Crystec Technology Trading GmbH

Das Ångström Labor der Universität Uppsala, Schweden hat eine enge Zusammenarbeit mit den Firmen JTEKT Thermo Systems Co., Ltd. (ehemals Koyo) und Crystec Technology Trading GmbH im Bereich Halbleiterofentechnologie vereinbart.

Das Ångström Labor ist das Materialforschungszentrum der Universität Uppsala. Das Institut beschäftigt sich mit Forschung im Bereich neue Materialien und der Ausbildung von Studenten. Integrierte Bauelemente, Solarzellen, elektrische Batterien und ermüdungsfreie mechanische Komponenten sind wesentliche Arbeitsgebiete des Institutes. Das Institut unterhält viele Kooperationen, beschäftigt rund 350 Angestellte, bildet 1000 Studenten aus und hat einen Jahresetat von 200 MSEK.

Das Herzstück des Institutes ist der Anfang 1998 fertiggestellte Reinraum. Die Gesamtfläche beträgt 2000 m² und ist auf 30 Labors aufgeteilt. Der größte Teil des Reinraums ist Klasse 10.000. 150 m² weisen eine Reinraumklasse 100 mit einer Gasführung von der Decke zum Boden auf, in der wiederum kleinere Bereiche als Klasse 10 bzw. Klasse 1 Reinraum ausgeführt sind. Die Temperaturstabilität beträgt ± 1°C. Die Feuchtigkeit wird auf 43 ± 3 % stabil gehalten.

In diesem Reinraum wurden 10 Vertikalöfen des Typs µTF installiert für folgende Anwendungen:

Ofenübersicht

Ofen 1

Oxidation

Oxidation — Ext. Verbrennung

400°C – 1100°C

Ofen 2

Oxidation

Oxidation — Ext. Verbrennung

400°C – 1100°C

Ofen 3

Bordotierung

Bordotierung mit Festquelle

400°C – 1100°C

Ofen 4

Phosphordotierung

Phosphordotierung mit Festquelle

400°C – 1100°C

Ofen 5

Hochtemperatur

Hochtemperatur‑Tempern

400°C – 1250°C

Ofen 6

Gate Oxidation

Gate Oxidation — Ext. Verbrennung

400°C – 1100°C

Ofen 7

Post Metall

Post Metall Tempern — Formiergas

200°C – 800°C

Ofen 8

Poly‑Silizium

Poly‑Silizium Abscheidung

400°C – 900°C

Ofen 9

Si₃N₄

Silizium‑Nitrid Abscheidung

400°C – 900°C

Ofen 10

LTO / BPSG / TEOS

LTO, BPSG & TEOS

400°C – 900°C