"Katalytischer" Abgasreiniger

Trockene Abgasreiniger oder Trockenreiniger nutzen Chemisorption bzw. Adsorption um Abgase von Schadstoffen zu befreien. Spezielle Chemikalien mit großer Oberfläche werden eingesetzt, um toxische Stoffe an deren Oberfläche zu adsorbieren. Das Adsorbens ist in einer speziellen Kartusche bzw. Patrone enthalten. Die nötige Kontaktzeit ist sehr kurz und hängt nicht von der Eingangskonzentration ab. Wenn das gesamte Material verbraucht ist, muss es ausgetauscht werden. Dieses Abgasentgiftungsverfahren kann für nahezu alle in der Halbleiterindustrie eingesetzten Prozesse bzw. die dabei anfallenden Abgase angewandt werden. Es benötigt weder Strom noch Gase, noch Wasser für den Reinigungsschritt. Nötig ist dagegen Wartung. Das Adsorbens bzw. der Katalysator muss regelmäßig getauscht und die benutzten Chemikalien müssen entsorgt werden. Mit einem Indikator eingefärbtes Adsorbermaterial zeigt in einem Fenster an, wenn das in der Kartusche enthaltene Material zu 90% verbraucht ist und das Material ausgetauscht werden muss. Durch Nutzung eines Farbsensors ist es möglich einen automatischen Alarm bei Farbumschlag auszulösen.

Trockener Abgasreiniger durch Chemisorption bzw. Adsorption

Die trockene Abgasreinigung empfiehlt sich daher vor allem bei einer niedrigen Schadstoffkonzentration, da in diesem Fall die Lebensdauer einer Patronenfüllung hoch ist. Sie ist ebenfalls für Notfall-Reinigungssysteme zu empfehlen, bei denen in der Regel im zu behandelnden Abgas keine Schadstoff enthalten sind, im Falle eines Unfalls aber hohe Schadstoffwerte zu erwarten sind, die dann mit diesem Trocken-Scrubber abgefangen werden sollen. In diesem Fall wird der Abgasreiniger diskontinuierlich genutzt und Nasswäscher oder Kombinationssysteme aus Brenner und Wäscher sind in diesem Fall aufgrund der laufenden Betriebskosten nicht so gut geeignet.
SemiAn bietet katalytische Abgasreiniger an, die für die Reinigung von Abgas aus Prozessanlagen entwickelt wurden, wie sie u.a. in der Halbleiterindustrie und bei der Fertigung von Flüssigkristalldisplays eingesetzt werden. Entsprechend sind unsere Abgasreiniger auf Gasflüsse von ca. 100 - 1.200 slm bzw. 6 - 72 m3/h ausgelegt. Wir liefern aber auch gerne Wäscher dieser Größenklasse für andere Anwendungen, zuverlässig und kostengünstig.

Übersicht über die Trockener Gasreinigertypen

Unsere Serie trockener Abgasreiniger bietet eine zuverlässige Lösung für die sichere und effiziente Behandlung industrieller Abgase. Auf Basis chemischer Adsorption und Chemisorption bei Raumtemperatur entfernen die Systeme Schadstoffe aus CVD-Anlagen, Ionenimplantern und Plasmaätzern ohne zusätzlichen Energieaufwand. Eine integrierte Bypass-Kartusche sorgt für die sofortige Notfallbehandlung, während Temperatur- und Drucküberwachung die Reaktionswärme kontrollieren und frühzeitig auf mögliche Verstopfungen hinweisen. Die Bedienung erfolgt komfortabel über einen modernen Touch Screen TFT-Monitor, der alle relevanten Informationen übersichtlich darstellt. Ergänzend stehen optionale Gas- und Leckwarnsysteme, Schnittstellen zu Prozessanlagen sowie eine zentrale Visualisierung mehrerer Reiniger zur Verfügung, sodass sich die Anlagen flexibel in bestehende Produktionsumgebungen integrieren lassen. Damit vereinen die Abgasreiniger höchste Sicherheit, einfache Handhabung und nachhaltige Effizienz für anspruchsvolle High-Tech-Prozesse

SSD-50

Der SSD‑50 ist die kleinste verfügbare Version unserer trockenen Gasreiniger. Mit seinem kompakten 50‑Liter‑Kanister eignet er sich besonders für den Einsatz in Forschung und Entwicklung, wo Flexibilität und platzsparende Lösungen gefragt sind.

