Belichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie
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Anlagen für die Halbleiterindustrie
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Lithographie   Mask-Aligner   MEMS

Belichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie

Die einfachste Methode, Fotolack strukturiert zu belichtet, ist die Abdeckung der nicht zu belichtenden Bereiche über eine Maske und Beleuchtung der gesamten Fläche. Dieses lithographische Verfahren nutzen Kontaktmaskenbelichtungssysteme oder Mask-Aligner. Die Übertragung der Struktur von der Vorlage erfolgt 1:1 in den Fotolack. Je fester die Maske auf den Fotolack gedrückt wird, um so schärfer wird die Abbildung und umso höher die mögliche Auflösung. Neben diesem Kontaktverfahren ist es auch möglich, die Maske in geringem Abstand zu Wafer zu halten, so dass diese den Fotolack gar nicht berührt. Falls der Strahlengang der Belichtungsanlage parallel ausgerichtet ist, lassen sich auch mit diesem Proximity-Contact-Verfahren noch recht gute Auflösungen von etwas über einem µm erreichen.
Projektionsbelichter, die über ein Linsensystem ein Abbild der Maske auf den Wafer bzw. den Fotolack projezieren wurden entwickelt, um den Kontakt des Fotolacks mit der Maske zu verhindern und um gleichzeitig eine hohe Auflösung zu erzielen. Bei immer höheren Anforderungen an die Auflösung der Systems und um Verzerrungen zu Vermeiden, wie sie bei Projektoren im Randbereich auftreten, wurden Scanner und Stepper entwickelt, die Schritt für Schritt Teilbereiche eines Wafers belichten. Diese Methode ist effektiv, aber auch kompliziert und die Preise für solche Anlagen sind deshalb wesentlich höher, als die für Mask-Aligner.
Heute gibt es für die Herstellung von elektromechanischen Bauteilen, Sensoren und für MEMS-Anwendungen wieder einen verstärkten Bedarf an kostengünstigen Belichtungsanlagen. Die Anforderungen bzgl. der Auflösung sind nicht so hoch, wie bei integrierten Schaltungen. Das hat zu einer Wiederbelegung der Nachfrage nach Mask-Alignern geführt.
Moderne Maskenbelichtungsanlagen ermöglichen

Wir können Ihnen bei der Beschaffung entsprechendes Anlagen behilflich sein.

Crystec Technology Trading GmbH diskutiert mit Ihnen gerne weitere Details.
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