| Dimensiones Exteriores (mm) | W900 x D2300 x H3250 | ||||||||
| Cantidad de Carga | 150 | ||||||||
| Tratamiento Continuo | 2/3 Cantidad | ||||||||
| Calentadores | Calentador LGO | ||||||||
| Temperatura de Servicio | 300 - 1050°C | ||||||||
| Área (mm) | 960 | ||||||||
| Control de Temperatura | 4 Zonas | ||||||||
| Almacenamiento de Casetes | 20 | ||||||||
| Casetes de Proceso | 12 | ||||||||
| Casetes Dummy | 5 | ||||||||
| Casetes de Monitoreo | 3 | ||||||||
| Transferencia de Obleas | Sin Vacío | ||||||||
| Control | Modelo 1100 | ||||||||
| Apto para SECS | Posible | ||||||||
| Apto para AGV | Posible | ||||||||
| Apto para SMIF/FOUP | Posible | ||||||||
| Resumen del Proceso | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Película Gruesa de Pyro.Ox | Película Delgada de Pyro.Ox | P-D-Poly | Poli-Si | HTO | Si3N4 | TEOS | |||
| Gases de Reacción | O2.H2 | O2.H2 | SiH4.PH3.H2 | SiH4 | SiH2Cl2.N2O | SiH2Cl2.NH3 | Si(C2H5O)4.O2 | ||
| Temperatura de Crecimiento (°C) | 1000 - 1250 | 800 - 1000 | 550 - 600 | 600 - 620 | 870 - 890 | 770 - 800 | - 750 | ||
| Tasa de Crecimiento (A/min) | - | - | 12 - 20 | 60 - 100 | 40 - 50 | 20 - 50 | - 100 | ||
| Número de Obleas (plancha) | 150 | 150 | 25 | 100 | 100 | 100 | 100/50 | ||
| Variación de Densidad (%) | Oblea Interior | 2 | 2 | 3 | 2 | 3 | 3 | 4 | 3 |
| Oblea en Intersticio | 2 | 2 | 2 | 2 | 3 | 2 | 3 | 2 | |
| Carga en Intersticio | 2 | 2 | 2 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | |
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