Purificateur d'échappement "catalytique"

Les purificateurs d'échappement secs, ou nettoyeurs secs, utilisent la chimisorption et l'adsorption pour débarrasser les gaz d'échappement des polluants. Des produits chimiques spéciaux à grande surface sont employés pour adsorber les substances toxiques à leur surface. L'adsorbant est contenu dans une cartouche spéciale. Le temps de contact requis est très court et n dépend pas de la concentration d'entrée. Lorsque le matériau est entièrement consommé, il doit être remplacé. Cette méthode de détoxication des gaz peut être appliquée à pratiquement tous les gaz d'échappement présents dans l'industrie des semi-conducteurs. Elle ne nécessite ni électricité, ni gaz, ni eau pour l'étape de purification. Ce qui est nécessaire, en revanche, c'est la maintenance. L'adsorbant ou le catalyseur doit être remplacé régulièrement et les produits chimiques usés doivent être éliminés. Un matériau adsorbant coloré par un indicateur montre dans une fenêtre lorsque la cartouche est consommée à environ 90 % et doit être changée. L'utilisation d'un capteur de couleur permet de déclencher une alarme automatique lors du changement de couleur.

Purificateur d'échappement sec par chimisorption / adsorption

La purification sèche des gaz convient particulièrement aux faibles concentrations de polluants, car dans ce cas la durée de vie du remplissage de la cartouche est longue. Elle est également recommandée pour les systèmes de purification d'urgence où, en règle générale, aucun polluant n'est présent dans le gaz d'échappement, mais en cas d'accident des niveaux élevés peuvent survenir et doivent être capturés par le scrubber sec. Dans ce cas, le purificateur est utilisé de façon discontinue et les laveurs humides ou les systèmes combinés brûleur/laveur sont en général moins adaptés en raison de leurs coûts d'exploitation permanents.
SemiAn propose des purificateurs catalytiques d'échappement développés pour le traitement des gaz de procédé utilisés, entre autres, dans l'industrie des semi-conducteurs et dans la fabrication d'écrans à cristaux liquides. Nos purificateurs sont conçus pour des débits de gaz d'environ 100 - 1 200 slm (6 - 72 m3/h). Nous fournissons également volontiers des laveurs de cette gamme de tailles pour d'autres applications — de manière fiable et économique.

Aperçu des types de purificateurs de gaz secs

Notre gamme de purificateurs d'échappement à sec offre une solution fiable pour le traitement sûr et efficace des gaz d'échappement industriels. Basés sur l'adsorption chimique et la chimisorption à température ambiante, les systèmes éliminent les polluants des installations CVD, des implanteurs d'ions et des graveurs plasma sans apport d'énergie supplémentaire. Une cartouche de dérivation intégrée permet un traitement d'urgence immédiat, tandis que la surveillance de la température et de la pression contrôle la chaleur de réaction et signale tôt d'éventuels colmatages. L'exploitation se fait confortablement via un écran tactile TFT moderne affichant clairement toutes les informations pertinentes. Des systèmes optionnels de détection de gaz et de fuites, des interfaces vers les installations de procédés et une visualisation centralisée de plusieurs purificateurs sont disponibles, permettant une intégration flexible dans les environnements de production existants. Les purificateurs d'échappement allient ainsi sécurité maximale, facilité d'utilisation et efficacité durable pour des processus high-tech exigeants.

SSD-50

Le SSD‑50 est la version la plus compacte de nos purificateurs de gaz secs. Avec sa cartouche de 50 litres, il convient particulièrement pour une utilisation en recherche et développement, où flexibilité et gain de place sont essentiels.

Spécification
Caractéristiques techniques Données produit
Volume de la cartouche 50 litres
Entrée de gaz Bride NW 40, 1 port
Sortie de gaz Bride NW 40, 1 port / -25 à -75 mmH₂O
Conduite de dérivation Tube 1/2"
Aspiration du boîtier Bride Ø 100 mm
Consommation électrique Max. 220 W
Tension / Phase 208 V / 1 phase, 50/60 Hz, 1 A
N₂ (Azote) Max. 5 SLM; 4–6 Kgf/cm²; raccord Lok 1/4"
Dimensions 600 (L) × 500 (P) × 1500 (H) mm
Poids 180 kg
Certification CE
Purificateur SSD-50

SSD-100

Le SSD‑100 complète cette gamme par une variante plus puissante avec une cartouche de 100 litres. Il est idéal pour des installations pilotes et de plus petites lignes de production où un volume d'échappement plus important doit être traité en toute sécurité et efficacité, sans renoncer à la technologie éprouvée et à la facilité d'utilisation.

Spécification
Caractéristiques techniques Données produit
Volume de la cartouche 100 litres
Volume de la cartouche de dérivation (optionnel) 1,5 litres (optionnel)
Puissance électrique 1 phase, 208 V, 3 A, 50/60 Hz
Azote (N₂) 4,5–7 Kgf/cm², 10 SLM, raccord Lok 1/4"
Entrée de gaz 1 port, bride NW 40
Sortie de gaz 1 port, bride NW 40
Aspiration du boîtier Bride Ø 100 mm
Sortie d'échantillonnage Raccord Lok 1/4"
Dimensions 650 (L) × 650 (P) × 1700 (H) mm
Poids 240 kg
Certification CE
Purificateur SSD-100

Plus de volume pour vos processus

Pour des exigences de capacité plus élevées, nous proposons sur demande des purificateurs de gaz secs avec des cartouches plus grandes.

