Unsere Gasreiniger sind speziell dafür entwickelt, industrielle Abgase zuverlässig und effizient zu behandeln. Sie tragen dazu bei, Emissionen zu reduzieren und gesetzliche Vorgaben einzuhalten. Durch modernste Technologien werden Schadstoffe aus den Abgasströmen entfernt oder in unschädliche Verbindungen umgewandelt.
Weiter unten finden Sie eine Tabelle mit einem Auszug typischer Abgase sowie den entsprechenden Verfahren, mit denen diese behandelt werden können. So erhalten Sie einen praxisnahen Überblick über die Leistungsfähigkeit unserer Systeme.
MIDAS-I
Der MIDAS-I Scrubber kombiniert Gasbrenner‑Technologie mit Nassreinigung und bietet eine effiziente Behandlung von bis zu 200 SLM FCKW‑haltigen Prozessgasen.
| Technische Merkmale | Produktdaten |
|---|---|
| Gaseinlass | NW40, 1-4 PORT |
| Gas-Auslass | NW63, 1 PORT / -25 bis -75 mmH2O |
| Gehäuse-Absaugung | Ø 150 mm FLANSCH / -50 bis -125 mmH2O |
| Elektrische Leistungsaufnahme | 2 kW |
| Spannung / Phase | 208 V / 2‑50/60 Hz, 10 A |
| LNG | Max. 65 SLM; Max. 500 mmAq; 3/4" BRASS LOK FITTING |
| CDA (Druckluft) | Max. 200 SLM; 2-3 Kgf/cm² (2-3 bar); 1/4" BRASS LOK FITTING |
| Leitungswasser | Max. 8 SLM; 2-3 Kgf/cm² (2-3 bar); 1/2" BRASS LOK FITTING |
| N₂ (Stickstoff) | Max. 60 SLM; 4-6 Kgf/cm² (4-6 bar); 1/4" BRASS LOK FITTING |
| Abwasserablauf | 3/4" PVC UNION CONNECTION |
| Abmessungen | 1050 (W) × 880 (D) × 1980 (H) mm |
| Gewicht | 460 kg |
| Zertifizierung | CE |
| Anwendung | FDP, R&D, Semi |
SemiAn Burn-Wet-Abgasreiniger SWB 200
Abgasreiniger mit Eingangswäscher zur thermischen Zersetzung und Oxidation von giftigen Komponenten . Die Abgasreinigung erfolgt in drei Schritten: Auswaschen löslicher Abgaskomponenten, pyrophorische Zersetzung toxischer oder brennbarer Anteile, Nachreinigung mit einem Wäscher und einem Wasserzirkulationssystem. Dieser Anlagentyp ist einsetzbar für die Reinigung von Abgasen aus PE-CVD (Halbleiter und LCD-Fertigung), LP-CVD, und AP-CVD Anlagen sowie für Abgase aus MO-CVD Reaktoren (Optoelektronik).
| Technische Merkmale | Produktdaten |
|---|---|
| Gasvolumen | 200 - 400 SLM |
| Heizertemperatur | 800 - 850 °C |
| Leistungsaufnahme | 10 kW |
| Abmessungen (BxTxH) | 800 × 850 × 2000 mm |
| Gewicht | 450 kg |
| Zertifizierung | CE |
| Abwasserneutralisationssystem | Verfügbar |
SemiAn Burn-Wet-Abgasreiniger SBW 200-S
Abgasreiniger zur thermischen Zersetzung und Oxidation von giftigen Komponenten in Kombination mit einem Wäscher zur Abtrennung löslicher Gasanteile und Wasserzirkulationssystem. Dieser Anlagentyp ist einsetzbar für die Reinigung von Abgasen aus Ionenimplantern, PE-CVD, LP-CVD, und AP-CVD Anlagen sowie für Abgase aus MO-CVD Reaktoren (Optoelektronik).
Neben der Standardvariante des SBW‑200 steht auch eine Spezialausführung mit Plasmabrenner zur Verfügung, die speziell für die Zersetzung von Fluorchlorkohlenwasserstoffen (FCKWs) entwickelt wurde. Weitere Details dazu finden Sie hier.
| Technische Merkmale | Produktdaten |
|---|---|
| Gaseinlass | NW40 Flansch, 1-3 Anschluss |
| Gas-Auslass | NW63 Flansch, 1 Anschluss / -25 bis -75 mmH2O |
| Gehäuse-Absaugung | Durchmesser 150 mm Flansch |
| Elektrische Leistungsaufnahme | Max. 7.5 kW |
| Spannung / Phase | 208-220 V / 3 Phase, 60 Hz, 30 A |
| CDA (Druckluft) | Max. 200 SLM; 2-3 Kgf/cm²; 3/8" lok fitting |
| Leitungswasser | Max. 6-8 SLM; 2-3 Kgf/cm²; 3/8" lok fitting |
| Kühlwasser Ein-/Ausgang | Max. 12-16 SLM; 2-3 Kgf/cm²; 1/2" lok fitting |
| N₂ (Stickstoff) | Max. 60 SLM; 4-6 Kgf/cm²; 1/4" lok fitting |
| Abmessungen | 1800 (W) × 900 (D) × 1800 (H) mm |
| Gewicht | 560 kg |
| Zertifizierung | CE |
| Anwendung | R&D |
SemiAn Burn-Wet-Abgasreiniger SBW III-202-S
Große Version des Abgasreinigers, bestehend auf mehreren, parallelen, thermischen Zersetzungseinheiten zur Oxidation von giftigen Komponenten und nachfolgender Nasswäsche. Die Abgasreinigung erfolgt in zwei Schritten: Pyrophorische Zersetzung toxischer oder brennbarer Anteile und Nachreinigung mit einem Wäscher und einem Wasserzirkulationssystem. Dieser Anlagentyp wird bevorzugt eingesetzt für die Reinigung von Abgasen in der LCD-Fertigung für die PE-CVD, für Abgase aus MO-CVD Reaktoren in der Optoelektronik sowie für Abgase aus Epitaxyreaktoren.
| Technische Merkmale | Produktdaten |
|---|---|
| Heizkammer-Temperatur | 800 - 850 °C |
| Einlassanschluss | ISO 63 Flansch, 1 Anschluss |
| Auslassanschluss | ISO 200 Flansch, 1 Anschluss / -25 bis -75 mmH2O |
| Gehäuse-Absauganschluss | Durchmesser 100 mm Flansch / -25 bis -125 mmH2O |
| Abwasserablaufanschluss | 1/2" lok fitting |
| Elektrische Leistung | 20 kW |
| Spannung / Frequenz / Phase | 208 V / 50/60 Hz / 3 Phase, Nennstrom 75 A |
| Strom bei Volllast | 55 A |
| Betriebsstrom | 30-40 A |
| Kühlwasser Ein-/Ausgang | 2-3 Kgf/cm²; 8-12 SLM; 3/8" lok fitting |
| CDA (Druckluft) | 2-3 Kgf/cm²; max. 750 SLM; 1" lok fitting |
| Stickstoff | 4-6 Kgf/cm²; max. 100 SLM; 1/4" lok fitting |
| Abgasmessanschluss | 1/4" lok fitting |
| Abmessungen | 1800 (W) × 900 (D) × 2000 (H) mm |
| Anwendung | Si-C, MO-CVD, PE-CVD |
| Zertifizierung | CE |
| Gewicht | 1200 kg |
