Plasmaverascher: Plasmaätzer zur Enfernung, Veraschung bzw. zum Strippen von Fotolack
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Microwellen Plasmaätzer zur Fotolackentfernung, Fotolackverascher

Bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen ICs müssen viele, strukturierte Beschichtungs- und Ätzvorgänge durchgeführt werden um die gewünschten Strukturen aufzubauen. Zur Festlegung der Strukturen wird zunächst ein Fotolack aufgebracht, ausgehärtet und durch eine Maske belichtet. Nach der Entwicklung des Fotolacks erfolgt der eigentliche Prozessschritt, die Beschichtung oder die Ätzung. Anschließend muss der Fotolack / Photolack wieder vollständig entfernt werden (Reinigung des Wafers).

Plasma Verascher

Dies geschieht heutzutage meist trocken, mit Sauerstoff-Plasma in einem speziellen Plasmaätzer, der auch Trockenätzer, Plasmaverascher, Plasmastripper oder einfach Verascher genannt wird. Für die Entfernung, bzw. das Strippen oder Veraschen von Fotolacken / Photolacken wird ein Plasmaätzer mit ECR Microwellengenerator der Fa. SNTEK eingesetzt. In speziellen Fällen kann auch ein induziertes Plasma (ICP) genutzt werden. Für die Entfernung bzw. das Stripper oder Veraschen des Photolacks eignet sich besonders gut Sauerstoff als Reaktionsgas, weil dieses unter Bildung von CO2 und Wasser besonders gut mit Polymeren und organischen Verbindungen reagiert (Veraschung). Es wir ein Sauerstoffplasma erzeugt, in dem Sauerstoffradikale und Sauerstoffionen vorliegen. Zur Vermeidung von Schäden am IC soll der Anteil von Radikalen möglichst hoch (chemisches, isotropes Trockenätzen) und an Ionen möglichst gering sein (physikalisches, anisotropes Ätzen), da die Ionen über das im Reaktor anliegende Feld auf den Wafer zu beschleunigt werden und so mehr Schaden verursachen also Radikale. Die Proben können über einen heizbaren Chuck erwärmt werden, um die Ablösung des Fotolacks zu erleichtern. Plasmaanlagen für die Entfernung von Fotolack bzw. die Reinigung von Wafern werden oft auch als Plasmaverascher, Fotolackverascher, Photolackverascher oder einfach als Verascher bezeichnet. Gängig sind auch die Bezeichnungen Plasmastripper, Fotolackstripper, Photolackstripper oder Stripper.

SNTEK Fotolackverascher

SNTEK RIE Plasma-Verascher

Fotolack-Verascher RIE Plasmaverascher
Plasmaverascher für die Entfernung von Fotolack in der LED-Fertigung
Beladekapazität : 32 2" Wafer
Plasmaquelle : Planar CCP Typ
Leistung : RF 1kW, 13.56MHz
Substrattemperatur : 400°C
incl. Abgasreinigung
Substratgröße : ~ 200mm x 200mm
Ätzrichtung : abwärts
Prozessgas : Ar, O2, CF4, SF6
Ätzgleichmäßigkeit : ±5%
LoadLock System
Vollautomatische Steuerung

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