Spezifikation
Technische Merkmale Produktdaten
Kanistervolumen 50 Liter
Gaseinlass NW 40 Flansch, 1 Port
Gasauslass NW 40 Flansch, 1 Port / -25 bis -75 mmH₂O
Bypass-Leitung 1/2" Rohrleitung
Gehäuse-Luftabsaugung Ø 100 mm Flansch
Elektrische Leistungsaufnahme Max. 220 W
Spannung / Phase 208 V / 1 Phase, 50/60 Hz, 1 A
N₂ (Stickstoff) Max. 5 SLM; 4-6 Kgf/cm²; 1/4" Lok-Fitting
Abmessungen 600 (B) × 500 (T) × 1500 (H) mm
Gewicht 180 kg
Zertifizierung CE
Scrubber SSD-50

SSD-100

Der SSD‑100 erweitert diese Serie um eine leistungsstärkere Variante mit einem 100‑Liter‑Kanister. Er ist ideal für Pilotanlagen und kleinere Produktionsumgebungen, in denen ein höheres Abgasvolumen sicher und effizient behandelt werden muss, ohne auf die bewährte Technologie und Bedienfreundlichkeit zu verzichten.

Spezifikation
Technische Merkmale Produktdaten
Kanistervolumen 100 Liter
Bypass-Kanistervolumen (optional) 1,5 Liter (optional)
Elektrische Leistung 1 Phase, 208 V, 3 A, 50/60 Hz
Stickstoff (N₂) 4,5-7 Kgf/cm², 10 SLM, 1/4" Lok-Fitting
Gaseinlass 1 Port, NW 40 Flansch
Gasauslass 1 Port, NW 40 Flansch
Gehäuse-Absaugung Ø 100 mm Flansch
Probe-Auslass 1/4" Lok-Fitting
Abmessungen 650 (B) × 650 (T) × 1700 (H) mm
Gewicht 240 kg
Zertifizierung CE
Scrubber SSD-100

Mehr Volumen für Ihre Prozesse

Für höhere Kapazitätsanforderungen bieten wir auf Anfrage Trockengasreiniger mit größeren Kanistern an.

SBD-200

Das Scrubber-Modell SBD200 wurde speziell für anspruchsvolle Spezialanwendungen entwickelt. Es kombiniert die Vorteile eines katalytischen Scrubbers mit einem leistungsstarken Brenner und erreicht so eine besonders effiziente Trockengasreinigung bei Durchflussraten bis zu 200 slm. Durch die Kombination von Verbrennung und Adsorption werden Schadstoffe zuverlässig entfernt, während gleichzeitig stabile Betriebsbedingungen gewährleistet sind. Das Modell SBD200 bietet damit eine flexible Lösung für Prozesse, die höchste Anforderungen an Reinheit, Sicherheit und Wirtschaftlichkeit stellen.

Spezifikation
Technische Merkmale Produktdaten
Gaseinlass NW40-Flansch, 1–3 Anschlüsse
Gas-Auslass NW63-Flansch, 1 Anschluss / −25 bis −75 mmH₂O
Gehäuse-Absaugung Durchmesser 150 mm Flansch
Elektrische Leistungsaufnahme Max. 7.5 kW
Spannung / Phase 208–220 V / 3-Phasen, 60 Hz, 30 A
CDA (Druckluft) Max. 200 SLM; 2–3 kgf/cm²; 3/8" Lok-Fitting
Wasserverbrauch Max. 6–8 SLM; 2–3 kgf/cm²; 3/8" Lok-Fitting
PCW Ein-/Ausgang Max. 12–16 SLM; 2–3 kgf/cm²; 1/2" Lok-Fitting
N₂ (Stickstoff) Max. 60 SLM; 4–6 kgf/cm²; 1/4" Lok-Fitting
Abmessungen 1800 (B) × 900 (T) × 1800 (H) mm
Zertifizierung CE
Gewicht 560 kg
Scrubber SBD-200

