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SemiAn Korea   Société    Lavage   Humide+Combustion   Plasma   Catalyse

Description du modèle de "Laveur à catalyse".

L'équipement de "lavage à sec" utilise un catalyseur pour éliminer les composés toxiques par chemisorption ou adsorption. Le temps de mise en contact est très court et reste indépendant de la concentration initiale du composé. Quand le matériau a entièrement réagi, la cartouche contenant le catalyseur doit être remplacée. Cette méthode d'abattement peut être utlisée pour tous les procédés rencontrés dans l'industrie de la micro-électronique. Cette technique ne nécessite ni énergie, ni chimie, ni eau pour traiter les gaz, mais une maintenance rigoureuse. Le catalyseur doit être régulièrement remplacé et les résidus solides évacués. Un adsorbant coloré par un indicateur est visible dans un fenêtre, avertissant quand 90% de la matière dans dans la cartouche a été épuisé et la matière doit donc être changé. Si on utilise un capteur de couleurs, cela permet de débrayer une alarme automatique en cas de changement de couleur.

lavage à sec pour nettoyage de gas par chemisorption ou adsorption.
Cette technologie, très efficace, reste intéressante pour les traitements de rejets toxiques à faible concentration. Dans ce cas, la cartouche de catalyseur aura une durée de vie plus longue. C'est un équipement qui permet des interventions d'urgence et ponctuelles lorsqu'on se trouve dans le cas d' un risque de contamination imminent. Ce laveur par catalyse peut être utilisé comme système complémentaire, dans des cas particuliers où les rejets gazeux ne réagissent à aucun autre traitement (lavage à l'eau ou thermique-humide). Nos systèmes de lavage sec marche fiable et bon marché.

 Adsorber SSD200

SSD 50, SSD 100, SSD 200

Les gaz sont traités à température ambiante dans un réacteur d'adsorbtion chimique. Le système peut être couplé à des équipements de CVD, implantation ionique, et gravure sèche. Une cartouche d'appoint est installée pour palier à tout besoin de traitement d'urgence d'un rejet gazeux. Un contrôle permanent de la température permet de protéger le réacteur contre les excès d'échauffement. La pression d'entrée est contrôlée de manière à assurer un débit continu des rejets dans l'unité de nettoyage. L'accès aux commandes du système est assuré par un écran LCD tactile.

  • Volume de Gaz traité : 50 - 400 litres / minute.
  • Volume de la cartouche : 50 litres à 200 litres.
  • Puissance : 300W
  • Dimensions (LxPxH) : 700mm x 700mm x 2000mm (SSD200)
  • Poids : 360 kg (SSD200)

Options : Detecteur de gaz en entrée, detecteur de fuites, contrôleur centralisé, Interface de communication avec l 'équipement de procédé connecté.

Liste des Catalyseurs et des produits chimiques pouvant être traités.
Agent Adsorbeur Gaz supprimés
Zebent 1 BCl3, Cl2, etc.
Zebent 2 BCl3, BF3, Cl2, HBr, HCl, HF, F2, WF6, etc.
Zebent 3 B2H6, SiH2Cl2, SiH4, Si2H6, TEOS, TMB, TMP, etc.
Zebent 4 BCl3, Cl2, NH3, SiH2Cl2, etc.
Zebent 5 AsH3, B2H6, H2S, H2Se, PH3, etc.
Zebent 6 BCl3, BF3, Cl2, GeF4, HBr, HCl, HF, F2, etc.

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