Laveur humide de gaz d'échappement
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Laveur humide de gaz d'échappement

Notre laveur par voie humide représente une méthode simple pour purifier l'air ou des gaz d'échappement. Dans le laveur, le gaz est intensivement mis en contact avec de l'eau ou une autre liquide, avec ou contre le sens d'un courant de très petites gouttes diffusées finement. Ainsi, on atteind un décrassage ou lavage de la phase du gaz. La machine travaille plus éffective, plus la surface de la liquide de nettoyage et du gaz à nettoyer est grande. La surface croît quand les gouttes deviennent plus fines. La liquide de nettoyage est conduite circulairement pour diminuer la consommation d'eau et la quantité d'eau résiduaire.

wet scrubber

Ainsi, les composantes suivantes peuvent être éliminées du gaz d'échappement:

Le résultat est la détoxication, l'élimination des poussières, la déshymidification, repectivement la condensation, ainsi que la désodorisation au profit de notre environnement.
Particulièrement les pollutions hydrosolubles sont enlevées très effectivement du gaz. La liquide de nettoyage sera possiblement pollue par les matières ôtées du gaz. Par ces matiéres, il s'agit souvent de produits chimiques acides ou basiques, par exemple d'acide chlorhydrique HCI, de nitrogène oxyde ou de'ammoniac NH3. Une dispositif de neutralisation intégrée au laveur, permet aux eaux résiduaires de maintenir un pH neutre qui sont donc détoxifiées. Pour les composantes gazeux basiques, une liquide de lavage légèrement acide est plus efficace, pendant qu'on obtient des résultats meilleures avec une liquide de lavage basique pour l'élimination de résiduel gazeux acide.

Si des poussières sont abattues en quantités notables, elles forment une boue qui doit être filtrée de l'eau résiduaire, et qui doit possiblement être traitée comme déchet toxique.

Des matières hydrosolubles se décomposent dans l'eau. Pendant cette réaction chimique, des autres produits hydrosolubles en peuvent se former, qui sont filtrés du gaz immédiatement. En cas que des composantes solides résultent de la réaction chimique, celles-ci sont ramassées dans un bassin de réception, où elles sont filtrées et écartées. Dans l'industrie des semiconducteurs, on utilise les laveurs par voie humide pour éliminer TEOS, TiCl4 (Titantetrachloride), ou HMDSO (Hexamethyldisiloxan).

La méthode de lavage humide se combine bien avec des autres méthodes de nettoyage de gaz d'échappement. Ainsi, on peut traiter des gaz par des étapes successives. Premièrement par un lavage, puis par un traitement thermique et finalement par un autre lavage. Une telle serie est effectuée dans nos modèles SBW et SWB.

Systèmes de lavage pour le gaz de process de SemiAn

SemiAn offre des systèmes d'abattement de gaz d'échappement qui ont été développés spécialement pour des équipements de procédés, tels ceux qui sont en usage dans l'industrie des semiconducteurs et dans la production des affichages aux cristaux liquides. Conformement, nos laveurs sont disposés à des débits de gaz de 100 - 1.200 slm, resp. 6-72 m3/h. Néanmoins, nous sommes aussi en mesure d'offrir fiablement des laveurs de ce format pour des autres applications.

exhaust gas cleaner SSW200 Specification SSW 200
Total gas treatment volume
200 slm
Gas inlet
100A flange, 1 port
Gas exhaust
65A flange, 1 port / -25 ~ -75mm H2O
Electrical power consumption
max. 300 W
Voltage
230 V / 1 phase / 50Hz
Water max. 4 slm, 2~3 kgfcm2,1/4" fitting
Nitrogen max. 25 slm, 4~6 kgfcm2,1/4" fitting
Dimensions 400(W) × 500(D) × 1500(H)
Weight 200 kg

L'extraction de gaz pour des bassins de gravure

Une application spéciale est l'extraction de gaz et le nettoyage des gaz d'acide ou caustique ou d'une bassin de gravure. Aussi bassins solvant qui contiennent des solvants solubles dans l'eau comme les alcools ou l'acétone peut être extrait. L'air d'échappement contient dans ce cas, les montants assez faibles de l'acide, lessive de soude ou de solvant. Cependant la quantité de gaz extraite est plutôt élevé. SemiAn peut offrir laveurs aussi pour cette application, par exemple le modèle SSW500.

Laveur de gaz pour des bassins de gravure SSW500

Laveur humide centrale pour gaz d'échappement

Pour le nettoyage de grandes quantités de gaz d'échappement, gaz d'échappement industriels ou des gaz d'échappement recueillis des outils de processus, généralement grand laveurs sont installés à côté du bâtiment ou sur le dessus de la toiture d'un bâtiment. Nous pouvons également offrir ces laveurs de gaz exchaust sur demande.

Laveur humide grand

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