Gaswäscher für Halbleiter-Prozessanlagen
SemiAn bietet Gaswäscher an, die für die Reinigung von Abgas aus Prozessanlagen entwickelt wurden, wie sie u.a. in der Halbleiterindustrie und bei der Fertigung von Flüssigkristalldisplays eingesetzt werden oder auch in entsprechenden Labors. Entsprechend sind unsere Abgasreiniger auf Gasflüsse von ca. 100 - 1.200 slm bzw. 6 - 72 m3/h ausgelegt. Wir liefern aber auch gerne Wäscher dieser Größenklasse für andere Anwendungen, zuverlässig und kostengünstig.
SSW-200-K
Der SSW-200-K ist für einen Gasfluss von 200 slm ausgelegt und bietet eine effiziente Nassreinigung wasserlöslicher Gase, bei denen keine chemische Zersetzung erforderlich ist.
| Technische Merkmale | Produktdaten |
|---|---|
| Maximaler Gassfluss | 200 SLM |
| Gaseinlass | 65A-Flansch, 1 Anschluss |
| Gas-Auslass | 65A-Flansch, 1 Anschluss / −25 bis −75 mmH₂O |
| Elektrische Leistungsaufnahme | Max. 300 W |
| Spannung / Phase | 208–220 V / 1-Phase, 60 Hz |
| Wasser | Max. 4 SLM; 2–3 kgf/cm²; 1/4" Lok-Fitting |
| N₂ (optional) | Max. 25 SLM; 4–6 kgf/cm²; 1/4" Lok-Fitting |
| Abwasserablauf | VP40-Union |
| Abmessungen | 600 (B) × 500 (T) × 1500 (H) mm |
| Gewicht | 200 kg |
| Zertifizierung | CE |
Nassreiniger SSW-200-E mit Neutralisation
Der SSW-200-E ist wie auch Modell SSW-200-K für einen Gasfluss von 200 slm ausgelegt und bietet eine effiziente Nassreinigung wasserlöslicher Gase, bei denen keine chemische Zersetzung erforderlich ist. Zusätzlich verfügt dieses Modell über eine integrierte Wasserneutralisation für das entstehende Abwasser.
| Technische Merkmale | Produktdaten |
|---|---|
| Maximaler Gassfluss | 200 SLM |
| Gaseinlass | 100A-Flansch, 1 Anschluss |
| Gas-Auslass | 65A-Flansch, 1 Anschluss / −25 bis −75 mmH₂O |
| Elektrische Leistungsaufnahme | Max. 300 W |
| Spannung / Phase | 208–220 V / 1-Phase, 60 Hz |
| Wasser | Max. 25 SLM; 4–6 kgf/cm²; 1/4" Lok-Fitting |
| Luft | Max. 2 SLM; 4–6 kgf/cm²; 1/4" Lok-Fitting |
| Abwasserablauf | VP40-Union |
| Abmessungen | 400 (B) × 500 (T) × 1500 (H) mm |
| Gewicht | 200 kg |
| Zertifizierung | CE |
Nassreiniger SSW-500
Der SSW-500 ist für einen Gasfluss von 500 slm ausgelegt und bietet eine effiziente Nassreinigung wasserlöslicher Gase, die keine chemische Zersetzung erfordern.
Je nach Bedarf ist das Modell mit oder ohne integrierte Neutralisation des Abwassers verfügbar.
| Technische Merkmale | Produktdaten |
|---|---|
| Maximaler Gassfluss | 500 SLM |
| Gaseinlass | VP20 PVC-Rohr, 3 Anschlüsse |
| Gas-Auslass | VP100 PVC-Rohr, 1 Anschluss / −25 bis −75 mm H₂O |
| Gehäuse-Belüftung | VP63 PVC-Rohr (Dämpfer), 1 Anschluss / −25 bis −75 mm H₂O |
| Elektrische Leistungsaufnahme | Max. 2 kW |
| Spannung / Phase | 208–220 V AC / 1-Phase, 60 Hz |
| Wasser | Max. 8 SLM; 2–3 kgf/cm²; 1/2" Lok-Fitting |
| Luft | Max. 2 SLM; 4–6 kgf/cm²; 1/4" Lok-Fitting |
| Abwasserablauf | VP25-Union |
| Abmessungen | 990 (B) × 750 (T) × 1850 (H) mm |
| Gewicht | 450 kg |
| Zertifizierung | CE |
