Konkret sind für die Herstellung eines MicroLED Displays folgende Schritte nötig:
1)ACF (Anisotrope leitfähige Folie) Vor-Laminierung
Vor dem Aufbringen der LED-Chips muss das Substrat entsprechend vorbehandelt werden.
2) Chip Montage
Anschließend werden die Chips montiert. Hierzu wird in der Regel ein so genannter Pick and Place Roboter oder das Laser Lift-Verfahren (LLO) eingesetzt. Die einzelnen Chips können vor der Montage auch in Blöcken zusammengesetzt werden. Für Smartphones und TVs kommen 20 μm Chips zum Einsatz. 100 μm Chips werden für TVs eingesetzt und 300 μm Chips finden ihre Anwendung in Außenwerbetafeln.
3) ACF (Anisotrope leitfähige Folie) Laminierung von Shindo Eng. Lab.
Durch den Einsatz von Hitze und Druck werden die Micro LED auf die anisotrope Folie aufgebracht.
| Technische Merkmale | Produktdaten |
|---|---|
| Heizer | Patronenheizer |
| Innere Kühlung | SUS Edelstahlrohre |
| Sicherheitsvorrichtung | Optischer Sensor mit doppelter Sicherheitsvorrichtung |
| Maximale Temperatur | 200 °C |
| Maximaler Druck | 20 kgf/cm² |
| Anwendung | Micro LED, Flexible Displays, Folienlaminierung, Halbleiter-Rückseiten-Filme, Aufbau Vakuum Glas |
4) Plasma
Im 4. Schritt erfolgt eine Plasma Reinigung.
5) TC Bonden
Anschließend erfolgt ein Thermokompressions-Bonden (TC) Schritt zur Aufbringung. Hierzu ist ein so genannter FOF (Foil on Foil) Bonder nötig. Diese Maschine verbindet das FPCB (Flexible Printed Circuit Board; Flexible Leiterplatte) mit dem Display. Hierbei sind voll-automatisierte Maschinen mit variabler Druck und Temperatur-Regelung, sowie Taktzeiten von 6 Sekunden möglich.
6) UV-Abformung
In diesem Schritt werden feine mikrostrukturelle Formen mittels UV-härtender Harze auf das Substrat übertragen, um präzise optische oder mechanische Eigenschaften des Displays zu realisieren.
7) Unterfüllmaschine
Bevor die Chip-Blöcke fixiert werden können, muss Klebstoff auf das TFT Glas aufgebracht werden. Dieser Prozess findet in einer Unter-Füll-Maschine statt. Alternativ kann die Lösung auch vor dem Bonden stattfinden.
8) Optische Film Laminierung
Ein Optischer Film wird in einer entsprechenden Maschine auflaminiert.
9) Autoklav
Abschließend wird ein Autoklav eingesetzt, um Micro Luftblasen zu entfernen die nach längerer Zeit sichtbare Bläschen bilden können.