MIDAS-II

Das Scrubber-Modell MIDAS‑II bietet im Gegensatz zu katalytischen Systemen eine leistungsstarke Kombination aus Brenner und Kühlung. Diese Technologie ermöglicht eine besonders effiziente Trockengasreinigung bei Durchflussraten bis zu 200 slm. Schadstoffe werden zuverlässig durch kontrollierte Verbrennung entfernt, während die integrierte Kühlung für stabile Betriebsbedingungen sorgt. Damit verbindet MIDAS‑II hohe Reinigungsleistung mit sicherem und wirtschaftlichem Betrieb – ideal für anspruchsvolle Anwendungen in der industriellen Abluftbehandlung.

Spezifikation
Technische Merkmale Produktdaten
Spezifikation Gesamt-Gasbehandlungsvolumen 200 SLM
Gaseinlass NW40, 1–2 Anschluss
Gas-Auslass NW63, 1 Anschluss / -25 – -75 mmH2O
Gehäuse-Absaugung Durchmesser 150 mm Flansch / -50 – -125 mmH2O
Elektrische Leistungsaufnahme 10.5 kW
Heizerleistungsaufnahme 9.9 kW
Spannung / Phase 208 V / 3‑50/60 Hz, 40 A
CDA (Druckluft) Max. 200 SLM; 2–3 Kgf/cm² (2–3 bar); 3/8" lok fitting
Kühlwasser Ein-/Ausgang Max. 12–18 SLM; 2–3 Kgf/cm² (2–3 bar); 3/8" lok fitting
N₂ (Stickstoff) Max. 30 SLM; 4–6 Kgf/cm² (4–6 bar); 1/4" lok fitting
Abmessungen 800 (W) × 700 (D) × 1670 (H) mm
Gewicht 350 kg
Zertifizierung CE
Anwendung MOCVD
Scrubber MIDAS-II

Abgasreinigung durch sechs spezialisierte Adsorbentien

Mit unserem innovativen Verfahren lassen sich selbst komplexe Schadstoffkombinationen zuverlässig aus Abgasen entfernen. Dabei setzen wir auf sechs speziell entwickelte Adsorbentien, die gezielt auf unterschiedliche Schadstoffgruppen abgestimmt sind. So wird belastete Abluft effizient gereinigt und in saubere Luft verwandelt. Das Ergebnis: maximale Reinheit, nachhaltige Umweltfreundlichkeit und wirtschaftlicher Betrieb. Dank der hohen Leistungsfähigkeit unserer Adsorbentien profitieren Sie von einer flexiblen Lösung, die sich an verschiedenste Branchen und Anforderungen anpassen lässt. Unsere Technologie sorgt nicht nur für die Einhaltung gesetzlicher Grenzwerte, sondern schafft auch einen spürbaren Mehrwert für Ihr Unternehmen: geringere Betriebskosten, höhere Effizienz und ein klarer Beitrag zum Umweltschutz.

Adsorbens Schadstoff
Zebent 1 BCl3, Cl2, etc.
Zebent 2 BCl3, BF3, Cl2, HBr, HCl, HF, F2, WF6, etc.
Zebent 3 B2H6, SiH2Cl2, SiH4, Si2H6, TEOS, TMB, TMP, etc.
Zebent 4 BCl3, Cl2, NH3, SiH2Cl2, etc.
Zebent 5 AsH3, B2H6, H2S, H2Se, PH3, etc.
Zebent 6 BCl3, BF3, Cl2, GeF4, HBr, HCl, HF, F2, etc.

Für zusätzliche Chemikalien oder höhere Durchflussraten stehen Ihnen weitere Scrubber-Modelle zur Verfügung. Eine vollständige Übersicht unserer Modellpalette finden Sie hier.