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Le traitement des gaz par scission thermique des composants toxiques suivi d'un lavage du gaz s'est avéré efficace. Dans la plupart des cas, SemiAn utilise un chauffage électrique pour ces systèmes brûleur-laveur. Les avantages sont la faible sensibilité aux pannes et la grande sécurité de fonctionnement du brûleur.

Les chlorofluorocarbures (CFC) tels que le trichlorofluorométhane CCl₃F, le dichlorodifluorométhane CCl₂F₂, le chlorodifluorométhane CHCl₂F, le trichlorotrifluoroéthane CClF₂-CCl₂F, le dichlorotétrafluoroéthane CClF₂-CClF₂ (pour n'en citer que quelques-uns), ainsi que les hydrofluorocarbures (HFC) comme le tétrafluorométhane CF₄ ou l'hexafluoroéthane C₂F₆ et d'autres fluorures inertes tels que le hexafluorure de soufre SF₆ sont des composés très stables, inertes et donc non toxiques pour l'homme. Il a cependant été démontré que ces composés endommagent la couche d'ozone terrestre et contribuent de manière significative au réchauffement climatique. Leur utilisation a donc été fortement restreinte. Pour les procédés où l'utilisation de CFC, HFC ou SF₆ est nécessaire, ces substances doivent être éliminées des gaz d'échappement. En raison de la grande stabilité des chlorofluorocarbures, un brûleur électrique capable d'atteindre des températures d'environ 1000°C n'est plus suffisant. On utilise des brûleurs plasma, qui peuvent scinder les CFC grâce à leurs hautes températures et leur forte réactivité.
Un plasma est un gaz dans lequel l'énergie des atomes individuels est si élevée que des électrons se détachent du noyau. Des ions positifs et des électrons libres coexistent et le plasma est donc conducteur d'électricité. Une haute tension crée une décharge d'électrons entre deux électrodes qui génère un arc. Un flux d'air comprimé produit une flamme de plasma qui présente des températures internes très élevées, est chimiquement très réactive et convient donc bien à la scission même de composés inertes.
Lors de la scission de CFC, HFC ou SF₆ en présence d'air ou d'oxygène, en plus du dioxyde de carbone, se forment du fluorure d'hydrogène HF, du fluor F₂, du chlorure d'hydrogène HCl et du chlore Cl₂. Tous ces composés sont solubles dans l'eau et peuvent être éliminés des gaz d'échappement par un laveur en aval, éventuellement équipé d'une neutralisation. L'eau est recyclée via une cuve de circulation qui peut être refroidie en option. L'humidité résiduelle après cette étape est éliminée dans un déshumidificateur.