SBD-200

Le modèle de scrubber SBD200 a été spécialement développé pour des applications spécialisées et exigeantes. Il combine les avantages d'un scrubber catalytique avec un brûleur puissant pour obtenir un nettoyage des gaz secs particulièrement efficace pour des débits allant jusqu'à 200 slm. Par la combinaison de la combustion et de l'adsorption, les polluants sont éliminés de manière fiable tout en garantissant des conditions d'exploitation stables. Le modèle SBD200 offre ainsi une solution flexible pour des procédés nécessitant les plus hautes exigences en matière de pureté, de sécurité et de rentabilité.

Spécification
Caractéristiques techniques Données produit
Entrée de gaz Bride NW40, 1–3 raccords
Sortie de gaz Bride NW63, 1 raccord / −25 à −75 mmH₂O
Extraction du boîtier Bride diamètre 150 mm
Consommation électrique Max. 7,5 kW
Tension / Phase 208–220 V / 3 phases, 60 Hz, 30 A
CDA (air comprimé sec) Max. 200 SLM; 2–3 kgf/cm²; raccord Lok 3/8"
Consommation d'eau Max. 6–8 SLM; 2–3 kgf/cm²; raccord Lok 3/8"
Entrée/Sortie PCW Max. 12–16 SLM; 2–3 kgf/cm²; raccord Lok 1/2"
N₂ (azote) Max. 60 SLM; 4–6 kgf/cm²; raccord Lok 1/4"
Dimensions 1800 (L) × 900 (P) × 1800 (H) mm
Certification CE
Poids 560 kg
Scrubber SBD-200

MIDAS-II

Le modèle MIDAS‑II offre, contrairement aux systèmes catalytiques, une puissante combinaison d'un brûleur et d'un refroidissement. Cette technologie permet un nettoyage à sec des gaz particulièrement efficace pour des débits allant jusqu'à 200 slm. Les polluants sont éliminés de manière fiable par une combustion contrôlée, tandis que le refroidissement intégré assure des conditions de fonctionnement stables. Le MIDAS‑II combine ainsi une haute performance de purification avec une exploitation sûre et économique – idéal pour des applications exigeantes dans le traitement des fumées industrielles.

Spécification
Caractéristiques techniques Données produit
Spécification Volume de traitement total des gaz 200 SLM
Entrée de gaz NW40, 1–2 connexions
Sortie de gaz NW63, 1 connexion / -25 – -75 mmH₂O
Aspiration du boîtier Diamètre bride 150 mm / -50 – -125 mmH₂O
Consommation électrique 10,5 kW
Puissance du brûleur 9,9 kW
Tension / Phase 208 V / 3‑50/60 Hz, 40 A
CDA (air comprimé sec) Max. 200 SLM; 2–3 Kgf/cm² (2–3 bar); raccord Lok 3/8"
Entrée/sortie eau de refroidissement Max. 12–18 SLM; 2–3 Kgf/cm² (2–3 bar); raccord Lok 3/8"
N₂ (Azote) Max. 30 SLM; 4–6 Kgf/cm² (4–6 bar); raccord Lok 1/4"
Dimensions 800 (L) × 700 (P) × 1670 (H) mm
Poids 350 kg
Certification CE
Application MOCVD
Purificateur MIDAS-II

Épuration des gaz par six adsorbants spécialisés

Avec notre procédé innovant, même des mélanges complexes de polluants peuvent être éliminés de manière fiable des gaz d'échappement. Nous utilisons six adsorbants spécialement développés, adaptés à différents groupes de polluants. Ainsi, l'air contaminé est efficacement nettoyé et transformé en air pur. Le résultat : pureté maximale, durabilité environnementale et exploitation économique. Grâce à la haute performance de nos adsorbants, vous bénéficiez d'une solution flexible qui s'adapte à divers secteurs et besoins. Notre technologie assure non seulement le respect des limites légales, mais crée aussi une valeur tangible pour votre entreprise : coûts d'exploitation réduits, efficacité accrue et une contribution nette à la protection de l'environnement.

Adsorbant Polluant
Zebent 1 BCl3, Cl2, etc.
Zebent 2 BCl3, BF3, Cl2, HBr, HCl, HF, F2, WF6, etc.
Zebent 3 B2H6, SiH2Cl2, SiH4, Si2H6, TEOS, TMB, TMP, etc.
Zebent 4 BCl3, Cl2, NH3, SiH2Cl2, etc.
Zebent 5 AsH3, B2H6, H2S, H2Se, PH3, etc.
Zebent 6 BCl3, BF3, Cl2, GeF4, HBr, HCl, HF, F2, etc.

Pour des produits chimiques supplémentaires ou des débits plus élevés, d'autres modèles de scrubber sont disponibles. Un aperçu complet de notre gamme de modèles est disponible ici.